ΠΠ°ΠΊ Π½Π°ΠΌ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, Π² ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π³ΠΎΠ΄Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ TSMC ΠΏΡΠΈΡΡΡΠΏΠΈΠ»Π° ΠΊ ΠΎΠΏΡΡΠ½ΠΎΠΌΡ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΡ 5-Π½ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·ΠΎΡΠ»ΠΎ Π½Π° Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅ Fab 18 Π½Π° Π’Π°ΠΉΠ²Π°Π½Π΅,
ΠΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΠΌ, ΡΡΠΎ Π½Π°ΠΌ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ· ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠΈΡ Π·Π°ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ TSMC. Π£ΡΠ²Π΅ΡΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ 7-Π½ΠΌ ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ 5-Π½ΠΌ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π²ΡΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ Π½Π° 15 % ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° 30 % ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ½Π΅ΠΉ. Π’Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ N5P Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ Π΅ΡΡ 7 % ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ 15 % ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π²ΡΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ Π² 1,8 ΡΠ°Π·Π°. ΠΠ°ΡΡΡΠ°Π± ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠΈ SRAM ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡΡ Π² 0,75 ΡΠ°Π·Π°.
ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ 5-Π½ΠΌ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π± ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ EUV-ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½Π΅Ρ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π·ΡΠ΅Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π° ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Π°, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π·Π° ΡΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ·ΡΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ ΠΈ ΡΠΎΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ². Π ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΌΡΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π΄Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° 25 % ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌ Π² 7-Π½ΠΌ ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅. ΠΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉΡΠΎΠ² Π²Π²ΠΎΠ΄Π°/Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄Π° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΠΎΡ 1,5 Π Π΄ΠΎ 1,2 Π.
ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π΅ΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ² Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»-Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊ-ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π½Π° 4 %. Π ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ TSMC ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉΠ΄ΡΡ Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ low-K-ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠ². Π ΡΡ Π΅ΠΌΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ «ΡΡΡ ΠΎΠΉ» ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Metal Reactive Ion Etching (RIE), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π΄Π°ΠΌΠ°ΡΡΠΊΠΈΠΉ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ (Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 30 Π½ΠΌ). Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° (Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠΈΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ).
ΠΠ· Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΠΊΠ°Π±ΡΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄Π° Π½Π° IEDM ΠΌΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΏΠ½ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ΄ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² 5-Π½ΠΌ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΎΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΡΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π»ΡΡΡΠ΅. Π’Π°ΠΊ, ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π²ΡΡΠ΅ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½Π΅Ρ 1,84 ΠΊΡΠ°Ρ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠ° SRAM, ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡ 0,021 ΠΌΠΊΠΌ2. Π‘ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π²ΡΡ Π² ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ΅ β ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ 15-ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΎΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ 30-ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π·Π°ΠΌΠΎΡΠ°ΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π΅ΡΡ Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ.
ΠΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΡΠΎ Π²Π½Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΡ, Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΠΎΠ² EUV ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½Π½ΠΎ ΡΠΏΡΠΎΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅. ΠΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ TSMC, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π½Π° EUV-ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² 0,73 ΡΠ°Π·Π° ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ 7-Π½ΠΌ ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ² Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ΄Π½Π° EUV-ΠΌΠ°ΡΠΊΠ° ΠΈ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠΊΠ» Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΡΡΠΈ. ΠΡΡΠ°ΡΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅, Π½Π°ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΠΊΠΊΡΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π½Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ EUV-ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΡΠ°ΡΠΎΡΠ°, Π΄Π° ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ.
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ: 3dnews.ru