Veel mais rääkis litograafiaskannerite segmendi liider ASML väljavaadetest, et järgmise kümnendi alguseks võivad tekkida süsteemid, mis võimaldavad töötada ülikõrge numbrilise ava väärtusega 0,75 (Hyper-NA EUV). Imeci esindajad ütlevad, et litograafia jätkab laserite ja räni kasutamist ka järgmisel kümnendil. Pildi allikas: ASML
Allikas: 3dnews.ru
