เชฒเซ‡เชธเชฐ-เชธเชฟเชฒเชฟเช•เซ‹เชจ เชฒเชฟเชฅเซ‹เช—เซเชฐเชพเชซเซ€ เช†เช—เชพเชฎเซ€ เชฆเชพเชฏเช•เชพเชฎเชพเช‚ เชธเชพเชฐเซ€ เชฐเซ€เชคเซ‡ เชšเชฟเชชเซเชธ เช‰เชคเซเชชเชจเซเชจ เช•เชฐเชตเชพ เชฎเชพเชŸเซ‡ เชชเซเชฐเชฌเชณ เชชเชฆเซเชงเชคเชฟ เชคเชฐเซ€เช•เซ‡ เชšเชพเชฒเซ เชฐเชนเซ‡เชถเซ‡.

เชฎเซ‡ เชฎเชนเชฟเชจเชพเชฎเชพเช‚, ASML, เชฒเชฟเชฅเซ‹เช—เซเชฐเชพเชซเซ€ เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐ เชธเซ‡เช—เชฎเซ‡เชจเซเชŸเชฎเชพเช‚ เช…เช—เซเชฐเชฃเซ€, เช เชธเชฟเชธเซเชŸเชฎเชจเชพ เช†เช—เชพเชฎเซ€ เชฆเชพเชฏเช•เชพเชจเซ€ เชถเชฐเซ‚เช†เชคเชฎเชพเช‚ เช‰เชฆเชญเชตเชจเซ€ เชธเช‚เชญเชพเชตเชจเชพเช“ เชตเชฟเชถเซ‡ เชตเชพเชค เช•เชฐเซ€ เชนเชคเซ€ เชœเซ‡ 0,75 (เชนเชพเชฏเชชเชฐ-NA EUV) เชจเชพ เช…เชฒเซเชŸเซเชฐเชพ-เชนเชพเชˆ เชจเซเชฏเซเชฎเซ‡เชฐเชฟเช•เชฒ เชเชชเชฐเชšเชฐ เชฎเซ‚เชฒเซเชฏ เชธเชพเชฅเซ‡ เช•เชพเชฎ เช•เชฐเชตเชพเชจเซ€ เชฎเช‚เชœเซ‚เชฐเซ€ เช†เชชเซ‡ เช›เซ‡. Imec เชชเซเชฐเชคเชฟเชจเชฟเชงเชฟเช“ เชฆเชพเชตเซ‹ เช•เชฐเซ‡ เช›เซ‡ เช•เซ‡ เช†เช—เชพเชฎเซ€ เชฆเชพเชฏเช•เชพเชฎเชพเช‚, เชฒเชฟเชฅเซ‹เช—เซเชฐเชพเชซเซ€ เชฒเซ‡เชธเชฐ เช…เชจเซ‡ เชธเชฟเชฒเชฟเช•เซ‹เชจเชจเชพ เช‰เชชเชฏเซ‹เช—เชฅเซ€ เชฆเซ‚เชฐ เชœเชถเซ‡ เชจเชนเซ€เช‚. เช›เชฌเซ€ เชธเซเชคเซเชฐเซ‹เชค: ASML
เชธเซ‹เชฐเซเชธ: 3dnews.ru