Samsung war das erste Unternehmen, das EUV-Scanner für die Halbleiterproduktion einsetzte, und zwar bereits im Herbst 2018. Doch eine wirklich flächendeckende Nutzung technologischer Verfahren auf Basis der EUV-Projektion findet erst jetzt statt. Insbesondere Samsung Die weltweit erste Anlage mit ursprünglich geplanten EUV-Linien.
Vor kurzem begann Samsung Electronics mit der Massenproduktion von Halbleitern im V1-Werk in Hwaseong, Republik Korea. Mit dem Aufbau des Unternehmens wurde begonnen und ist vor einigen Monaten in die Pilotproduktionsphase eingetreten. Jetzt haben die V1-Anlagenlinien mit der Massenproduktion von 7-nm- und 6-nm-Produkten unter Verwendung der Ultrahart-Ultraviolett-Projektion (EUV) begonnen. Die Kunden des Unternehmens werden in wenigen Wochen Bestellungen aus diesem Werk erhalten.
Gerüchten zufolge sind in der V1-Anlage mindestens 10 EUV-Scanner installiert. Allein der Preis für diese Industrieausrüstung übersteigt 1 Milliarde US-Dollar, ganz zu schweigen von allem anderen. Zuvor waren einige Einheiten von EUV-Range-Scannern im Samsung S3-Werk im Einsatz. Die neue V1-Produktion zusammen mit der S3-Anlage wird es dem Unternehmen bis Ende des Jahres ermöglichen, das Produktionsvolumen von Chips zu verdreifachen, für deren Verarbeitung EUV-Scanner erforderlich sind. Beachten Sie, dass es sich hierbei um Produkte mit 7-nm-Standards und niedrigeren technologischen Standards handelt. Zukünftig wird das V1-Werk in Hwaseong auch in der Lage sein, 3-nm-Produkte herzustellen.
Zusammen mit den V1-Linien verfügt Samsung nun über insgesamt sechs Halbleiter-Foundries. Fünf davon befinden sich in Südkorea und einer in den USA. Auf dem Bild oben sehen Sie, für welche Substrate und welche technischen Verfahren die Linien dieser Unternehmen ausgelegt sind.
Source: 3dnews.ru