ફ્રેન્ચોએ આવતીકાલનું સાત-સ્તરનું GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટર રજૂ કર્યું

ઘણા સમય સુધી રહસ્ય નથી, કે 3nm પ્રોસેસ ટેક્નોલોજીથી, ટ્રાન્ઝિસ્ટર વર્ટિકલ “ફિન” FinFET ચેનલોમાંથી સંપૂર્ણપણે ગેટ અથવા GAA (ગેટ-ઓલ-અરાઉન્ડ)થી ઘેરાયેલી હોરીઝોન્ટલ નેનોપેજ ચેનલો તરફ જશે. આજે, ફ્રેન્ચ સંસ્થા CEA-Leti એ દર્શાવ્યું કે કેવી રીતે FinFET ટ્રાન્ઝિસ્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓનો ઉપયોગ મલ્ટી-લેવલ GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટર બનાવવા માટે થઈ શકે છે. અને તકનીકી પ્રક્રિયાઓની સાતત્ય જાળવવી એ ઝડપી પરિવર્તન માટે વિશ્વસનીય આધાર છે.

VLSI ટેકનોલોજી અને સર્કિટ્સ 2020 સિમ્પોઝિયમ માટે CEA-Leti નિષ્ણાતો એક અહેવાલ તૈયાર કર્યો સાત-સ્તરના GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટરના ઉત્પાદન વિશે (કોરોનાવાયરસ રોગચાળા માટે વિશેષ આભાર, જેના કારણે પ્રસ્તુતિઓના દસ્તાવેજો આખરે તરત જ દેખાવા લાગ્યા, અને પરિષદોના મહિનાઓ પછી નહીં). ફ્રેન્ચ સંશોધકોએ સાબિત કર્યું છે કે તેઓ કહેવાતા RMG પ્રક્રિયા (રિપ્લેસમેન્ટ મેટલ ગેટ અથવા, રશિયનમાં, રિપ્લેસમેન્ટ (કામચલાઉ) મેટલની વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાતી તકનીકનો ઉપયોગ કરીને નેનોપેજના સંપૂર્ણ "સ્ટેક" ના રૂપમાં ચેનલો સાથે GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટર બનાવી શકે છે. દરવાજો). એક સમયે, RMG તકનીકી પ્રક્રિયાને FinFET ટ્રાન્ઝિસ્ટરના ઉત્પાદન માટે સ્વીકારવામાં આવી હતી અને, જેમ આપણે જોઈએ છીએ, નેનોપેજ ચેનલોની બહુ-સ્તરીય ગોઠવણી સાથે GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટરના ઉત્પાદનમાં વિસ્તૃત કરી શકાય છે.

સેમસંગ, જ્યાં સુધી આપણે જાણીએ છીએ, 3-એનએમ ચિપ્સના ઉત્પાદનની શરૂઆત સાથે, બે-સ્તરના GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટરનું ઉત્પાદન કરવાની યોજના ધરાવે છે જેમાં બે ફ્લેટ ચેનલો (નેનોપેજ) એક બીજાની ઉપર સ્થિત છે, જે ચારે બાજુથી ગેટથી ઘેરાયેલી છે. CEA-Leti નિષ્ણાતોએ દર્શાવ્યું છે કે સાત નેનોપેજ ચેનલો સાથે ટ્રાન્ઝિસ્ટરનું ઉત્પાદન કરવું શક્ય છે અને તે જ સમયે ચેનલોને જરૂરી પહોળાઈ પર સેટ કરો. ઉદાહરણ તરીકે, સાત ચેનલો સાથેનો પ્રાયોગિક GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટર 15 nm થી 85 nm સુધીની પહોળાઈવાળા સંસ્કરણોમાં બહાર પાડવામાં આવ્યો હતો. તે સ્પષ્ટ છે કે આ તમને ટ્રાન્ઝિસ્ટર માટે ચોક્કસ લાક્ષણિકતાઓ સેટ કરવાની અને તેમની પુનરાવર્તિતતાની બાંયધરી આપે છે (પરિમાણોનો ફેલાવો ઘટાડે છે).

ફ્રેન્ચ અનુસાર, GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટરમાં વધુ ચેનલ સ્તર, કુલ ચેનલની અસરકારક પહોળાઈ વધુ અને તેથી, ટ્રાન્ઝિસ્ટરની વધુ સારી નિયંત્રણક્ષમતા. ઉપરાંત, મલ્ટિલેયર સ્ટ્રક્ચરમાં ઓછા લિકેજ કરંટ છે. ઉદાહરણ તરીકે, સાત-સ્તરના GAA ટ્રાન્ઝિસ્ટરમાં બે-સ્તરના એક કરતાં ત્રણ ગણો ઓછો લિકેજ પ્રવાહ હોય છે (પ્રમાણમાં, સેમસંગ GAAની જેમ). ઠીક છે, ઉદ્યોગે આખરે એક રસ્તો શોધી કાઢ્યો છે, ચીપ પર તત્વોના આડા પ્લેસમેન્ટથી વર્ટિકલ તરફ આગળ વધીને. એવું લાગે છે કે માઇક્રોસર્કિટ્સે વધુ ઝડપી, વધુ શક્તિશાળી અને ઊર્જા કાર્યક્ષમ બનવા માટે સ્ફટિકોનો વિસ્તાર વધારવો પડશે નહીં.

સોર્સ: 3dnews.ru