āĻ¸ā§āĻ¯āĻžāĻŽāĻ¸āĻžāĻ‚ āĻ—ā§āĻ°ā§āĻ¤ā§āĻŦ āĻ¸āĻšāĻ•āĻžāĻ°ā§‡ EUV āĻ¸ā§āĻ•ā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻ•āĻ°ā§‡ āĻšāĻŋāĻĒāĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ‰āĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻĒā§āĻ°āĻ¸āĻžāĻ°āĻŋāĻ¤ āĻ•āĻ°āĻ›ā§‡

āĻ¸ā§‡āĻŽāĻŋāĻ•āĻ¨ā§āĻĄāĻžāĻ•ā§āĻŸāĻ° āĻ‰āĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ā§‡āĻ° āĻœāĻ¨ā§āĻ¯ āĻ¸ā§āĻ¯āĻžāĻŽāĻ¸āĻžāĻ‚āĻ‡ āĻĒā§āĻ°āĻĨāĻŽ EUV āĻ¸ā§āĻ•ā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻ•āĻ°ā§‡āĻ›āĻŋāĻ˛, āĻ¯āĻž 2018 āĻ¸āĻžāĻ˛ā§‡āĻ° āĻļāĻ°āĻ¤ā§āĻ•āĻžāĻ˛ā§‡ āĻ˜āĻŸā§‡āĻ›āĻŋāĻ˛āĨ¤ āĻ•āĻŋāĻ¨ā§āĻ¤ā§ āĻ‡āĻ‡āĻ‰āĻ­āĻŋ āĻĒā§āĻ°āĻœā§‡āĻ•āĻļāĻ¨ā§‡āĻ° āĻ‰āĻĒāĻ° āĻ­āĻŋāĻ¤ā§āĻ¤āĻŋ āĻ•āĻ°ā§‡ āĻĒā§āĻ°āĻ¯ā§āĻ•ā§āĻ¤āĻŋāĻ—āĻ¤ āĻĒā§āĻ°āĻ•ā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ¸āĻ¤ā§āĻ¯āĻ‡ āĻŦā§āĻ¯āĻžāĻĒāĻ• āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻāĻ–āĻ¨ āĻ˜āĻŸāĻ›ā§‡āĨ¤ āĻŦāĻŋāĻļā§‡āĻˇ āĻ•āĻ°ā§‡ āĻ¸ā§āĻ¯āĻžāĻŽāĻ¸āĻžāĻ‚ āĻ•āĻžāĻœā§‡ āĻ°āĻžāĻ–āĻž EUV āĻ˛āĻžāĻ‡āĻ¨ā§‡āĻ° āĻ¸āĻžāĻĨā§‡ āĻŦāĻŋāĻļā§āĻŦā§‡āĻ° āĻĒā§āĻ°āĻĨāĻŽ āĻ¸ā§āĻŦāĻŋāĻ§āĻž āĻŽā§‚āĻ˛āĻ¤ āĻĒāĻ°āĻŋāĻ•āĻ˛ā§āĻĒāĻŋāĻ¤āĨ¤

āĻ¸ā§āĻ¯āĻžāĻŽāĻ¸āĻžāĻ‚ āĻ—ā§āĻ°ā§āĻ¤ā§āĻŦ āĻ¸āĻšāĻ•āĻžāĻ°ā§‡ EUV āĻ¸ā§āĻ•ā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻ•āĻ°ā§‡ āĻšāĻŋāĻĒāĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ‰āĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻĒā§āĻ°āĻ¸āĻžāĻ°āĻŋāĻ¤ āĻ•āĻ°āĻ›ā§‡

āĻ¸āĻŽā§āĻĒā§āĻ°āĻ¤āĻŋ, Samsung Electronics āĻ•ā§‹āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻž āĻĒā§āĻ°āĻœāĻžāĻ¤āĻ¨ā§āĻ¤ā§āĻ°ā§‡āĻ° Hwaseong-āĻ V1 āĻĒā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻŸā§‡ āĻ¸ā§‡āĻŽāĻŋāĻ•āĻ¨ā§āĻĄāĻžāĻ•ā§āĻŸāĻ°āĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻžāĻĒāĻ• āĻ‰āĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻļā§āĻ°ā§ āĻ•āĻ°ā§‡āĻ›ā§‡āĨ¤ āĻāĻ¨ā§āĻŸāĻžāĻ°āĻĒā§āĻ°āĻžāĻ‡āĻœāĻŸāĻŋ āĻ¨āĻŋāĻ°ā§āĻŽāĻŋāĻ¤ āĻšāĻ¤ā§‡ āĻļā§āĻ°ā§ āĻ•āĻ°ā§‡ āĻĢā§‡āĻŦā§āĻ°ā§āĻ¯āĻŧāĻžāĻ°āĻŋ 2018 āĻāĻŦāĻ‚ āĻ•āĻ¯āĻŧā§‡āĻ• āĻŽāĻžāĻ¸ āĻ†āĻ—ā§‡ āĻĒāĻžāĻ‡āĻ˛āĻŸ āĻ‰ā§ŽāĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻĒāĻ°ā§āĻ¯āĻžāĻ¯āĻŧā§‡ āĻĒā§āĻ°āĻŦā§‡āĻļ āĻ•āĻ°ā§‡āĻ›ā§‡āĨ¤ āĻāĻ–āĻ¨ V1 āĻĒā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻŸ āĻ˛āĻžāĻ‡āĻ¨āĻ—ā§āĻ˛āĻŋ āĻ†āĻ˛ā§āĻŸā§āĻ°āĻž-āĻšāĻžāĻ°ā§āĻĄ āĻ†āĻ˛ā§āĻŸā§āĻ°āĻžāĻ­āĻžāĻ¯āĻŧā§‹āĻ˛ā§‡āĻŸ (EUV) āĻĒā§āĻ°āĻœā§‡āĻ•āĻļāĻ¨ āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻ•āĻ°ā§‡ 7nm āĻāĻŦāĻ‚ 6nm āĻĒāĻŖā§āĻ¯ āĻ‰ā§ŽāĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻļā§āĻ°ā§ āĻ•āĻ°ā§‡āĻ›ā§‡āĨ¤ āĻ•ā§‹āĻŽā§āĻĒāĻžāĻ¨āĻŋāĻ° āĻ—ā§āĻ°āĻžāĻšāĻ•āĻ°āĻž āĻ•āĻ¯āĻŧā§‡āĻ• āĻ¸āĻĒā§āĻ¤āĻžāĻšā§‡āĻ° āĻŽāĻ§ā§āĻ¯ā§‡ āĻāĻ‡ āĻĒā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻŸ āĻĨā§‡āĻ•ā§‡ āĻ…āĻ°ā§āĻĄāĻžāĻ° āĻĒā§‡āĻ¤ā§‡ āĻļā§āĻ°ā§ āĻ•āĻ°āĻŦā§‡āĨ¤

V1 āĻĒā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻŸā§‡ āĻ•āĻŽāĻĒāĻ•ā§āĻˇā§‡ 10āĻŸāĻŋ EUV āĻ¸ā§āĻ•ā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ° āĻ‡āĻ¨āĻ¸ā§āĻŸāĻ˛ āĻ•āĻ°āĻž āĻ†āĻ›ā§‡ āĻŦāĻ˛ā§‡ āĻ—ā§āĻœāĻŦ āĻ°āĻ¯āĻŧā§‡āĻ›ā§‡āĨ¤ āĻļā§āĻ§ā§āĻŽāĻžāĻ¤ā§āĻ° āĻāĻ‡ āĻļāĻŋāĻ˛ā§āĻĒ āĻ¸āĻ°āĻžā§āĻœāĻžāĻŽā§‡āĻ° āĻœāĻ¨ā§āĻ¯ āĻŽā§‚āĻ˛ā§āĻ¯ āĻŸā§āĻ¯āĻžāĻ— $1 āĻŦāĻŋāĻ˛āĻŋāĻ¯āĻŧāĻ¨ āĻ›āĻžāĻĄāĻŧāĻŋāĻ¯āĻŧā§‡ āĻ—ā§‡āĻ›ā§‡, āĻ…āĻ¨ā§āĻ¯ āĻ¸āĻŦ āĻ•āĻŋāĻ›ā§ āĻ‰āĻ˛ā§āĻ˛ā§‡āĻ– āĻ¨āĻžāĨ¤ āĻāĻ° āĻ†āĻ—ā§‡, āĻ¸ā§āĻ¯āĻžāĻŽāĻ¸āĻžāĻ‚ āĻāĻ¸ā§Š āĻĒā§āĻ˛āĻžāĻ¨ā§āĻŸā§‡ āĻ‡āĻ‡āĻ‰āĻ­āĻŋ āĻ°ā§‡āĻžā§āĻœ āĻ¸ā§āĻ•ā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ°ā§‡āĻ° āĻ•āĻŋāĻ›ā§ āĻ‡āĻ‰āĻ¨āĻŋāĻŸ āĻ•āĻžāĻœ āĻ•āĻ°āĻ›āĻŋāĻ˛āĨ¤ āĻŦāĻ›āĻ°ā§‡āĻ° āĻļā§‡āĻˇ āĻ¨āĻžāĻ—āĻžāĻĻ S3 āĻĒā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻŸā§‡āĻ° āĻ¸āĻžāĻĨā§‡ āĻ¨āĻ¤ā§āĻ¨ V1 āĻ‰āĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻ•ā§‹āĻŽā§āĻĒāĻžāĻ¨āĻŋāĻŸāĻŋāĻ•ā§‡ āĻšāĻŋāĻĒāĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ‰āĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ā§‡āĻ° āĻĒāĻ°āĻŋāĻŽāĻžāĻŖ āĻ¤āĻŋāĻ¨āĻ—ā§āĻŖ āĻ•āĻ°āĻžāĻ° āĻ…āĻ¨ā§āĻŽāĻ¤āĻŋ āĻĻā§‡āĻŦā§‡ āĻ¯āĻž āĻĒā§āĻ°āĻ•ā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻ•āĻ°āĻŖā§‡āĻ° āĻœāĻ¨ā§āĻ¯ EUV āĻ¸ā§āĻ•ā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ°āĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻĒā§āĻ°āĻ¯āĻŧā§‹āĻœāĻ¨āĨ¤ āĻŽāĻ¨ā§‡ āĻ°āĻžāĻ–āĻŦā§‡āĻ¨ āĻ¯ā§‡ āĻāĻ—ā§āĻ˛āĻŋ 3 āĻāĻ¨āĻāĻŽ āĻŽāĻžāĻ¨ āĻāĻŦāĻ‚ āĻ¨āĻŋāĻŽā§āĻ¨ āĻĒā§āĻ°āĻ¯ā§āĻ•ā§āĻ¤āĻŋāĻ—āĻ¤ āĻŽāĻžāĻ¨ āĻ¸āĻš āĻĒāĻŖā§āĻ¯ āĻšāĻŦā§‡ā§ˇ āĻ­āĻŦāĻŋāĻˇā§āĻ¯āĻ¤ā§‡, Hwaseong-āĻāĻ° V7 āĻĒā§āĻ˛ā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻŸāĻŸāĻŋāĻ“ 1nm āĻĒāĻŖā§āĻ¯ āĻ‰ā§ŽāĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻ•āĻ°āĻ¤ā§‡ āĻ¸āĻ•ā§āĻˇāĻŽ āĻšāĻŦā§‡āĨ¤

āĻ¸ā§āĻ¯āĻžāĻŽāĻ¸āĻžāĻ‚ āĻ—ā§āĻ°ā§āĻ¤ā§āĻŦ āĻ¸āĻšāĻ•āĻžāĻ°ā§‡ EUV āĻ¸ā§āĻ•ā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻ•āĻ°ā§‡ āĻšāĻŋāĻĒāĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ‰āĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻĒā§āĻ°āĻ¸āĻžāĻ°āĻŋāĻ¤ āĻ•āĻ°āĻ›ā§‡

V1 āĻ˛āĻžāĻ‡āĻ¨ā§‡āĻ° āĻ¸āĻžāĻĨā§‡, Samsung āĻāĻ° āĻāĻ–āĻ¨ āĻŽā§‹āĻŸ āĻ›āĻ¯āĻŧāĻŸāĻŋ āĻ¸ā§‡āĻŽāĻŋāĻ•āĻ¨ā§āĻĄāĻžāĻ•ā§āĻŸāĻ° āĻĢāĻžāĻ‰āĻ¨ā§āĻĄā§āĻ°āĻŋ āĻ°āĻ¯āĻŧā§‡āĻ›ā§‡āĨ¤ āĻ¤āĻžāĻĻā§‡āĻ° āĻŽāĻ§ā§āĻ¯ā§‡ āĻĒāĻžāĻāĻšāĻŸāĻŋ āĻĻāĻ•ā§āĻˇāĻŋāĻŖ āĻ•ā§‹āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻ¯āĻŧ āĻāĻŦāĻ‚ āĻāĻ•āĻœāĻ¨ āĻŽāĻžāĻ°ā§āĻ•āĻŋāĻ¨ āĻ¯ā§āĻ•ā§āĻ¤āĻ°āĻžāĻˇā§āĻŸā§āĻ°ā§‡āĨ¤ āĻ†āĻĒāĻ¨āĻŋ āĻ‰āĻĒāĻ°ā§‡āĻ° āĻ›āĻŦāĻŋāĻ¤ā§‡ āĻĻā§‡āĻ–āĻ¤ā§‡ āĻĒāĻžāĻšā§āĻ›ā§‡āĻ¨ āĻ¯ā§‡ āĻāĻ‡ āĻ‰āĻĻā§āĻ¯ā§‹āĻ—āĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ˛āĻžāĻ‡āĻ¨āĻ—ā§āĻ˛āĻŋ āĻ•ā§€ āĻ¸āĻžāĻŦāĻ¸ā§āĻŸā§āĻ°ā§‡āĻŸ āĻāĻŦāĻ‚ āĻ•ā§€ āĻĒā§āĻ°āĻ¯ā§āĻ•ā§āĻ¤āĻŋāĻ—āĻ¤ āĻĒā§āĻ°āĻ•ā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻ—ā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻœāĻ¨ā§āĻ¯ āĻ•āĻ¨āĻĢāĻŋāĻ—āĻžāĻ° āĻ•āĻ°āĻž āĻšāĻ¯āĻŧā§‡āĻ›ā§‡āĨ¤



āĻ‰āĻ¤ā§āĻ¸: 3dnews.ru

āĻāĻ•āĻŸāĻŋ āĻŽāĻ¨ā§āĻ¤āĻŦā§āĻ¯ āĻœā§āĻĄāĻŧā§āĻ¨