Samsung a été le premier à utiliser des scanners EUV pour la production de semi-conducteurs, à l'automne 2018. Mais ce n’est que maintenant que l’on commence à utiliser véritablement des procédés technologiques basés sur la projection EUV. En particulier, Samsung la première installation au monde dotée de lignes EUV initialement prévue.
Récemment, Samsung Electronics a commencé la production en série de semi-conducteurs dans l'usine V1 de Hwaseong, en République de Corée. L'entreprise a commencé à être construite et est entré dans la phase de production pilote il y a plusieurs mois. Désormais, les lignes de l'usine V1 ont commencé à produire en masse des produits en 7 nm et 6 nm en utilisant la projection ultraviolette ultra-dure (EUV). Les clients de l'entreprise commenceront à recevoir des commandes de cette usine dans quelques semaines.
Selon les rumeurs, l'usine V1 aurait au moins 10 scanners EUV installés. Le prix de cet équipement industriel à lui seul dépasse le milliard de dollars, sans parler de tout le reste. Avant cela, certaines unités de scanners de la gamme EUV fonctionnaient dans l'usine Samsung S1. La nouvelle production V3 ainsi que l'usine S1 d'ici la fin de l'année permettront à l'entreprise de tripler le volume de production de puces nécessitant des scanners EUV pour le traitement. A noter qu’il s’agira de produits aux normes 3 nm et aux normes technologiques inférieures. À l’avenir, l’usine V7 de Hwaseong sera également capable de produire des produits en 1 nm.
En plus des lignes V1, Samsung compte désormais six fonderies de semi-conducteurs au total. Cinq d'entre eux se trouvent en Corée du Sud et un aux États-Unis. Vous pouvez voir sur l'image ci-dessus pour quels substrats et pour quels processus techniques les lignes de ces entreprises sont configurées.
Source: 3dnews.ru