En EE. UU. se ha desarrollado una nueva tecnología para la producción de semiconductores nanométricos

Es imposible imaginar un mayor desarrollo de la microelectrónica sin mejorar las tecnologías de producción de semiconductores. Para ampliar los límites y aprender a producir elementos cada vez más pequeños en cristales, se necesitan nuevas tecnologías y nuevas herramientas. Una de estas tecnologías podría ser un avance revolucionario de los científicos estadounidenses.

En EE. UU. se ha desarrollado una nueva tecnología para la producción de semiconductores nanométricos

Un equipo de investigadores del Laboratorio Nacional Argonne del Departamento de Energía de EE. UU. Ha desarrollado una nueva técnica para crear y grabar películas delgadas en la superficie de cristales. Esto podría conducir potencialmente a la producción de chips a una escala menor que la actual y en un futuro próximo. El estudio fue publicado en la revista Chemistry of Materials.

La técnica propuesta se asemeja al proceso tradicional. deposición de capa atómica y grabado, sólo que en lugar de películas inorgánicas, la nueva tecnología crea y trabaja con películas orgánicas. En realidad, por analogía, la nueva tecnología se llama deposición de capas moleculares (MLD, deposición de capas moleculares) y grabado de capas moleculares (MLE, grabado de capas moleculares).

Como en el caso del grabado de capas atómicas, el método MLE utiliza un tratamiento con gas en una cámara de la superficie de un cristal con películas de un material de base orgánica. El cristal se trata cíclicamente con dos gases diferentes alternativamente hasta que la película se adelgaza hasta un espesor determinado.

Los procesos químicos están sujetos a las leyes de autorregulación. Esto significa que capa tras capa se elimina de manera uniforme y controlada. Si utiliza fotomáscaras, puede reproducir la topología del futuro chip en el chip y grabar el diseño con la mayor precisión.

En EE. UU. se ha desarrollado una nueva tecnología para la producción de semiconductores nanométricos

En el experimento, los científicos utilizaron para el grabado molecular un gas que contiene sales de litio y un gas a base de trimetilaluminio. Durante el proceso de grabado, el compuesto de litio reaccionó con la superficie de la película de alucona de tal manera que el litio se depositó en la superficie y destruyó el enlace químico de la película. Luego se suministró trimetilaluminio, que eliminó la capa de película con litio, y así sucesivamente hasta reducir la película al espesor deseado. Los científicos creen que una buena controlabilidad del proceso puede permitir que la tecnología propuesta impulse el desarrollo de la producción de semiconductores.



Fuente: 3dnews.ru

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