سامسونگ اولین کسی بود که از اسکنرهای EUV برای تولید نیمه هادی استفاده کرد که در پاییز 2018 اتفاق افتاد. اما استفاده واقعاً گسترده از فرآیندهای فناوری مبتنی بر طرح EUV فقط در حال حاضر اتفاق می افتد. به ویژه سامسونگ اولین تاسیسات جهان با خطوط EUV که در ابتدا برنامه ریزی شده بود.
به تازگی، سامسونگ الکترونیکس تولید انبوه نیمه هادی ها را در کارخانه V1 در Hwaseong، جمهوری کره آغاز کرده است. این شرکت شروع به ساخت کرد و از چند ماه پیش وارد مرحله تولید آزمایشی شد. اکنون خطوط کارخانه V1 شروع به تولید انبوه محصولات 7 نانومتری و 6 نانومتری با استفاده از طرح ریزی فرابنفش فوق سخت (EUV) کرده اند. مشتریان این شرکت تا چند هفته دیگر سفارشات خود را از این کارخانه دریافت خواهند کرد.
شایعه شده است که کارخانه V1 حداقل 10 اسکنر EUV نصب کرده است. قیمت این تجهیزات صنعتی به تنهایی از 1 میلیارد دلار فراتر می رود. پیش از این، برخی از واحدهای اسکنر محدوده EUV در کارخانه سامسونگ S3 کار می کردند. تولید جدید V1 همراه با کارخانه S3 تا پایان سال به شرکت اجازه می دهد تا حجم تولید تراشه هایی را که برای پردازش به اسکنرهای EUV نیاز دارند، سه برابر کند. توجه داشته باشید که اینها محصولاتی با استانداردهای 7 نانومتر و استانداردهای تکنولوژیکی پایین تر خواهند بود. در آینده، کارخانه V1 در Hwaseong نیز قادر به تولید محصولات 3 نانومتری خواهد بود.
همراه با خطوط V1، سامسونگ اکنون در مجموع شش ریخته گری نیمه هادی دارد. پنج نفر از آنها در کره جنوبی و یک نفر در ایالات متحده آمریکا هستند. در تصویر بالا می بینید که خطوط این شرکت ها برای چه بسترها و چه فرآیندهای فنی پیکربندی شده اند.
منبع: 3dnews.ru