It is ûnmooglik om de fierdere ûntwikkeling fan mikro-elektroanika foar te stellen sûnder it ferbetterjen fan technologyen foar produksje fan semiconductor. Om de grinzen út te wreidzjen en te learen hoe't jo hieltyd lytsere eleminten op kristallen produsearje, binne nije technologyen en nije ark nedich. Ien fan dizze technologyen kin in trochbraakûntwikkeling wêze troch Amerikaanske wittenskippers.
In team fan ûndersikers fan it Argonne National Laboratory fan it Amerikaanske ministearje fan enerzjy in nije technyk foar it meitsjen en etsen fan tinne films op it oerflak fan kristallen. Dit kin mooglik liede ta de produksje fan chips op in lytsere skaal as hjoed en yn 'e heine takomst. De stúdzje waard publisearre yn it tydskrift Chemistry of Materials.
De foarstelde technyk liket it tradisjonele proses en etsen, allinnich ynstee fan anorganyske films, de nije technology skept en wurket mei organyske films. Eigentlik, troch analogy, wurdt de nije technology molekulêre laach ôfsetting neamd (MLD, molekulêre laach ôfsetting) en molekulêre laach etsen (MLE, molekulêre laach etsen).
Lykas yn it gefal fan atomyske laach etsen, brûkt de MLE-metoade gasbehandeling yn in keamer fan it oerflak fan in kristal mei films fan in organysk basearre materiaal. It kristal wurdt cyclysk behannele mei twa ferskillende gassen ôfwikseljend oant de film wurdt tinne oant in opjûne dikte.
Gemyske prosessen binne ûnderwurpen oan de wetten fan selsregulearring. Dat betsjut dat laach nei laach gelyk en kontrolearre fuorthelle wurdt. As jo fotomaskers brûke, kinne jo de topology fan 'e takomstige chip op' e chip reprodusearje en it ûntwerp mei de heechste krektens etse.
Yn it eksperimint brûkten wittenskippers in gas mei lithiumsâlten en in gas basearre op trimethylaluminium foar molekulêre etsen. Tidens it etsproses reagearre de lithiumferbining mei it oerflak fan 'e alukonfilm op sa'n manier dat lithium op it oerflak dellein waard en de gemyske bân yn 'e film ferneatige. Dêrnei waard trimethylaluminium levere, dy't de laach film mei lithium fuorthelle, en sa ien foar ien oant de film waard fermindere ta de winske dikte. Goede kontrolearberens fan it proses, leauwe wittenskippers, kin de foarstelde technology tastean om de ûntwikkeling fan semiconductorproduksje te triuwe.
Boarne: 3dnews.ru