เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชฎเชพเช‚ IEDM 2019 เช•เซ‹เชจเซเชซเชฐเชจเซเชธเชฎเชพเช‚, TSMC 5nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เชตเชฟเชถเซ‡ เชตเชฟเช—เชคเชตเชพเชฐ เชตเชพเชค เช•เชฐเชถเซ‡

เชœเซ‡เชฎ เช†เชชเชฃเซ‡ เชœเชพเชฃเซ€เช เช›เซ€เช, เช† เชตเชฐเซเชทเชจเชพ เชฎเชพเชฐเซเชšเชฎเชพเช‚, TSMC เช 5nm เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเซ‹เชจเซเช‚ เชชเซเชฐเชพเชฏเซ‹เช—เชฟเช• เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เชถเชฐเซ‚ เช•เชฐเซเชฏเซเช‚. เช† เชคเชพเช‡เชตเชพเชจเชจเชพ เชจเชตเชพ เชซเซ‡เชฌ 18 เชชเซเชฒเชพเชจเซเชŸเชฎเชพเช‚ เชฅเชฏเซเช‚ เช›เซ‡, เช–เชพเชธ เชฌเชพเช‚เชงเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเซ‡ เช›เซ‡ 5nm เช‰เช•เซ‡เชฒเซ‹เชจเชพ เชชเซเชฐเช•เชพเชถเชจ เชฎเชพเชŸเซ‡. 5nm N5 เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเซ€เชจเซ‡ เชฎเซ‹เชŸเชพ เชชเชพเชฏเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ 2020 เชจเชพ เชฌเซ€เชœเชพ เช•เซเชตเชพเชฐเซเชŸเชฐเชฎเชพเช‚ เช…เชชเซ‡เช•เซเชทเชฟเชค เช›เซ‡. เชคเซ‡ เชœ เชตเชฐเซเชทเชจเชพ เช…เช‚เชค เชธเซเชงเซ€เชฎเชพเช‚, เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเช• 5nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เช…เชฅเชตเชพ N5P (เชชเซเชฐเชฆเชฐเซเชถเชจ) เชชเชฐ เช†เชงเชพเชฐเชฟเชค เชšเชฟเชชเซเชธเชจเซเช‚ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เชถเชฐเซ‚ เช•เชฐเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเชถเซ‡. เชชเซเชฐเซ‹เชŸเซ‹เชŸเชพเช‡เชช เชšเชฟเชชเซเชธเชจเซ€ เช‰เชชเชฒเชฌเซเชงเชคเชพ TSMC เชจเซ‡ เชจเชตเซ€ เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช•เชจเชพ เช†เชงเชพเชฐเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชฟเชค เชญเชพเชตเชฟ เชธเซ‡เชฎเชฟเช•เชจเซเชกเช•เซเชŸเชฐเซเชธเชจเซ€ เช•เซเชทเชฎเชคเชพเช“เชจเซเช‚ เชฎเซ‚เชฒเซเชฏเชพเช‚เช•เชจ เช•เชฐเชตเชพเชจเซ€ เชฎเช‚เชœเซ‚เชฐเซ€ เช†เชชเซ‡ เช›เซ‡, เชœเซ‡เชจเชพ เชตเชฟเชถเซ‡ เช•เช‚เชชเชจเซ€ เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชฎเชพเช‚ เชตเชฟเช—เชคเชตเชพเชฐ เชตเชพเชค เช•เชฐเชถเซ‡. เชชเชฐเช‚เชคเซ เชคเชฎเซ‡ เชชเชนเซ‡เชฒเซ‡เชฅเซ€ เชœ เช•เช‚เชˆเช• เชถเซ‹เชงเซ€ เชถเช•เซ‹ เช›เซ‹ เช†เชœเซ‡ IEDM 2019 เชชเชฐ เชชเซเชฐเซ‡เชเชจเซเชŸเซ‡เชถเชจ เชฎเชพเชŸเซ‡ TSMC เชฆเซเชตเชพเชฐเชพ เชธเชฌเชฎเชฟเชŸ เช•เชฐเชพเชฏเซ‡เชฒ เช…เชฎเซ‚เชฐเซเชคเชฎเชพเช‚เชฅเซ€.

เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชฎเชพเช‚ IEDM 2019 เช•เซ‹เชจเซเชซเชฐเชจเซเชธเชฎเชพเช‚, TSMC 5nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เชตเชฟเชถเซ‡ เชตเชฟเช—เชคเชตเชพเชฐ เชตเชพเชค เช•เชฐเชถเซ‡

เชตเชฟเช—เชคเซ‹ เชธเซเชชเชทเซเชŸ เช•เชฐเชคเชพเช‚ เชชเชนเซ‡เชฒเชพเช‚, เชšเชพเชฒเซ‹ เชฏเชพเชฆ เช•เชฐเซ€เช เช•เซ‡ TSMC เชจเชพ เช…เช—เชพเช‰เชจเชพ เชจเชฟเชตเซ‡เชฆเชจเซ‹เชฎเชพเช‚เชฅเซ€ เช†เชชเชฃเซ‡ เชถเซเช‚ เชœเชพเชฃเซ€เช เช›เซ€เช. 7nm เชจเซ€ เชธเชฐเช–เชพเชฎเชฃเซ€เชฎเชพเช‚, เชเชตเซ‹ เชฆเชพเชตเซ‹ เช•เชฐเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเซ‡ เช›เซ‡ เช•เซ‡ 5nm เชšเชฟเชชเซเชธ เชจเซ‡เชŸ เชชเชฐเซเชซเซ‹เชฐเซเชฎเชจเซเชธเชฎเชพเช‚ 15% เชตเชงเชพเชฐเซ‹ เช…เชฅเชตเชพ เชตเชชเชฐเชพเชถเชฎเชพเช‚ 30% เช˜เชŸเชพเชกเซ‹ เชœเซ‹ เชชเชฐเซเชซเซ‹เชฐเซเชฎเชจเซเชธ เชธเชฎเชพเชจ เชฐเชนเซ‡เชถเซ‡. N5P เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชตเชงเซ 7% เชชเซเชฐเชฆเชฐเซเชถเชจ เช…เชฅเชตเชพ เชตเชชเชฐเชพเชถเชฎเชพเช‚ 15% เชฌเชšเชค เช‰เชฎเซ‡เชฐเชถเซ‡. เชคเชฐเซเช• เชคเชคเซเชตเซ‹เชจเซ€ เช˜เชจเชคเชพ 1,8 เช—เชฃเซ€ เชตเชงเชถเซ‡. SRAM เชธเซ‡เชฒ เชธเซเช•เซ‡เชฒ 0,75 เชจเชพ เชชเชฐเชฟเชฌเชณเชฅเซ€ เชฌเชฆเชฒเชพเชถเซ‡.

เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชฎเชพเช‚ IEDM 2019 เช•เซ‹เชจเซเชซเชฐเชจเซเชธเชฎเชพเช‚, TSMC 5nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เชตเชฟเชถเซ‡ เชตเชฟเช—เชคเชตเชพเชฐ เชตเชพเชค เช•เชฐเชถเซ‡

5nm เชšเชฟเชชเซเชธเชจเชพ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชฎเชพเช‚, EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเซเชธเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เชชเชฐเชฟเชชเช•เซเชต เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชจเชพ เชธเซเชคเชฐ เชธเซเชงเซ€ เชชเชนเซ‹เช‚เชšเชถเซ‡. เชŸเซเชฐเชพเช‚เชเชฟเชธเซเชŸเชฐ เชšเซ‡เชจเชฒ เชฎเชพเชณเช–เซเช‚ เชฌเชฆเชฒเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเชถเซ‡, เชธเช‚เชญเชตเชคเชƒ เชธเชฟเชฒเชฟเช•เซ‹เชจ เชธเชพเชฅเซ‡ เช…เชฅเชตเชพ เชคเซ‡เชจเชพ เชฌเชฆเชฒเซ‡ เชœเชฐเซเชฎเซ‡เชจเชฟเชฏเชฎเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเซ€เชจเซ‡. เช† เชšเซ‡เชจเชฒเชฎเชพเช‚ เช‡เชฒเซ‡เช•เซเชŸเซเชฐเซ‹เชจเชจเซ€ เชตเชงเชคเซ€ เช—เชคเชฟเชถเซ€เชฒเชคเชพ เช…เชจเซ‡ เชชเซเชฐเชตเชพเชนเซ‹เชฎเชพเช‚ เชตเชงเชพเชฐเซ‹ เชธเซเชจเชฟเชถเซเชšเชฟเชค เช•เชฐเชถเซ‡. เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เช˜เชฃเชพ เชจเชฟเชฏเช‚เชคเซเชฐเชฃ เชตเซ‹เชฒเซเชŸเซ‡เชœ เชธเซเชคเชฐเซ‹ เชชเซเชฐเชฆเชพเชจ เช•เชฐเซ‡ เช›เซ‡, เชœเซ‡เชฎเชพเช‚เชฅเซ€ เชธเซŒเชฅเซ€ เชตเชงเซ 25nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช•เชจเซ€ เชธเชฐเช–เชพเชฎเชฃเซ€เชฎเชพเช‚ 7% เช•เชพเชฐเซเชฏเช•เซเชทเชฎเชคเชพเชฎเชพเช‚ เชตเชงเชพเชฐเซ‹ เช•เชฐเชถเซ‡. I/O เช‡เชจเซเชŸเชฐเชซเซ‡เชธ เชฎเชพเชŸเซ‡ เชŸเซเชฐเชพเชจเซเชเชฟเชธเซเชŸเชฐ เชชเชพเชตเชฐ เชธเชชเซเชฒเชพเชฏ 1,5 V เชฅเซ€ 1,2 V เชธเซเชงเซ€เชจเซ‹ เชนเชถเซ‡.

เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชฎเชพเช‚ IEDM 2019 เช•เซ‹เชจเซเชซเชฐเชจเซเชธเชฎเชพเช‚, TSMC 5nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เชตเชฟเชถเซ‡ เชตเชฟเช—เชคเชตเชพเชฐ เชตเชพเชค เช•เชฐเชถเซ‡

เชฎเซ‡เชŸเชฒเชพเช‡เชเซ‡เชถเชจ เชฎเชพเชŸเซ‡ เช…เชจเซ‡ เชธเช‚เชชเชฐเซเช•เซ‹ เชฎเชพเชŸเซ‡ เช›เชฟเชฆเซเชฐเซ‹ เชฆเซเชตเชพเชฐเชพ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชฎเชพเช‚, เชคเซ‡เชจเชพเชฅเซ€ เชชเชฃ เช“เช›เซ€ เชชเซเชฐเชคเชฟเช•เชพเชฐ เชงเชฐเชพเชตเชคเซ€ เชธเชพเชฎเช—เซเชฐเซ€เชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเชถเซ‡. เช…เชฒเซเชŸเซเชฐเชพ-เชนเชพเช‡-เชกเซ‡เชจเซเชธเชฟเชŸเซ€ เช•เซ‡เชชเซ‡เชธเชฟเชŸเชฐ เชฎเซ‡เชŸเชฒ-เชกเชพเช‡เชฒเซ‡เช•เซเชŸเซเชฐเชฟเช•-เชฎเซ‡เชŸเชฒ เชกเชฟเชเชพเช‡เชจเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเซ€เชจเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชฟเชค เช•เชฐเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเชถเซ‡, เชœเซ‡ เช•เชพเชฎเช—เซ€เชฐเซ€เชฎเชพเช‚ 4% เชตเชงเชพเชฐเซ‹ เช•เชฐเชถเซ‡. เชธเชพเชฎเชพเชจเซเชฏ เชฐเซ€เชคเซ‡, TSMC เชจเชตเชพ เชฒเซ‹-K เช‡เชจเซเชธเซเชฏเซเชฒเซ‡เชŸเชฐเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเชตเชพ เชชเชฐ เชธเซเชตเชฟเชš เช•เชฐเชถเซ‡. เชธเชฟเชฒเชฟเช•เซ‹เชจ เชตเซ‡เชซเชฐ เชชเซเชฐเซ‹เชธเซ‡เชธเชฟเช‚เช— เชธเชฐเซเช•เชฟเชŸเชฎเชพเช‚ เชฎเซ‡เชŸเชฒ เชฐเชฟเชเช•เซเชŸเชฟเชต เช†เชฏเชจ เชเชšเชฟเช‚เช— (RIE) เชจเชตเซ€ "เชกเซเชฐเชพเชฏ" เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชฆเซ‡เช–เชพเชถเซ‡, เชœเซ‡ เชคเชพเช‚เชฌเชพเชจเชพ เช‰เชชเชฏเซ‹เช—เชฅเซ€ เชชเชฐเช‚เชชเชฐเชพเช—เชค เชฆเชฎเชพเชธเซเช•เชธ เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพเชจเซ‡ เช†เช‚เชถเชฟเช• เชฐเซ€เชคเซ‡ เชฌเชฆเชฒเชถเซ‡ (30 nm เช•เชฐเชคเชพ เชจเชพเชจเชพ เชฎเซ‡เชŸเชฒ เชธเช‚เชชเชฐเซเช•เซ‹ เชฎเชพเชŸเซ‡). เชคเซ‡เชฎเชœ เชชเซเชฐเชฅเชฎ เชตเช–เชค, เช•เซ‹เชชเชฐ เช•เช‚เชกเช•เซเชŸเชฐ เช…เชจเซ‡ เชธเซ‡เชฎเชฟเช•เชจเซเชกเช•เซเชŸเชฐ (เชˆเชฒเซ‡เช•เซเชŸเซเชฐเซ‹เชฎเชพเชˆเช—เซเชฐเซ‡เชถเชจ เช…เชŸเช•เชพเชตเชตเชพ) เชตเชšเซเชšเซ‡ เช…เชตเชฐเซ‹เชง เชŠเชญเซ‹ เช•เชฐเชตเชพ เชฎเชพเชŸเซ‡ เช—เซเชฐเชพเชซเซ€เชจเชจเชพ เชธเซเชคเชฐเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเชตเชพเชฎเชพเช‚ เช†เชตเชถเซ‡.

เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชฎเชพเช‚ IEDM 2019 เช•เซ‹เชจเซเชซเชฐเชจเซเชธเชฎเชพเช‚, TSMC 5nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เชตเชฟเชถเซ‡ เชตเชฟเช—เชคเชตเชพเชฐ เชตเชพเชค เช•เชฐเชถเซ‡

IEDM เช–เชพเชคเซ‡เชจเชพ เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชจเชพ เช…เชนเซ‡เชตเชพเชฒ เชฎเชพเชŸเซ‡เชจเชพ เชฆเชธเซเชคเชพเชตเซ‡เชœเซ‹ เชชเชฐเชฅเซ€, เช…เชฎเซ‡ เชธเชฎเชœเซ€ เชถเช•เซ€เช เช›เซ€เช เช•เซ‡ 5nm เชšเชฟเชชเซเชธเชจเชพ เชธเช‚เช–เซเชฏเชพเชฌเช‚เชง เชชเชฐเชฟเชฎเชพเชฃเซ‹ เชตเชงเซ เชธเชพเชฐเชพ เชนเชถเซ‡. เช†เชฎ, เชคเชฐเซเช• เชคเชคเซเชตเซ‹เชจเซ€ เช˜เชจเชคเชพ เชตเชงเชพเชฐเซ‡ เชนเชถเซ‡ เช…เชจเซ‡ 1,84 เช—เชฃเชพ เชธเซเชงเซ€ เชชเชนเซ‹เช‚เชšเชถเซ‡. SRAM เชธเซ‡เชฒ เชชเชฃ เชจเชพเชจเซ‹ เชนเชถเซ‡, 0,021 ยตm2 เชตเชฟเชธเซเชคเชพเชฐ เชธเชพเชฅเซ‡. เชชเซเชฐเชพเชฏเซ‹เช—เชฟเช• เชธเชฟเชฒเชฟเช•เซ‹เชจเชจเชพ เชชเซเชฐเชฆเชฐเซเชถเชจ เชธเชพเชฅเซ‡ เชฌเชงเซเช‚ เชœ เช•เซเชฐเชฎเชฎเชพเช‚ เช›เซ‡ - 15% เชตเชงเชพเชฐเซ‹ เชชเซเชฐเชพเชชเซเชค เชฅเชฏเซ‹ เชนเชคเซ‹, เชคเซ‡เชฎเชœ เช‰เชšเซเชš เชซเซเชฐเซ€เช•เซเชตเชจเซเชธเซ€เชเชจเชพ เช เช‚เชกเซเช‚ เชฅเชตเชพเชจเชพ เช•เชฟเชธเซเชธเชพเชฎเชพเช‚ เชตเชชเชฐเชพเชถเชฎเชพเช‚ เชธเช‚เชญเชตเชฟเชค 30% เช˜เชŸเชพเชกเซ‹ เชฅเชฏเซ‹ เชนเชคเซ‹.

เชกเชฟเชธเซ‡เชฎเซเชฌเชฐเชฎเชพเช‚ IEDM 2019 เช•เซ‹เชจเซเชซเชฐเชจเซเชธเชฎเชพเช‚, TSMC 5nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เชตเชฟเชถเซ‡ เชตเชฟเช—เชคเชตเชพเชฐ เชตเชพเชค เช•เชฐเชถเซ‡

เชจเชตเซ€ เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เชคเช•เชจเซ€เช• เชธเชพเชค เชจเชฟเชฏเช‚เชคเซเชฐเชฃ เชตเซ‹เชฒเซเชŸเซ‡เชœ เชฎเซ‚เชฒเซเชฏเซ‹เชฎเชพเช‚เชฅเซ€ เชชเชธเช‚เชฆ เช•เชฐเชตเชพเชจเซเช‚ เชถเช•เซเชฏ เชฌเชจเชพเชตเชถเซ‡, เชœเซ‡ เชตเชฟเช•เชพเชธ เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพ เช…เชจเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเซ‹เชฎเชพเช‚ เชตเชฟเชตเชฟเชงเชคเชพ เช‰เชฎเซ‡เชฐเชถเซ‡ เช…เชจเซ‡ EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เชšเซ‹เช•เซเช•เชธเชชเชฃเซ‡ เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจเชจเซ‡ เชธเชฐเชณ เชฌเชจเชพเชตเชถเซ‡ เช…เชจเซ‡ เชคเซ‡เชจเซ‡ เชธเชธเซเชคเซเช‚ เชฌเชจเชพเชตเชถเซ‡. TSMC เชฎเซเชœเชฌ, EUV เชธเซเช•เซ‡เชจเชฐเซเชธ เชชเชฐ เชธเซเชตเชฟเชš เช•เชฐเชตเชพเชฅเซ€ 0,73nm เชชเซเชฐเช•เซเชฐเชฟเชฏเชพเชจเซ€ เชธเชฐเช–เชพเชฎเชฃเซ€เชฎเชพเช‚ เชฐเซ‡เช–เซ€เชฏ เชฐเซ€เชเซ‹เชฒเซเชฏเซเชถเชจเชฎเชพเช‚ 7x เชธเซเชงเชพเชฐเซ‹ เชฅเชพเชฏ เช›เซ‡. เช‰เชฆเชพเชนเชฐเชฃ เชคเชฐเซ€เช•เซ‡, เชชเซเชฐเชฅเชฎ เชธเซเชคเชฐเซ‹เชจเชพ เชธเซŒเชฅเซ€ เชœเชŸเชฟเชฒ เชฎเซ‡เชŸเชพเชฒเชพเช‡เชเซ‡เชถเชจ เชธเซเชคเชฐเซ‹ เชฌเชจเชพเชตเชตเชพ เชฎเชพเชŸเซ‡, เชชเชพเช‚เชš เชชเชฐเช‚เชชเชฐเชพเช—เชค เชฎเชพเชธเซเช•เชจเซ‡ เชฌเชฆเชฒเซ‡, เชซเช•เซเชค เชเช• EUV เชฎเชพเชธเซเช•เชจเซ€ เชœเชฐเซ‚เชฐ เชชเชกเชถเซ‡ เช…เชจเซ‡ เชคเซ‡ เชฎเซเชœเชฌ, เชชเชพเช‚เชšเชจเซ‡ เชฌเชฆเชฒเซ‡ เชฎเชพเชคเซเชฐ เชเช• เช‰เชคเซเชชเชพเชฆเชจ เชšเช•เซเชฐ. เชฎเชพเชฐเซเช— เชฆเซเชตเชพเชฐเชพ, EUV เชชเซเชฐเซ‹เชœเซ‡เช•เซเชถเชจเชจเซ‹ เช‰เชชเชฏเซ‹เช— เช•เชฐเชคเซ€ เชตเช–เชคเซ‡ เชšเชฟเชช เชชเชฐเชจเชพ เชคเชคเซเชตเซ‹ เช•เซ‡เชŸเชฒเชพ เชธเซเช˜เชก เชฌเชจเซ‡ เช›เซ‡ เชคเซ‡เชจเชพ เชชเชฐ เชงเซเชฏเชพเชจ เช†เชชเซ‹. เชธเซเช‚เชฆเชฐเชคเชพ, เช…เชจเซ‡ เชคเซ‡ เชฌเชงเซ เชœ เช›เซ‡.



เชธเซ‹เชฐเซเชธ: 3dnews.ru

เชเช• เชŸเชฟเชชเซเชชเชฃเซ€ เช‰เชฎเซ‡เชฐเซ‹