Яшчэ ў траўні якая з'яўляецца лідэрам у сегменце літаграфічных сканараў кампанія ASML распавяла аб даляглядах з'яўлення да пачатку наступнага дзесяцігоддзя сістэм, якія дазваляюць працаваць са звышвысокім значэннем лічбавай апертуры – 0,75 (Hyper-NA EUV). Прадстаўнікі Imec сцвярджаюць, што і ў наступным дзесяцігоддзі літаграфія не сыдзе ад выкарыстання лазераў і крэмнію. Крыніца выявы: ASML
Крыніца: 3dnews.ru
