{"id":166072,"date":"2026-03-24T23:13:48","date_gmt":"2026-03-24T21:13:51","guid":{"rendered":"https:\/\/prohoster.info\/blog\/novosti-interneta\/za-predelami-euv-lace-lithography-gotovit-litografiyu-na-atomah-geliya-s-razresheniem-01-nm"},"modified":"2026-03-27T13:27:33","modified_gmt":"2026-03-27T11:27:33","slug":"za-predelami-euv-lace-lithography-gotovit-litografiyu-na-atomah-geliya-s-razresheniem-01-nm","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/blog\/novosti-interneta\/za-predelami-euv-lace-lithography-gotovit-litografiyu-na-atomah-geliya-s-razresheniem-01-nm","title":{"rendered":"\u00ab\u0418\u0437\u0432\u044a\u043d EUV\u00bb: Lace Lithography \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u0432\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0445\u0435\u043b\u0438\u0439 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 0,1 \u043d\u043c.","gt_translate_keys":[{"key":"rendered","format":"text"}]},"content":{"rendered":"<p>\u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0436\u043a\u0438\u044f\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u044a\u043f Lace Lithography, \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043a\u0440\u0435\u043f\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 Microsoft, \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u0447\u0435 40 \u043c\u043b\u043d. \u0434\u043e\u043b\u0430\u0440\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u044a\u0440\u0432\u0438\u044f \u043a\u0440\u044a\u0433 \u043d\u0430 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043a\u0435\u043d\u0435\u0440, \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430\u0449 \u0441\u043d\u043e\u043f \u043e\u0442 \u0445\u0435\u043b\u0438\u0435\u0432\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0435\u0432\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0438. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0442\u0432\u044a\u0440\u0434\u0438, \u0447\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0442\u0430 \u045d \u0449\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438 \u0441\u044a\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u043d\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432\u0435 \u0441 \u0434\u0435\u0441\u0435\u0442 \u043f\u044a\u0442\u0438 \u043f\u043e-\u043c\u0430\u043b\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438 \u0437\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u0441\u044a\u0441 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u043d\u043e\u043f\u0430 \u0435\u0434\u0432\u0430 0,1 \u043d\u043c \u2014 EUV-\u0441\u043a\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 ASML \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430\u0442 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u0434\u044a\u043b\u0436\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044a\u043b\u043d\u0430\u0442\u0430 13,5 \u043d\u043c.<\/p>\n<p><center><\/center><img decoding=\"async\" style=\"display: block; margin: 0 auto;\" src=\"\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/8d75861a60fc4a7b426fc7264d146614.jpg\" alt=\"\u00ab\u0418\u0437\u0432\u044a\u043d EUV\u00bb: Lace Lithography \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u0432\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0445\u0435\u043b\u0438\u0439 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 0,1 \u043d\u043c.\" \/><\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0435\u0434\u0438\u043c\u0441\u0442\u0432\u043e\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0442\u0430 Lace \u0435, \u0447\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438\u0442\u0435 \u043d\u044f\u043c\u0430\u0442 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0435\u043d \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b, \u0434\u043e\u043a\u0430\u0442\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438\u0442\u0435 EUV \u043d\u0430 ASML, \u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u0434\u044a\u043b\u0436\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044a\u043b\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043b\u0438\u043d\u0430. \u0414\u043e\u043a\u0430\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0447\u0438\u043f\u043e\u0432\u0435 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438\u0442\u0435, \u0442\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435 \u043f\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e \u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u044f\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d, \u0437\u0430 \u0434\u0430 \u0437\u0430\u043e\u0431\u0438\u043a\u043e\u043b\u044f\u0442 \u0442\u043e\u0432\u0430 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u043e Lace \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434, \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u0439\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0441 \u043d\u0435\u0443\u0442\u0440\u0430\u043b\u043d\u0438 \u0445\u0435\u043b\u0438\u0435\u0432\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438 \u0438 \u0441\u043d\u043e\u043f, \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0439\u0442\u043e \u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u0440\u0430\u0432\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0435\u043d \u0430\u0442\u043e\u043c.<\/p>\n<p>Lace \u043e\u043f\u0438\u0441\u0432\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e BEUV, \u0438\u043b\u0438 Beyond-EUV (\"\u0438\u0437\u0432\u044a\u043d EUV\"). \u0418\u0437\u043f\u044a\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 \u0438 \u0441\u044a\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b \u043d\u0430 Lace \u0411\u043e\u0434\u0438\u043b \u0425\u043e\u043b\u044c\u0441\u0442 (Bodil Holst) \u0437\u0430\u044f\u0432\u0438, \u0447\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0449\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0447\u0438\u043f\u043e\u0432\u0435 \u0434\u0430 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u0430\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0438 \u0441 \"\u0432 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0430 \u0441\u043c\u0435\u0442\u043a\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\". \u041d\u0430\u0443\u0447\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 \u043f\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0432 Imec \u0414\u0436\u043e\u043d \u041f\u0435\u0442\u0435\u0440\u0441\u0435\u043d (John Petersen) \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430, \u0447\u0435 \u0442\u043e\u0437\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043c\u043e\u0436\u0435 \u0434\u0430 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0442\u0435 \u0435\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u044a\u043a, \u0434\u043e \"\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043c\u0430\" \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d.<\/p>\n<p>Lace \u0441\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0441\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438 \u043a\u044a\u043c \u043d\u0430\u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u0430\u0449\u0438\u044f \u0431\u0440\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u044a\u043f\u0438, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0432\u0430\u0449\u0438 \u0430\u043b\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u043b\u0430\u0442\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 ASML. \u0410\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0442\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 Substrate \u0438 xLight \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0432\u0430\u0442 \u0438\u0437\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u0446\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043b\u0438\u043d\u0430, \u0431\u0430\u0437\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0438, \u0437\u0430 EUV- \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u043a\u0430\u0442\u043e xLight \u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u0430 150 \u043c\u043b\u043d. \u0434\u043e\u043b\u0430\u0440\u0430 \u0434\u044a\u0440\u0436\u0430\u0432\u043d\u043e \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u043e\u0442 \u0421\u0410\u0429. Canon \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438 \u043f\u044a\u0440\u0432\u0438\u044f \u0441\u0438 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0437\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0438\u043c\u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0422\u0435\u043a\u0441\u0430\u0441\u043a\u0438\u044f \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u043f\u043e \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043e\u0449\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0437 \u0441\u0435\u043f\u0442\u0435\u043c\u0432\u0440\u0438 2024 \u0433., \u0430 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0430\u0442\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Prinano \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0437\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0438\u043c\u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0432\u044a\u0442\u0440\u0435\u0448\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0437\u0430\u0440.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044a\u0442 \u043d\u0430 Lace \u0441\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0430\u0432\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u043e\u0442 \u0442\u0435\u0437\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438. \u0414\u043e\u043a\u0430\u0442\u043e Substrate \u0438 xLight \u0432\u0441\u0435 \u043e\u0449\u0435 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438, Lace \u043d\u0430\u043f\u044a\u043b\u043d\u043e \u0441\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430 \u043e\u0442 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0442\u043e \u043b\u044a\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0432\u0435\u0447\u0435 \u0435 \u0441\u044a\u0437\u0434\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0442\u0430, \u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u0442\u043e \u0435, \u043a\u0430\u043a\u0442\u043e \u0432\u0438\u043d\u0430\u0433\u0438, \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u0430. \u0412 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 Lace \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0430 \u0434\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438 \u0435\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434 \u0434\u043e 2029 \u0433\u043e\u0434\u0438\u043d\u0430, \u0430 \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432\u0435\u0442\u0435 \u0437\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043c\u0438\u043d\u0430\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043a\u044a\u043c \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u0441\u0435 \u043e\u0449\u0435 \u043d\u0435 \u0441\u0430 \u043e\u0431\u044f\u0432\u0435\u043d\u0438.<\/p>\n<p>\u0412\u0430\u0436\u043d\u043e \u0435 \u0434\u0430 \u0441\u0435 \u043e\u0442\u0431\u0435\u043b\u0435\u0436\u0438, \u0447\u0435 ASML \u0435 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043b\u0430 \u0434\u0435\u0441\u0435\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u0438 \u043c\u0438\u043b\u0438\u0430\u0440\u0434\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0430\u0440\u0438, \u0437\u0430 \u0434\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044a\u0440\u043d\u0435 EUV \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f\u0442\u0430 \u043e\u0442 \u0438\u0437\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0441\u043a\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u044f \u0432 \u0442\u044a\u0440\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442. \u0412 Lace \u0432 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044f\u0442 \u043d\u0430\u0434 50 \u0434\u0443\u0448\u0438 \u0432 \u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0433\u0438\u044f, \u0418\u0441\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0412\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u0431\u0440\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u044f, \u0430 \u043f\u044a\u0440\u0432\u0438\u0442\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u0442\u0430\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0438\u0437\u0441\u043b\u0435\u0434\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0441\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438 \u0437\u0430 \u043f\u044a\u0440\u0432\u0438 \u043f\u044a\u0442 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f\u0442\u0430 SPIE Advanced Lithography + Patterning 2026.<\/p>\n<p><strong>\u0418\u0437\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a:<\/strong><\/p>\n<ul class=\"related\">\n<li><a title=\"tomshardware.com\" href=\"http:\/\/www.tomshardware.com\/\" target=\"_blank\" rel=\"nofollow noopener\">tomshardware.com<\/a><\/li>\n<\/ul>\n<p><center><center><\/center><center><\/center><\/center><center><\/center><br \/>\n\u0418\u0437\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: <a rel=\"nofollow\" href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1138815\">3dnews.ru<\/a><\/p>","protected":false,"gt_translate_keys":[{"key":"rendered","format":"html"}]},"excerpt":{"rendered":"<p>\u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0430\u043f Lace Lithography \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 Microsoft \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0451\u043a $40 \u043c\u043b\u043d \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0443\u043d\u0434\u0430 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0451 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0432 10 \u0440\u0430\u0437 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430, \u0447\u0435\u043c \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0441 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 0,1 \u043d\u043c \u2014 EUV-\u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u044b ASML \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 [&hellip;]<\/p>\n","protected":false,"gt_translate_keys":[{"key":"rendered","format":"html"}]},"author":8,"featured_media":166073,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[702],"tags":[],"class_list":["post-166072","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-novosti-interneta"],"aioseo_notices":[],"aioseo_head":"\n\t\t<!-- All in One SEO 5.0.0.1 - aioseo.com -->\n\t<meta name=\"description\" content=\"\u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0430\u043f Lace Lithography \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 Microsoft \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0451\u043a $40 \u043c\u043b\u043d \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0443\u043d\u0434\u0430 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445.\" \/>\n\t<meta name=\"robots\" content=\"max-image-preview:large\" \/>\n\t<meta name=\"author\" content=\"Erik Peterson\"\/>\n\t<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/prohoster.info\/bg\/blog\/novosti-interneta\/za-predelami-euv-lace-lithography-gotovit-litografiyu-na-atomah-geliya-s-razresheniem-01-nm\" \/>\n\t<meta name=\"generator\" content=\"All in One SEO (AIOSEO) 5.0.0.1\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:locale\" content=\"bg_BG\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:site_name\" content=\"ProHoster | \u041a\u0443\u043f\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0445\u043e\u0441\u0442\u0438\u043d\u0433 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0430\u0439\u0442\u043e\u0432 \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0442 DDoS, VPS VDS \u0441\u0435\u0440\u0432\u0435\u0440\u044b\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:title\" content=\"\ud83e\udd47\u00ab\u0417\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u043c\u0438 EUV\u00bb: Lace Lithography \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0445 \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 0,1 \u043d\u043c | ProHoster\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:description\" content=\"\u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0430\u043f Lace Lithography \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 Microsoft \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0451\u043a $40 \u043c\u043b\u043d \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0443\u043d\u0434\u0430 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445.\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/prohoster.info\/bg\/blog\/novosti-interneta\/za-predelami-euv-lace-lithography-gotovit-litografiyu-na-atomah-geliya-s-razresheniem-01-nm\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/prohoster.info\/wp-content\/uploads\/2021\/11\/logo-350.jpg\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:image:secure_url\" content=\"https:\/\/prohoster.info\/wp-content\/uploads\/2021\/11\/logo-350.jpg\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"350\" \/>\n\t\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"350\" \/>\n\t\t<meta property=\"article:published_time\" content=\"2026-03-24T21:13:51+00:00\" \/>\n\t\t<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2026-03-27T11:27:33+00:00\" \/>\n\t\t<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/prohoster\" \/>\n\t\t<meta property=\"article:author\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/prohoster\" \/>\n\t\t<!-- All in One SEO -->\n\n","aioseo_head_json":{"title":"\ud83e\udd47\u00ab\u0418\u0437\u0432\u044a\u043d EUV\u00bb: Lace Lithography \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u0432\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438 \u0445\u0435\u043b\u0438\u0439 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 0,1 \u043d\u043c | ProHoster","description":"\u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0436\u043a\u0438\u044f\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0430\u043f Lace Lithography, \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043a\u0440\u0435\u043f\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 Microsoft, \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u0447\u0435 40 \u043c\u043b\u043d. \u0434\u043e\u043b\u0430\u0440\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u044a\u0440\u0432\u0438\u044f \u043a\u0440\u044a\u0433 \u043d\u0430 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0432\u0430\u043d\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043a\u0435\u043d\u0435\u0440, \u043a\u043e\u0439\u0442\u043e \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u043e\u0442 \u0445\u0435\u043b\u0438\u0435\u0432\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438 \u0437\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0439.","canonical_url":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/blog\/novosti-interneta\/za-predelami-euv-lace-lithography-gotovit-litografiyu-na-atomah-geliya-s-razresheniem-01-nm","robots":"max-image-preview:large","keywords":"","webmasterTools":{"miscellaneous":""},"schema":null,"og:locale":"bg_BG","og:site_name":"ProHoster | \u041a\u0443\u043f\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0445\u043e\u0441\u0442\u0438\u043d\u0433 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0430\u0439\u0442\u043e\u0432 \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0442 DDoS, VPS VDS \u0441\u0435\u0440\u0432\u0435\u0440\u044b","og:type":"article","og:title":"\ud83e\udd47\u00ab\u0417\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u043c\u0438 EUV\u00bb: Lace Lithography \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0445 \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 0,1 \u043d\u043c | ProHoster","og:description":"\u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0430\u043f Lace Lithography \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 Microsoft \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0451\u043a $40 \u043c\u043b\u043d \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0443\u043d\u0434\u0430 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445.","og:url":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/blog\/novosti-interneta\/za-predelami-euv-lace-lithography-gotovit-litografiyu-na-atomah-geliya-s-razresheniem-01-nm","og:image":"https:\/\/prohoster.info\/wp-content\/uploads\/2021\/11\/logo-350.jpg","og:image:secure_url":"https:\/\/prohoster.info\/wp-content\/uploads\/2021\/11\/logo-350.jpg","og:image:width":350,"og:image:height":350,"article:published_time":"2026-03-24T21:13:51+00:00","article:modified_time":"2026-03-27T11:27:33+00:00","article:publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/prohoster","article:author":"https:\/\/www.facebook.com\/prohoster"},"aioseo_meta_data":[],"gt_translate_keys":[{"key":"link","format":"url"}],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/166072","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/users\/8"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=166072"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/166072\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":166545,"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/166072\/revisions\/166545"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/media\/166073"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=166072"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=166072"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/prohoster.info\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=166072"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}