Β«ΠΠ·Π²ΡΠ½ EUVΒ»: Lace Lithography ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠ²Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π° Π°ΡΠΎΠΌΠΈ Π½Π° Ρ Π΅Π»ΠΈΠΉ Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 0,1 Π½ΠΌ.
ΠΠΎΡΠ²Π΅Π³ΡΠΊΠΈΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠ°ΠΏ Lace Lithography, Ρ ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ°ΡΠ° Π½Π° Microsoft, ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΡΠ΅ 40 ΠΌΠ»Π½. Π΄ΠΎΠ»Π°ΡΠ° Π² ΡΠ°ΠΌΠΊΠΈΡΠ΅ Π½Π° ΠΏΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΊΡΡΠ³ Π½Π° ΡΠΈΠ½Π°Π½ΡΠΈΡΠ°Π½Π΅ Π·Π° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ²Π°Π½Π΅ΡΠΎ Π½Π° Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΡΠΊΠ΅Π½Π΅Ρ, ΠΈΠ·ΠΏΠΎΠ»Π·Π²Π°Ρ ΡΠ½ΠΎΠΏ ΠΎΡ Ρ Π΅Π»ΠΈΠ΅Π²ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ°ΡΠ° Π½Π° ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅Π²ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΈ. ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡΡΠ° ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΈ, ΡΠ΅ Π½Π΅ΠΉΠ½Π°ΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈ ΡΡΠ·Π΄Π°Π²Π°Π½Π΅ΡΠΎ Π½Π° Π΅Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΈ Π½Π° ΡΠΈΠΏΠΎΠ²Π΅ Ρ 10 ΠΏΡΡΠΈ ΠΏΠΎ-ΠΌΠ°Π»ΡΠΊ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ Π² ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ²Π°ΡΠΈΡΠ΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΈ, Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π½Π° ΡΠ½ΠΎΠΏΠ° Π΅Π΄Π²Π° 0.1 Π½ΠΌ β EUV-ΡΠΊΠ΅Π½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ Π½Π° ASML ΠΈΠ·ΠΏΠΎΠ»Π·Π²Π°Ρ […]
