Π ΠΠΈΡΠ°Π΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π»Π°Π·Π΅Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΠ³ΠΎ VUV-Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° β Π²ΡΠΈΠ³ΡΠ°ΡΡ Π½Π°ΡΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡΠΌΠΎΡ ΠΈ ΡΠΈΠΏΠΌΠ΅ΠΉΠΊΠ΅ΡΡ
ΠΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ· Π‘ΠΈΠ½ΡΡΠ·ΡΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΠΈΡΡΡΠ° ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ ΠΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΠΊΠ°Π΄Π΅ΠΌΠΈΠΈ Π½Π°ΡΠΊ (Xinjiang Technical Institute of Physics and Chemistry) ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π»ΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎ-ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ABF (ΡΡΠΎΡΠΎΠΊΡΠΎΠ±ΠΎΡΠ°Ρ Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ, NHβBβOβF). ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ (VUV) ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π Π°Π½Π΅Π΅ Π²ΠΎΠΉΡΠΈ Π² ΡΡΠΎΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π±Π΅Π· ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ Π·Π°ΡΡΠ°Ρ Π½ΠΈΠΊΡΠΎ Π½Π΅ ΡΠΌΠΎΠ³, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ ASML. ΠΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΠ½ΡΡ , ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ […]
