Rov qab rau lub Tsib Hlis, ASML, tus thawj coj hauv ntu lithography scanner ntu, tau hais txog qhov kev cia siab rau qhov tshwm sim los ntawm qhov pib ntawm kaum xyoo tom ntej ntawm cov tshuab uas tso cai rau kev ua haujlwm nrog tus lej ultra-siab aperture tus nqi ntawm 0,75 (Hyper-NA EUV). Cov neeg sawv cev ntawm imec hais tias lithography yuav txuas ntxiv siv lasers thiab silicon hauv kaum xyoo tom ntej. Image Source: ASML
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