Β«ΠΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°ΠΌΠΈ EUVΒ»: Lace Lithography Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π° Π°ΡΠΎΠΌΠ°Ρ Π³Π΅Π»ΠΈΡ Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 0,1 Π½ΠΌ
ΠΠΎΡΠ²Π΅ΠΆΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ°ΠΏ Lace Lithography ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠ΅ Microsoft ΠΏΡΠΈΠ²Π»ΡΠΊ $40 ΠΌΠ»Π½ Π² ΡΠ°ΠΌΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΠ½Π΄Π° ΡΠΈΠ½Π°Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΠ°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠΎΠΊ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π³Π΅Π»ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½. ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ²Π΅ΡΠΆΠ΄Π°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π΅Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π² 10 ΡΠ°Π· ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°, ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΡΠΊΠ° Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 0,1 Π½ΠΌ β EUV-ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΡ ASML ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ […]
