Tidak mungkin membayangkan pengembangan mikroelektronika lebih lanjut tanpa peningkatan teknologi produksi semikonduktor. Untuk memperluas batasan dan mempelajari cara menghasilkan elemen yang lebih kecil pada kristal, diperlukan teknologi baru dan peralatan baru. Salah satu teknologi tersebut bisa jadi merupakan terobosan pengembangan ilmuwan Amerika.
Sebuah tim peneliti dari Laboratorium Nasional Argonne Departemen Energi AS teknik baru untuk membuat dan mengetsa film tipis pada permukaan kristal. Hal ini berpotensi mengarah pada produksi chip dalam skala yang lebih kecil dibandingkan saat ini dan dalam waktu dekat. Studi ini dipublikasikan di jurnal Chemistry of Materials.
Teknik yang diusulkan menyerupai proses tradisional dan mengetsa, hanya saja, alih-alih menggunakan film anorganik, teknologi baru ini menciptakan dan bekerja dengan film organik. Sebenarnya, secara analogi, teknologi baru ini disebut deposisi lapisan molekuler (MLD, deposisi lapisan molekuler) dan etsa lapisan molekuler (MLE, etsa lapisan molekuler).
Seperti halnya etsa lapisan atom, metode MLE menggunakan perlakuan gas dalam ruang permukaan kristal dengan film berbahan dasar organik. Kristal tersebut diolah secara siklis dengan dua gas berbeda secara bergantian hingga film menjadi tipis hingga ketebalan tertentu.
Proses kimia tunduk pada hukum pengaturan mandiri. Artinya lapisan demi lapisan dihilangkan secara merata dan terkendali. Jika Anda menggunakan photomask, Anda dapat mereproduksi topologi chip masa depan pada chip dan mengetsa desain dengan akurasi tertinggi.
Dalam percobaan tersebut, para ilmuwan menggunakan gas yang mengandung garam litium dan gas berbahan dasar trimetilaluminium untuk etsa molekuler. Selama proses etsa, senyawa litium bereaksi dengan permukaan film alukon sedemikian rupa sehingga litium mengendap di permukaan dan menghancurkan ikatan kimia dalam film. Kemudian trimetilaluminium disuplai, yang menghilangkan lapisan film dengan litium, dan seterusnya satu per satu hingga film dikurangi hingga ketebalan yang diinginkan. Pengendalian proses yang baik, menurut para ilmuwan, dapat memungkinkan teknologi yang diusulkan untuk mendorong pengembangan produksi semikonduktor.
Sumber: 3dnews.ru