IEEE Spectrum แแแแกแแแขแแก แแแฎแแแแแ, แแแแแ แแแแก แแแแแแแ แแแ แขแแก แแแกแแฌแงแแกแแแแ, แแแแแแฃแ แ แชแแแขแ แแก Imec-แแก แแแแแแ แจแแแฅแแแ แแแแแ แแขแแ แแ แแแแ แแแฃแ แแแแแแแแ KMLabs-แแแ แแ แแแ, แ แแแ แจแแแกแฌแแแแ แแ แแแแแแแแ แแแฎแแแแ แแแแขแแ แฃแแ แคแแขแแแแแแแ แแคแแแกแแแ EUV แแแแแกแฎแแแแแแก แแแแแแแแก แฅแแแจ (แฃแแขแ แ แแซแแแ แฃแแขแ แแแแกแคแแ แ แแแแแแแแแ). แ แแแแ แช แฉแแแก, แ แ แแ แแก แจแแกแแกแฌแแแแ? แแ แ, แแ แแก แจแแกแแกแฌแแแแ แกแแแแแ, แแแแ แแ แ แแขแแ แแแ แกแแแก แแแแกแแแแแก แแฎแแแ แแแแแ แแขแแ แแ? Samsung-แแ 7 แแ แฉแแแแแแก แฌแแ แแแแแ แแแฎแแแแ แ แฌแแแก แฌแแ แแแแฌแงแ EUV แแแแแแแแแแก แกแแแแแ แแแแก แแแฌแแแแแ แแแ แแแแแงแแแแแแ. TSMC แแแแ แจแแฃแแ แแแแแ. แฌแแแก แแแแแแแ แแ แแแ แแแแฌแงแแแก แกแแ แแกแแ แฌแแ แแแแแแก 5 แแ แกแขแแแแแ แขแแแแ แแ แ.แจ. แแ แแแแแช แแ แแก แแ แแแแแแแแ แแ แแกแแแ แกแแแแแ แแกแแ แกแแ แแแแฃแแแ แแแแกแแแแก, แ แแ แแแแฎแแแแแ แแแกแฃแฎแแแ แแซแแแแ แแแแแ แแขแแ แแแแจแ แแ แแ แ แฌแแ แแแแแแจแ.
EUV แแแแแแ แแคแแแจแ แแฆแแก แแแแแแ แแ แแแแแแแ แ แฉแแแ แคแแขแแ แแแแกแขแแก แฎแแ แแกแฎแ. EUV แแแแแกแฎแแแแแแก แฌแงแแ แแ แแแแแแ แแ แแ แ แแแแแ แ, แ แแแแ แช แแก แแ แแก แซแแแแ 193 แแ แกแแแแแ แแแแก แจแแแแฎแแแแแจแ. แแแแแ แ แแแ แแฅแแแแก แขแงแแแแก แฌแแแแก แแแ แแกแแแ แแแ แแแแจแ แแ แจแแแแแแ แแแแแกแฎแแแแแ แแกแฎแแแแแก แคแแขแแแแแก, แ แแแแแแ แแแแ แแแ 14-แฏแแ แแฆแแแแขแแแ แฃแแขแ แแแแกแคแแ แ แแแแแกแฎแแแแแแก แแฅแแแ แกแแแแแ แแแจแ แคแแขแแแแแแก แแแแ แแแแก. แจแแแแแแ, แคแแขแแ แแแแกแขแ แแแแแแแฃแ แแแฃแแแ แแ แ แแฎแแแแ แแ แแแแแแแแจแ, แกแแแแช แแก แแแแแแแแแก แคแแขแแแแแแ, แแ แแแแ แฎแแแแ แจแแแแฎแแแแแแ แจแแชแแแแแแ, แแแ แจแแ แแก แ.แฌ. แฌแแแแแ แฎแแแฃแ แแก แแคแแฅแขแแก แแแแ. แคแแขแแแแแแก แแแแ แแแ แซแแแแแ แแแฆแแแแ. EUV แกแแแแแ แแแแก แแฅแกแแแ แแแแแขแแแแ แแฉแแแแ, แ แแ แคแแขแแ แแแแกแขแแแก, แ แแแแแแกแแช แฏแแ แแแแแ แจแแฃแซแแแแ 7 แแ แกแขแแแแแ แขแแแแก แแฃแจแแแแ, แแฉแแแแแแแ แฃแแ แงแแคแแก แแ แแขแแแฃแแแ แแแฆแแ แแแแแก 5 แแ แกแฅแแแแแจแ แแแแแแแแแแกแแก. แแ แแแแแแ แแแแแแแ แกแแ แแแแฃแแแ, แ แแ แแแแ แแฅแกแแแ แขแก แแ แกแฏแแ แ 5 แแ แแ แแชแแกแแก แขแแฅแแแแแแแแก แแแ แแฃแแ แฌแแ แแแขแแแฃแแ แแแจแแแแแก, แ แแ แแฆแแ แแคแแ แ แแแฅแแแ 3 แแ แแ แฅแแแแแ แแแแแกแแแแแ.
แแฎแแแ แแแแแแก แคแแขแแ แแแแกแขแแก แจแแฅแแแแก แแ แแแแแแ Imec-แแกแ แแ KMLabs-แแก แแ แแแแแแ แแแแแ แแขแแ แแแจแ แแแแแแ แแแแ. แแ แแกแแแ แแแแก แแแชแแแแ แฃแแ แแแแแแแแ แแแแแแแ แแแแ แแ แแ แ แ แแแแแแขแแแแก แจแแ แฉแแแแ, แ แแแแ แช แแก แแแแแแแ แแแแ แแชแแแแแ แฌแแแก แแแแแแแแแแแจแ. แแแแกแแแแแก แแแชแแแแ แ แแแ แขแแแแ แแแ แจแแฅแแแแแ แแแกแขแ แฃแแแแขแก แคแแขแแ แแแแกแขแจแ แคแแแแแฃแ แ แแ แฅแแแแฃแ แ แแ แแชแแกแแแแก แแแขแแแฃแ แ แจแแกแฌแแแแแกแแแแก. แฉแแแฃแแแแ แแ, แกแแแฅแ แแขแ แแแแแ แแแแแแงแแแแแ แแแแแแฃแแฃแ แแแแแแ แแ แแชแแกแแแแก แจแแกแแกแฌแแแแแ, แแแแ แแ Imec แแ KMLabs แแแแ แแแแ แจแแฅแแแแ แกแแแ แแแฅแชแแ แแ แกแแแแแ EUV แแฆแญแฃแ แแแแแแ แแแคแ แแฌแแแแแ แแแแแ แแแแก แกแแคแฃแซแแแแแ. KMLabs แแฎแแแแ แแแแแ แฃแแ แกแแกแขแแแแแแก แกแแแชแแแแแกแขแแ.
KMLabs แแแแแ แฃแแ แแแฌแงแแแแแแแแก แกแแคแฃแซแแแแแ แจแแแฅแแแแแ แแแแขแคแแ แแ แแแฆแแแ แฐแแ แแแแแแก แแแแแ แแ แแแแกแแแแก. แฉแแแฃแแแแ แแ, แแแแกแแแแแก แแแฆแแแ แแแขแแแกแแแแแแก แแแแแ แฃแแ แแฃแแกแ แแแแแ แแฃแแแ แแแ แแกแแแ แแแ แแแแจแ, แ แแแแแจแแช แฌแแ แแแแฅแแแแแ แแแแแ แแฃแแ แแฃแแกแแก แซแแแแแ แแแฆแแแ แกแแฎแจแแ แแก แฐแแ แแแแแแแ. แแกแแแ แแแ แแแฅแแแแ แฎแแแแ แแแแ แแแแก แแแแจแแแแแแแแแ แแแแแแแ แแ, แแกแ แ แแ EUV แแแแแกแฎแแแแแแก แฌแแ แแแฅแแแแก แแกแแแแกแ แแ แแแชแแแ แแ แจแแแซแแแแ แแแแแงแแแแแฃแ แแฅแแแก แฃแจแฃแแแแ แแแฎแแแแ แแแแขแแ แฃแแ แแแแแแ แแคแแแกแแแแก. แแแแ แแ แแก แกแแแแแ แแกแแ แแฅแกแแแ แแแแแขแแแแกแแแแก. แ แแช แแแแแแ แแ, แจแแแแแแ แแแฆแแแฃแแ แแแแแกแฎแแแแแ แจแแแซแแแแ แแแแขแ แแแแแแแแแก แ แแแแ แช แแฃแแกแแก แฎแแแแ แซแแแแแแแ, แ แแแแแแช แแแ แงแแแแก แแแแแฌแแแแแแ (10-12) แแขแแฌแแแแแแ (10-18), แแกแแแ แขแแแฆแแก แกแแแ แซแแ 6,5 แแ-แแแ 47 แแ-แแแ. แกแแแแแ แฎแแแกแแฌแงแแกแแแแก แแก แฆแแ แแแฃแแ แแแแกแแแแแแ. แแกแแแ แฎแแแก แจแแฃแฌแงแแแแ แคแแขแแ แแแแกแขแฃแ แฃแแขแ แแกแฌแ แแคแ แแแแแแฃแแฃแ แ แชแแแแแแแแแแก แแ แแชแแกแแแแก แจแแกแฌแแแแแก, แแแแแแแชแแแก แแ แแชแแกแแแกแ แแ แแแฆแแแ แแแแ แแแแก แคแแขแแแแแแก แแแแแฅแแแแแแแก. แแแแก แแแ แแจแ แกแแแ แแฌแแแแ แคแแขแแแแแแแ แแคแแ 3 แแ แแฃแแแแช 5 แแ-แแ แแแแแแแ แกแขแแแแแ แขแแแแ แ แฉแแแ แแแแฎแแแก แแแจแแแก แฅแแแจ.
แฌแงแแ แ: 3dnews.ru