ΠΡΡ Π² ΠΌΠ°Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡΡΠ°ΡΡΡ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠΎΠΌ Π² ΡΠ΅Π³ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ ASML ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ
ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊ Π½Π°ΡΠ°Π»Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΡ
ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ
Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΡΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠ΅ΡΡΡΡΡ — 0,75 (Hyper-NA EUV). ΠΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Imec ΡΡΠ²Π΅ΡΠΆΠ΄Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΈ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΠΈ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π΅ ΡΠΉΠ΄ΡΡ ΠΎΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ: ASML
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ: 3dnews.ru