لوقت طويل ، أنه من خلال تقنية المعالجة 3 نانومتر، ستنتقل الترانزستورات من قنوات FinFET "الزعنفة" العمودية إلى قنوات نانوية أفقية محاطة بالكامل ببوابات أو GAA (بوابة شاملة). اليوم، أظهر المعهد الفرنسي CEA-Leti كيف يمكن استخدام عمليات تصنيع ترانزستور FinFET لإنتاج ترانزستورات GAA متعددة المستويات. ويعد الحفاظ على استمرارية العمليات الفنية أساسًا موثوقًا للتحول السريع.
متخصصون في CEA-Leti في ندوة VLSI Technology & Circuits 2020 حول إنتاج ترانزستور GAA ذو سبعة مستويات (شكر خاص لوباء الفيروس التاجي، والذي بفضله بدأت وثائق العروض التقديمية تظهر أخيرًا على الفور، وليس بعد أشهر من المؤتمرات). أثبت باحثون فرنسيون أنهم قادرون على إنتاج ترانزستورات GAA بقنوات على شكل "كومة" كاملة من الصفحات النانوية باستخدام التكنولوجيا المستخدمة على نطاق واسع لما يسمى بعملية RMG (بوابة معدنية بديلة أو، باللغة الروسية، معدن بديل (مؤقت) بوابة). في وقت ما، تم تكييف عملية RMG الفنية لإنتاج ترانزستورات FinFET، وكما نرى، يمكن توسيعها لتشمل إنتاج ترانزستورات GAA بترتيب متعدد المستويات لقنوات الصفحات النانوية.
تخطط سامسونج، على حد علمنا، مع بدء إنتاج شرائح 3 نانومتر، لإنتاج ترانزستورات GAA ذات مستويين بقناتين مسطحتين (صفحات نانوية) تقع إحداهما فوق الأخرى، وتحيط بها بوابة من جميع الجوانب. لقد أظهر المتخصصون في CEA-Leti أنه من الممكن إنتاج ترانزستورات بسبع قنوات نانوية وفي نفس الوقت ضبط القنوات على العرض المطلوب. على سبيل المثال، تم إطلاق ترانزستور GAA تجريبي بسبع قنوات في إصدارات بعرض يتراوح من 15 نانومتر إلى 85 نانومتر. من الواضح أن هذا يسمح لك بتعيين خصائص دقيقة للترانزستورات وضمان تكرارها (تقليل انتشار المعلمات).
وفقًا للفرنسيين، كلما زادت مستويات القنوات في ترانزستور GAA، زاد العرض الفعال للقناة الإجمالية، وبالتالي، تحسنت إمكانية التحكم في الترانزستور. أيضًا، في الهيكل متعدد الطبقات يكون هناك تسرب أقل للتيار. على سبيل المثال، يحتوي ترانزستور GAA ذو المستوى السابع على تيار تسرب أقل بثلاث مرات من الترانزستور ذي المستويين (نسبيًا، مثل Samsung GAA). حسنًا، لقد وجدت الصناعة أخيرًا طريقًا للتقدم، حيث ابتعدت عن الوضع الأفقي للعناصر على الشريحة إلى الوضع الرأسي. يبدو أن الدوائر الدقيقة لن تضطر إلى زيادة مساحة البلورات لتصبح أسرع وأكثر قوة وكفاءة في استخدام الطاقة.
المصدر: 3dnews.ru