Samsung käytti ensimmäisenä EUV-skannereita puolijohteiden valmistukseen, mikä tapahtui jo syksyllä 2018. Mutta EUV-projektioon perustuvien teknisten prosessien todella laaja käyttö on alkamassa vasta nyt. Varsinkin Samsung maailman ensimmäinen laitos, jossa EUV-linjat alun perin suunniteltiin.
Samsung Electronics aloitti äskettäin puolijohteiden massatuotannon V1-tehtaalla Hwaseongissa, Korean tasavallassa. Yritystä alettiin rakentaa sisään ja siirtyi pilottituotantovaiheeseen useita kuukausia sitten. Nyt V1-tehdaslinjat ovat aloittaneet 7 nm:n ja 6 nm:n tuotteiden massatuotannon käyttämällä ultrakovaa ultraviolettisäteilyä (EUV). Yrityksen asiakkaat alkavat saada tilauksia tältä tehtaalta muutaman viikon sisällä.
V1-tehtaalla huhutaan olevan asennettuna vähintään 10 EUV-skanneria. Pelkästään tämän teollisuuslaitteiston hintalappu ylittää miljardin dollarin, puhumattakaan kaikesta muusta. Ennen tätä Samsung S1 -tehtaalla työskenteli eräitä EUV-skannereita. Uusi V3-tuotanto ja S1-tehdas vuoden loppuun mennessä mahdollistavat sen, että yritys kolminkertaistaa EUV-skannereita vaativien sirujen tuotantonsa. Huomaa, että nämä tuotteet ovat 3 nm:n standardeja ja alempia teknologisia standardeja. Tulevaisuudessa V7-tehdas Hwaseongissa pystyy myös valmistamaan 1 nanometrin tuotteita.
Yhdessä V1-linjojen kanssa Samsungilla on nyt yhteensä kuusi puolijohdevalimoa. Viisi niistä on Etelä-Koreassa ja yksi Yhdysvalloissa. Yllä olevasta kuvasta näet mitä substraatteja ja mitä teknisiä prosesseja varten näiden yritysten linjat on konfiguroitu.
Lähde: 3dnews.ru