Литография с использованиСм Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π° ΠΈ крСмния останСтся Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ способом выпуска Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΈ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ дСсятилСтии

Π•Ρ‰Ρ‘ Π² ΠΌΠ°Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‰Π°ΡΡΡ Π»ΠΈΠ΄Π΅Ρ€ΠΎΠΌ Π² сСгмСнтС литографичСских сканСров компания ASML рассказала ΠΎ пСрспСктивах появлСния ΠΊ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Ρƒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ дСсятилСтия систСм, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ со свСрхвысоким Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ числовой Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ — 0,75 (Hyper-NA EUV). ΠŸΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ Imec ΡƒΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ дСсятилСтии литография Π½Π΅ ΡƒΠΉΠ΄Ρ‘Ρ‚ ΠΎΡ‚ использования Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ крСмния. Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ изобраТСния: ASML
Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ: 3dnews.ru