рд╕реИрдорд╕рдВрдЧ рдИрдпреВрд╡реА рд╕реНрдХреИрдирд░ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдХреЗ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рд▓рд┐рдереЛрдЧреНрд░рд╛рдлреА рдореЗрдВ рдЕрдкрдиреЗ рдЕрдЧреНрд░рдгреА рд▓рд╛рдн рдХрд╛ рдкреВрд░рд╛ рдлрд╛рдпрджрд╛ рдЙрдард╛ рд░рд╣рд╛ рд╣реИред рдЬреИрд╕рд╛ рдХрд┐ рдЯреАрдПрд╕рдПрдорд╕реА рдЬреВрди рдореЗрдВ 13,5 рдПрдирдПрдо рд╕реНрдХреИрдирд░ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рд╢реБрд░реВ рдХрд░рдиреЗ рдХреА рддреИрдпрд╛рд░реА рдХрд░ рд░рд╣рд╛ рд╣реИ, рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ 7 рдПрдирдПрдо рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХреА рджреВрд╕рд░реА рдкреАрдврд╝реА рдореЗрдВ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдХрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЕрдиреБрдХреВрд▓рд┐рдд рдХрд░ рд░рд╣рд╛ рд╣реИ, рд╕реИрдорд╕рдВрдЧ рдЧрд╣рд░рд╛рдИ рд╕реЗ рдЧреЛрддрд╛ рд▓рдЧрд╛ рд░рд╣рд╛ рд╣реИ рдФрд░
рдХрдВрдкрдиреА рдХреЛ рдИрдпреВрд╡реА рдХреЗ рд╕рд╛рде 7рдПрдирдПрдо рдХреА рдкреЗрд╢рдХрд╢ рд╕реЗ рд▓реЗрдХрд░ рдИрдпреВрд╡реА рдХреЗ рд╕рд╛рде 5рдПрдирдПрдо рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рддреИрдпрд╛рд░ рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рддреЗрдЬреА рд╕реЗ рдЖрдЧреЗ рдмрдврд╝рдиреЗ рдореЗрдВ рдорджрдж рдХрд░рдиреЗ рд╡рд╛рд▓рд╛ рддрдереНрдп рдпрд╣ рдерд╛ рдХрд┐ рд╕реИрдорд╕рдВрдЧ рдиреЗ рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рддрддреНрд╡реЛрдВ (рдЖрдИрдкреА), рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдФрд░ рдирд┐рд░реАрдХреНрд╖рдг рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдЕрдВрддрд░рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рдиреАрдпрддрд╛ рдмрдирд╛рдП рд░рдЦреАред рдЕрдиреНрдп рдмрд╛рддреЛрдВ рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдЗрд╕рдХрд╛ рдорддрд▓рдм рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рдХрдВрдкрдиреА рдХреЗ рдЧреНрд░рд╛рд╣рдХ рдбрд┐рдЬрд╝рд╛рдЗрди рдЯреВрд▓, рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рдФрд░ рддреИрдпрд╛рд░ рдЖрдИрдкреА рдмреНрд▓реЙрдХ рдЦрд░реАрджрдиреЗ рдкрд░ рдкреИрд╕реЗ рдмрдЪрд╛рдПрдВрдЧреЗред рдкрд┐рдЫрд▓реЗ рд╕рд╛рд▓ рдХреА рдЪреМрдереА рддрд┐рдорд╛рд╣реА рдореЗрдВ рдИрдпреВрд╡реА рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╕реИрдорд╕рдВрдЧ рдХреЗ 7-рдПрдирдПрдо рдорд╛рдирдХреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреЗ рд╣рд┐рд╕реНрд╕реЗ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди, рдХрд╛рд░реНрдпрдкреНрд░рдгрд╛рд▓реА (рдбреАрдПрдо, рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдкрджреНрдзрддрд┐) рдФрд░ рдИрдбреАрдП рд╕реНрд╡рдЪрд╛рд▓рд┐рдд рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдкреНрд▓реЗрдЯрдлреЙрд░реНрдо рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреАрдбреАрдХреЗ рдЙрдкрд▓рдмреНрдз рд╣реЛ рдЧрдПред рдпреЗ рд╕рднреА рдЙрдкрдХрд░рдг рдлрд┐рдирдлреЗрдЯ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЗ рд╕рд╛рде 5 рдПрдирдПрдо рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХреЗ рд▓рд┐рдП рднреА рдбрд┐рдЬрд┐рдЯрд▓ рдкрд░рд┐рдпреЛрдЬрдирд╛рдУрдВ рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреЛ рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдХрд░реЗрдВрдЧреЗред
EUV рд╕реНрдХреИрдирд░ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдХреЗ 7nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ, рдЬреЛ рдХрдВрдкрдиреА
рд╕реИрдорд╕рдВрдЧ рд╣реНрд╡рд╛рд╕реЗрдУрдВрдЧ рдореЗрдВ S3 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯ рдореЗрдВ EUV рд╕реНрдХреИрдирд░ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рдж рддреИрдпрд╛рд░ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕ рд╕рд╛рд▓ рдХреА рджреВрд╕рд░реА рдЫрдорд╛рд╣реА рдореЗрдВ, рдХрдВрдкрдиреА рдлреИрдм рдПрд╕3 рдХреЗ рдмрдЧрд▓ рдореЗрдВ рдПрдХ рдирдИ рд╕реБрд╡рд┐рдзрд╛ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреВрд░рд╛ рдХрд░реЗрдЧреА, рдЬреЛ рдЕрдЧрд▓реЗ рд╕рд╛рд▓ рдИрдпреВрд╡реА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдХреЗ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдХрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рддреИрдпрд╛рд░ рд╣реЛрдЧреАред
рд╕реНрд░реЛрдд: 3dnews.ru