Tá sé dodhéanta forbairt bhreise ar mhicrileictreonaic a shamhlú gan teicneolaíochtaí táirgthe leathsheoltóra a fheabhsú. Chun na teorainneacha a leathnú agus foghlaim conas eilimintí níos lú a tháirgeadh ar chriostail, tá gá le teicneolaíochtaí nua agus uirlisí nua. D'fhéadfadh ceann de na teicneolaíochtaí seo a bheith ina fhorbairt chun cinn ag eolaithe Mheiriceá.
Foireann taighdeoirí ó Saotharlann Náisiúnta Argón na Roinne Fuinnimh de chuid na SA teicníc nua chun scannáin tanaí a chruthú agus a eitseáil ar dhromchla criostail. D’fhéadfadh táirgeadh sliseanna a bheith mar thoradh air seo ar scála níos lú ná mar atá inniu ann agus go luath amach anseo. Foilsíodh an staidéar san iris Chemistry of Materials.
Tá an teicníc atá beartaithe cosúil leis an bpróiseas traidisiúnta agus eitseáil, ach amháin in ionad scannáin neamhorgánacha, cruthaíonn an teicneolaíocht nua agus oibríonn sé le scannáin orgánacha. I ndáiríre, de réir analaí, tugtar sil-leagan ciseal mhóilíneach (MLD, sil-leagan ciseal mhóilíneach) agus eitseáil ciseal mhóilíneach (MLE, eitseáil ciseal mhóilíneach) ar an teicneolaíocht nua.
Mar atá i gcás eitseáil ciseal adamhach, úsáideann an modh MLE cóireáil gáis i ndlísheomra de dhromchla criostail le scannáin d'ábhar orgánach-bhunaithe. Déileáiltear leis an gcriostal go timthriallach le dhá ghás éagsúla faoi seach go dtí go ndéantar an scannán tanaithe go tiús áirithe.
Tá próisis cheimiceacha faoi réir dhlíthe an fhéinrialaithe. Ciallaíonn sé seo go mbaintear ciseal tar éis ciseal go cothrom agus ar bhealach rialaithe. Má úsáideann tú photomasks, is féidir leat topology an sliseanna sa todhchaí a atáirgeadh ar an sliseanna agus an dearadh a eitseáil leis an cruinneas is airde.
Sa turgnamh, d'úsáid na heolaithe gás ina raibh salainn litiam agus gás bunaithe ar trimethylaluminum le haghaidh eitseáil mhóilíneach. Le linn an phróisis eitseála, d'imoibrigh an cumaisc litiam le dromchla an scannáin alucone sa chaoi is gur taisceadh litiam ar an dromchla agus scrios sé an banna ceimiceach sa scannán. Ansin soláthraíodh trimethylaluminum, a bhain an ciseal scannáin le litiam, agus mar sin de cheann ar cheann go dtí go laghdaíodh an scannán go dtí an tiús atá ag teastáil. Is féidir le dea-rialaitheacht an phróisis, creideann eolaithe, ligean don teicneolaíocht atá beartaithe forbairt táirgeadh leathsheoltóra a bhrú.
Foinse: 3dnews.ru