เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเซเชธเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเซ€เชจเซ‡ เชคเซ‡เชจเชพ เชšเชฟเชชเซเชธเชจเชพ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชจเซ‡ เช—เช‚เชญเซ€เชฐเชคเชพเชฅเซ€ เชตเชฟเชธเซเชคเซƒเชค เช•เชฐเซ€ เชฐเชนเซเชฏเซเช‚ เช›เซ‡

เชธเซ‡เชฎเชฟเช•เชจเซเชกเช•เซเชŸเชฐ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เชฎเชพเชŸเซ‡ EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเซเชธเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเชจเชพเชฐ เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— เชชเซเชฐเชฅเชฎ เชนเชคเซเช‚, เชœเซ‡ 2018 เชจเชพ เชชเชพเชจเช–เชฐเชฎเชพเช‚ เชฅเชฏเซเช‚ เชนเชคเซเช‚. เชชเชฐเช‚เชคเซ EUV เชชเซเชฐเซ‹เชœเซ‡เช•เซเชถเชจ เชชเชฐ เช†เชงเชพเชฐเชฟเชค เชคเช•เชจเซ€เช•เซ€ เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพเช“เชจเซ‹ เช–เชฐเซ‡เช–เชฐ เชตเซเชฏเชพเชชเช• เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เชซเช•เซเชค เชนเชตเซ‡ เชฅเชˆ เชฐเชนเซเชฏเซ‹ เช›เซ‡. เช–เชพเชธ เช•เชฐเซ€เชจเซ‡, เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— เช•เชฎเชฟเชถเชจเซเชก EUV เชฒเชพเช‡เชจ เชธเชพเชฅเซ‡ เชตเชฟเชถเซเชตเชจเซ€ เชชเซเชฐเชฅเชฎ เชธเซเชตเชฟเชงเชพ เชฎเซ‚เชณ เชฐเซ€เชคเซ‡ เช†เชฏเซ‹เชœเชฟเชค เช›เซ‡.

เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเซเชธเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเซ€เชจเซ‡ เชคเซ‡เชจเชพ เชšเชฟเชชเซเชธเชจเชพ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชจเซ‡ เช—เช‚เชญเซ€เชฐเชคเชพเชฅเซ€ เชตเชฟเชธเซเชคเซƒเชค เช•เชฐเซ€ เชฐเชนเซเชฏเซเช‚ เช›เซ‡

เชคเชพเชœเซ‡เชคเชฐเชฎเชพเช‚, เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— เชˆเชฒเซ‡เช•เซเชŸเซเชฐเซ‹เชจเชฟเช•เซเชธเซ‡ เช•เซ‹เชฐเชฟเชฏเชพ เชชเซเชฐเชœเชพเชธเชคเซเชคเชพเช•เชจเชพ เชนเซเชตเชพเชธเซ‡เช“เช‚เช—เชฎเชพเช‚ V1 เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸเชฎเชพเช‚ เชธเซ‡เชฎเชฟเช•เชจเซเชกเช•เซเชŸเชฐเชจเซเช‚ เชฎเซ‹เชŸเชพ เชชเชพเชฏเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เชถเชฐเซ‚ เช•เชฐเซเชฏเซเช‚. เชฎเชพเช‚ เชเชจเซเชŸเชฐเชชเซเชฐเชพเช‡เช เชฌเชพเช‚เชงเชตเชพเชจเซเช‚ เชถเชฐเซ‚ เชฅเชฏเซเช‚ เชซเซ‡เชฌเซเชฐเซเช†เชฐเซ€ 2018 เช…เชจเซ‡ เช˜เชฃเชพ เชฎเชนเชฟเชจเชพเช“ เชชเชนเซ‡เชฒเชพ เชชเชพเช‡เชฒเซ‹เชŸ เชชเซเชฐเซ‹เชกเช•เซเชถเชจ เชธเซเชŸเซ‡เชœเชฎเชพเช‚ เชชเซเชฐเชตเซ‡เชถ เช•เชฐเซเชฏเซ‹ เชนเชคเซ‹. เชนเชตเซ‡ V1 เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸ เชฒเชพเช‡เชจเซ‹เช เช…เชฒเซเชŸเซเชฐเชพ-เชนเชพเชฐเซเชก เช…เชฒเซเชŸเซเชฐเชพเชตเชพเชฏเซ‹เชฒเซ‡เชŸ (EUV) เชชเซเชฐเซ‹เชœเซ‡เช•เซเชถเชจเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเซ€เชจเซ‡ 7nm เช…เชจเซ‡ 6nm เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเซ‹เชจเซเช‚ เชฎเซ‹เชŸเชพ เชชเชพเชฏเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เช•เชฐเชตเชพเชจเซเช‚ เชถเชฐเซ‚ เช•เชฐเซเชฏเซเช‚ เช›เซ‡. เช•เช‚เชชเชจเซ€เชจเชพ เช—เซเชฐเชพเชนเช•เซ‹เชจเซ‡ เช…เช เชตเชพเชกเชฟเชฏเชพเชฎเชพเช‚ เช† เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸเชฎเชพเช‚เชฅเซ€ เช“เชฐเซเชกเชฐ เชฎเชณเชตเชพเชจเซเช‚ เชถเชฐเซ‚ เชฅเชถเซ‡.

V1 เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸเชฎเชพเช‚ เช“เช›เชพเชฎเชพเช‚ เช“เช›เชพ 10 EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเซเชธ เช‡เชจเซเชธเซเชŸเซ‹เชฒ เช•เชฐเซ‡เชฒเชพ เชนเซ‹เชตเชพเชจเซ€ เช…เชซเชตเชพ เช›เซ‡. เชเช•เชฒเชพ เช† เช”เชฆเซเชฏเซ‹เช—เชฟเช• เชธเชพเชงเชจเซ‹เชจเซ€ เช•เชฟเช‚เชฎเชค $1 เชฌเชฟเชฒเชฟเชฏเชจ เช•เชฐเชคเชพเช‚ เชตเชงเซ€ เช—เชˆ เช›เซ‡, เชฌเชพเช•เซ€เชจเซ€ เชฌเชงเซ€ เชฌเชพเชฌเชคเซ‹เชจเซ‹ เช‰เชฒเซเชฒเซ‡เช– เชจ เช•เชฐเชตเซ‹. เช† เชชเชนเซ‡เชฒเชพ เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— เชเชธ3 เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸเชฎเชพเช‚ EUV เชฐเซ‡เชจเซเชœ เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเชจเชพ เช•เซ‡เชŸเชฒเชพเช• เชฏเซเชจเชฟเชŸ เช•เชพเชฎ เช•เชฐเซ€ เชฐเชนเซเชฏเชพ เชนเชคเชพ. เชตเชฐเซเชทเชจเชพ เช…เช‚เชค เชธเซเชงเซ€เชฎเชพเช‚ S1 เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸ เชธเชพเชฅเซ‡ เชฎเชณเซ€เชจเซ‡ เชจเชตเซเช‚ V3 เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เช•เช‚เชชเชจเซ€เชจเซ‡ เชšเชฟเชชเซเชธเชจเชพ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชจเชพ เชœเชฅเซเชฅเชพเชจเซ‡ เชคเซเชฐเชฃ เช—เชฃเซเช‚ เช•เชฐเชตเชพเชจเซ€ เชฎเช‚เชœเซ‚เชฐเซ€ เช†เชชเชถเซ‡ เชœเซ‡เชจเซ‡ เชชเซเชฐเซ‹เชธเซ‡เชธเชฟเช‚เช— เชฎเชพเชŸเซ‡ EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเชจเซ€ เชœเชฐเซ‚เชฐ เช›เซ‡. เชจเซ‹เช‚เชง เช•เชฐเซ‹ เช•เซ‡ เช† 7 เชเชจเชเชฎ เชงเซ‹เชฐเชฃเซ‹ เช…เชจเซ‡ เชจเซ€เชšเชฒเชพ เชคเช•เชจเซ€เช•เซ€ เชงเซ‹เชฐเชฃเซ‹ เชธเชพเชฅเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเซ‹ เชนเชถเซ‡. เชญเชตเชฟเชทเซเชฏเชฎเชพเช‚, Hwaseong เชฎเชพเช‚ V1 เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸ เชชเชฃ 3nm เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเซ‹เชจเซเช‚ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เช•เชฐเชตเชพเชฎเชพเช‚ เชธเช•เซเชทเชฎ เชนเชถเซ‡.

เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเซเชธเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเซ€เชจเซ‡ เชคเซ‡เชจเชพ เชšเชฟเชชเซเชธเชจเชพ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชจเซ‡ เช—เช‚เชญเซ€เชฐเชคเชพเชฅเซ€ เชตเชฟเชธเซเชคเซƒเชค เช•เชฐเซ€ เชฐเชนเซเชฏเซเช‚ เช›เซ‡

V1 เชฒเชพเช‡เชจเซเชธ เชธเชพเชฅเซ‡, เชธเซ‡เชฎเชธเช‚เช— เชชเชพเชธเซ‡ เชนเชตเซ‡ เช•เซเชฒ เช› เชธเซ‡เชฎเชฟเช•เชจเซเชกเช•เซเชŸเชฐ เชซเชพเช‰เชจเซเชกเซเชฐเซ€ เช›เซ‡. เชคเซ‡เชฎเชพเช‚เชฅเซ€ เชชเชพเช‚เชš เชฆเช•เซเชทเชฟเชฃ เช•เซ‹เชฐเชฟเชฏเชพเชฎเชพเช‚ เช…เชจเซ‡ เชเช• เชฏเซเชเชธเชเชฎเชพเช‚ เช›เซ‡. เชคเชฎเซ‡ เช‰เชชเชฐเชจเชพ เชšเชฟเชคเซเชฐเชฎเชพเช‚ เชœเซ‹เชˆ เชถเช•เซ‹ เช›เซ‹ เช•เซ‡ เช† เชเชจเซเชŸเชฐเชชเซเชฐเชพเช‡เชเชจเซ€ เชฒเชพเช‡เชจ เช•เชฏเชพ เชธเชฌเชธเซเชŸเซเชฐเซ‡เชŸเซเชธ เช…เชจเซ‡ เช•เชˆ เชคเช•เชจเซ€เช•เซ€ เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพเช“ เชฎเชพเชŸเซ‡ เช—เซ‹เช เชตเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเซ€ เช›เซ‡.



เชธเซ‹เชฐเซเชธ: 3dnews.ru

เชเช• เชŸเชฟเชชเซเชชเชฃเซ€ เช‰เชฎเซ‡เชฐเซ‹