Кампанія Samsung першай пачала выкарыстоўваць сканары дыяпазону EUV для выпуску паўправаднікоў, што адбылося яшчэ восенню 2018 года. Але па-сапраўднаму масавае выкарыстанне тэхпрацэсаў на аснове EUV-праекцыі адбываецца толькі зараз. У прыватнасці, Samsung першае ў свеце прадпрыемства з першапачаткова запланаванымі лініямі EUV.
На днях кампанія Samsung Electronics прыступіла да масавай вытворчасці паўправаднікоў на заводзе V1 у горадзе Хвасон, Рэспубліка Карэя. Прадпрыемства пачало будавацца ў і ўвайшло ў стадыю доследнай вытворчасці некалькі месяцаў таму. Цяпер лініі завода V1 пачалі масава выпускаць 7-нм і 6-нм прадукцыю з выкарыстаннем праекцыі ў звышцвёрдым ультрафіялетавым дыяпазоне (EUV). Кліенты кампаніі пачнуць атрымліваць замовы з гэтага завода праз лічаныя тыдні.
Па чутках, на заводзе V1 устаноўлены мінімум 10 сканараў EUV. Кошт пытання толькі за гэтае прамысловае абсталяванне перавышае $1 млрд, не кажучы ўжо за ўсё астатняе. Да гэтага на заводзе Samsung S3 працавалі нейкія адзінкі сканараў дыяпазону EUV. Новая вытворчасць V1 разам з заводам S3 да канца года дазволіць кампаніі патроіць аб'ёмы выпуску чыпаў, для апрацоўкі якіх неабходны сканары EUV. Адзначым, гэта будзе прадукцыя з нормамі 7 нм і з меншымі тэхналагічнымі нормамі. У даляглядзе завод V1 у Хвасоне будзе здольны выпускаць таксама 3-нм прадукцыю.
Разам з лініямі V1 у кампаніі Samsung зараз у агульнай складанасці шэсць заводаў па вытворчасці паўправаднікоў. Пяць з іх у Паўднёвай Карэі і адзін у ЗША. З якімі падкладкамі, і на якія тэхпрацэсы настроены лініі гэтых прадпрыемстваў, вы можаце ўбачыць на малюнку вышэй.
Крыніца: 3dnews.ru