αž’αŸ’αž“αž€αž’αž—αž·αžœαžŒαŸ’αžαž“αŸαž”αŸ‚αž›αž αŸ’αžŸαŸŠαž·αž€αžαŸ’αžšαž½αžŸαžαŸ’αžšαžΆαž™αž•αŸ’αž›αžΌαžœαžŸαž˜αŸ’αžšαžΆαž”αŸ‹αž€αžΆαžšαž•αŸ’αž‚αžαŸ‹αž•αŸ’αž‚αž„αŸ‹αžαžΆαž˜αž–αž› "αž”αž“αŸ’αž‘αŸ‡αžˆαžΈαž”αžαŸ‚αž˜αž½αž™"

αž™αžΎαž„αž”αžΆαž“αž€αžαŸ‹αžŸαž˜αŸ’αž‚αžΆαž›αŸ‹αž…αŸ’αžšαžΎαž“αž‡αžΆαž„αž˜αŸ’αžαž„αžαžΆαž€αžΆαžšαž•αŸ’αž‚αžαŸ‹αž•αŸ’αž‚αž„αŸ‹αžαžΆαž˜αž–αž›αž€αŸ†αž–αž»αž„αž€αŸ’αž›αžΆαž™αž‡αžΆ "αž’αŸ’αžœαžΈαŸ—αž‘αžΆαŸ†αž„αž’αžŸαŸ‹αžšαž”αžŸαŸ‹αž™αžΎαž„" αŸ” αž‚αŸ’αžšαžΏαž„αž’αŸαž‘αž·αž…αžαŸ’αžšαžΌαž“αž·αž…αž…αž›αŸαž αž™αžΆαž“αž‡αŸ†αž“αž·αŸ‡αž’αž‚αŸ’αž‚αž·αžŸαž“αžΈ αž’αŸŠαž·αž“αž’αžΊαžŽαž·αžαž“αŸƒαžœαžαŸ’αžαž» αž€αžΆαžšαž•αŸ’αž‘αž»αž€αžαžΆαž˜αž–αž› αž“αž·αž„αž’αŸ’αžœαžΈαŸ—αž‡αžΆαž…αŸ’αžšαžΎαž“αž‘αŸ€αžαž“αžΆαŸ†αž˜αž€αž“αžΌαžœαžŠαŸ†αžŽαžΎαžšαž€αžΆαžšαž“αŸƒαž€αžΆαžšαž•αŸ’αž‚αžαŸ‹αž•αŸ’αž‚αž„αŸ‹αžαžΆαž˜αž–αž› αž“αž·αž„αž€αžΆαžšαž”αŸ†αž”αŸ’αž›αŸ‚αž„αžœαŸ‰αž»αž›αž‘αŸ…αž‡αžΆαž˜αž»αžαžαŸ†αžŽαŸ‚αž„αžŸαŸ†αžαžΆαž“αŸ‹αž”αŸ†αž•αž»αžαžŠαŸ†αž”αžΌαž„αž”αž„αŸ’αž’αžŸαŸ‹αž“αŸ…αž€αŸ’αž“αž»αž„αž’αŸαž‘αž·αž…αžαŸ’αžšαžΌαž“αž·αž…αŸ” αž”αž…αŸ’αž…αŸαž€αžœαž·αž‘αŸ’αž™αžΆαžŸαž˜αŸ’αžšαžΆαž”αŸ‹αž€αžΆαžšαž•αž›αž·αžαž”αž“αŸ’αž‘αŸ‡αžŸαŸ€αž‚αŸ’αžœαžΈ αž“αž·αž„αž’αžΆαžαž»αžŠαžΆαž…αŸ‹αž–αžΈαž‚αŸ’αž“αžΆ αžŠαŸ„αž™αž”αŸ’αžšαžΎαžŸαž˜αŸ’αž—αžΆαžšαŸˆαžŠαžΌαž…αž‡αžΆ gallium nitride (αž αŸ’αž‚αžΆαž“) αŸ” αž€αŸ’αž“αž»αž„αž–αŸαž›αž‡αžΆαž˜αž½αž™αž‚αŸ’αž“αžΆαž“αŸαŸ‡ αž‚αŸ’αž˜αžΆαž“αž“αžšαžŽαžΆαž˜αŸ’αž“αžΆαž€αŸ‹αž“αžΉαž„αž‡αŸ†αž‘αžΆαžŸαŸ‹αž“αžΉαž„αž€αžΆαžšαž–αž·αžαžŠαŸ‚αž›αžαžΆαžŠαŸ†αžŽαŸ„αŸ‡αžŸαŸ’αžšαžΆαž™αžšαž½αž˜αž”αž‰αŸ’αž…αžΌαž›αž‚αŸ’αž“αžΆαž‚αžΊαž›αŸ’αž’αž‡αžΆαž„αžŠαŸ†αžŽαŸ„αŸ‡αžŸαŸ’αžšαžΆαž™αžŠαžΆαž…αŸ‹αžŠαŸ„αž™αž‘αŸ‚αž€αž‘αžΆαŸ†αž„αž•αŸ’αž“αŸ‚αž€αž“αŸƒαž€αžΆαžšαž”αž„αŸ’αžšαž½αž˜αž“αŸƒαžŠαŸ†αžŽαŸ„αŸ‡αžŸαŸ’αžšαžΆαž™ αž“αž·αž„αž€αŸ’αž“αž»αž„αž›αž€αŸ’αžαžαžŽαŸ’αžŒαž“αŸƒαž€αžΆαžšαžŸαž“αŸ’αžŸαŸ†αž”αŸ’αžšαžΆαž€αŸ‹αž›αžΎαž€αžΆαžšαžšαž…αž“αžΆ αž“αž·αž„αž€αžΆαžšαž•αž›αž·αžαŸ” αžαŸ’αž˜αžΈαŸ—αž“αŸαŸ‡αž“αŸ…αž€αŸ’αž“αž»αž„αžŸαž“αŸ’αž“αž·αžŸαžΈαž‘ PCIM 2019 αž’αŸ’αž“αž€αžŸαŸ’αžšαžΆαžœαž‡αŸ’αžšαžΆαžœαž˜αž€αž–αžΈαž˜αž‡αŸ’αžˆαž˜αžŽαŸ’αžŒαž›αž”αŸ‚αž›αž αŸ’αžŸαŸŠαž·αž€ Imec αž™αŸ‰αžΆαž„αž…αŸ’αž”αžΆαžŸαŸ‹ αž”αžΆαž“αž”αž„αŸ’αž αžΆαž‰αžαžΆαž€αžΆαžšαž•αŸ’αž‚αžαŸ‹αž•αŸ’αž‚αž„αŸ‹αžαžΆαž˜αž–αž›αž”αž“αŸ’αž‘αŸ‡αžˆαžΈαž”αžαŸ‚αž˜αž½αž™ (αž’αžΆαŸ†αž„αžœαžΊαžαž‘αŸαžš) αžŠαŸ‚αž›αž˜αžΆαž“αž˜αžΌαž›αžŠαŸ’αž‹αžΆαž“αž›αžΎ GaN αž˜αž·αž“αž˜αŸ‚αž“αž‡αžΆαžšαžΏαž„αž”αŸ’αžšαžŒαž·αžαž”αŸ‚αž”αžœαž·αž‘αŸ’αž™αžΆαžŸαžΆαžŸαŸ’αžαŸ’αžšαž‘αžΆαž›αŸ‹αžαŸ‚αžŸαŸ„αŸ‡ αž”αŸ‰αž»αž“αŸ’αžαŸ‚αž‡αžΆαž”αž‰αŸ’αž αžΆαž“αŸƒαž’αž“αžΆαž‚αžαžŠαŸαžαŸ’αž›αžΈαžαžΆαž„αž˜αž»αžαŸ”

αž’αŸ’αž“αž€αž’αž—αž·αžœαžŒαŸ’αžαž“αŸαž”αŸ‚αž›αž αŸ’αžŸαŸŠαž·αž€αžαŸ’αžšαž½αžŸαžαŸ’αžšαžΆαž™αž•αŸ’αž›αžΌαžœαžŸαž˜αŸ’αžšαžΆαž”αŸ‹αž€αžΆαžšαž•αŸ’αž‚αžαŸ‹αž•αŸ’αž‚αž„αŸ‹αžαžΆαž˜αž–αž› "αž”αž“αŸ’αž‘αŸ‡αžˆαžΈαž”αžαŸ‚αž˜αž½αž™"

αžŠαŸ„αž™αž”αŸ’αžšαžΎαž αŸ’αž‚αžΆαž›αž›αžΈαž‰αŸ‰αžΌαž˜αž“αžΈαžαŸ’αžšαžΆαžαž›αžΎαž”αž…αŸ’αž…αŸαž€αžœαž·αž‘αŸ’αž™αžΆαžŸαŸŠαžΈαž›αžΈαž€αž»αž“αž“αŸ…αž›αžΎ SOI (αžŸαŸŠαžΈαž›αžΈαž€αž»αž“αž“αŸ…αž›αžΎαž’αŸŠαžΈαžŸαžΌαž‘αž„αŸ‹) wafers αž’αŸ’αž“αž€αž―αž€αž‘αŸαžŸ Imec αž”αžΆαž“αž”αž„αŸ’αž€αžΎαžαž§αž”αž€αžšαžŽαŸαž”αŸ†αž”αŸ’αž›αŸ‚αž„αž–αžΆαž€αŸ‹αž€αžŽαŸ’αžαžΆαž›αžŸαŸ’αž–αžΆαž“αžαŸ‚αž˜αž½αž™αž”αž“αŸ’αž‘αŸ‡αŸ” αž“αŸαŸ‡αž‚αžΊαž‡αžΆαž‡αž˜αŸ’αžšαžΎαžŸαž˜αž½αž™αž€αŸ’αž“αž»αž„αž…αŸ†αžŽαŸ„αž˜αž‡αž˜αŸ’αžšαžΎαžŸαž”αž»αžšαžΆαžŽαž‘αžΆαŸ†αž„αž”αžΈαžŸαž˜αŸ’αžšαžΆαž”αŸ‹αž—αŸ’αž‡αžΆαž”αŸ‹αž€αž»αž„αžαžΆαž€αŸ‹αžαžΆαž˜αž–αž› (αžαŸ’αžšαž„αŸ‹αžŸαŸŠαžΈαžŸαŸ’αž‘αŸαžš) αžŠαžΎαž˜αŸ’αž”αžΈαž”αž„αŸ’αž€αžΎαžαž’αžΆαŸ†αž„αžœαžΊαžαž‘αŸαžšαžœαŸ‰αž»αž›αŸ” αž‡αžΆαž’αž˜αŸ’αž˜αžαžΆ αžŠαžΎαž˜αŸ’αž”αžΈαž’αž“αž»αžœαžαŸ’αžαžŸαŸ€αž‚αŸ’αžœαžΈαž˜αž½αž™ αžŸαŸ†αžŽαž»αŸ†αž“αŸƒαž’αžΆαžαž»αžŠαžΆαž…αŸ‹αžŠαŸ„αž™αž‘αŸ‚αž€αž˜αž½αž™αžαŸ’αžšαžΌαžœαž”αžΆαž“αž™αž€αŸ” αžŠαžΎαž˜αŸ’αž”αžΈαžŸαž˜αŸ’αžšαŸαž…αž”αžΆαž“αž“αžΌαžœαž€αžΆαžšαž”αž„αŸ’αžšαž½αž˜αž‡αžΆαž€αŸ‹αž›αžΆαž€αŸ‹αž˜αž½αž™ αžŸαŸ†αžŽαž»αŸ†αž“αŸƒαž’αžΆαžαž»αžαŸ’αžšαžΌαžœαž”αžΆαž“αžŠαžΆαž€αŸ‹αž€αŸ’αž“αž»αž„αž€αž‰αŸ’αž…αž”αŸ‹αžšαž½αž˜αž˜αž½αž™αž•αž„αžŠαŸ‚αžš αžŠαŸ‚αž›αž˜αž·αž“αž•αŸ’αž›αžΆαžŸαŸ‹αž”αŸ’αžαžΌαžšαž€αžΆαžšαž–αž·αžαžŠαŸ‚αž›αžαžΆαžŸαŸ€αž‚αŸ’αžœαžΈαžαŸ’αžšαžΌαžœαž”αžΆαž“αž•αŸ’αž‚αž»αŸ†αž…αŸαž‰αž–αžΈαž’αžΆαžαž»αž•αŸ’αžŸαŸ†αž“αžΈαž˜αž½αž™αŸ—αŸ” αž‡αž“αž‡αžΆαžαž·αž”αŸ‚αž›αž αŸ’αžŸαŸŠαž·αž€αž’αžΆαž…αž•αž›αž·αžαž‘αžΎαž„αžœαž·αž‰αž“αžΌαžœαž’αžΆαžαž»αžŸαŸ’αž‘αžΎαžšαžαŸ‚αž‘αžΆαŸ†αž„αž’αžŸαŸ‹αž“αŸƒαžŸαŸ’αž–αžΆαž“αž–αžΆαž€αŸ‹αž€αžŽαŸ’αžαžΆαž›αž“αŸ…αž›αžΎαž‚αŸ’αžšαžΈαžŸαŸ’αžαžΆαž›αŸ‹αžαŸ‚αž˜αž½αž™αŸ– αžαŸ’αžšαž„αŸ‹αžŸαŸŠαžΈαžŸαŸ’αž‘αŸαžš αž€αž»αž„αž‘αŸαžš αž“αž·αž„αžšαŸαžŸαŸŠαžΈαžŸαŸ’αž‘αŸαžšαŸ” αžŠαŸ†αžŽαŸ„αŸ‡αžŸαŸ’αžšαžΆαž™αž’αŸ’αžœαžΎαž±αŸ’αž™αžœαžΆαž’αžΆαž…αž’αŸ’αžœαžΎαž‘αŸ…αž”αžΆαž“αžŠαžΎαž˜αŸ’αž”αžΈαž”αž„αŸ’αž€αžΎαž“αž”αŸ’αžšαžŸαž·αž‘αŸ’αž’αž—αžΆαž–αž“αŸƒαž€αžΆαžšαž”αŸ†αž”αŸ’αž›αŸ‚αž„αžœαŸ‰αž»αž›αžŠαŸ„αž™αž€αžΆαžαŸ‹αž”αž“αŸ’αžαž™αž”αžΆαžαž»αž—αžΌαžαž”αŸ‰αžΆαžšαŸ‰αžΆαžŸαŸŠαžΈαžαž˜αž½αž™αž…αŸ†αž“αž½αž“αžŠαŸ‚αž›αž‡αžΆαž’αž˜αŸ’αž˜αžαžΆαž’αž˜αž‡αžΆαž˜αž½αž™αžŸαŸ€αž‚αŸ’αžœαžΈαž”αž˜αŸ’αž›αŸ‚αž„αŸ”

αž’αŸ’αž“αž€αž’αž—αž·αžœαžŒαŸ’αžαž“αŸαž”αŸ‚αž›αž αŸ’αžŸαŸŠαž·αž€αžαŸ’αžšαž½αžŸαžαŸ’αžšαžΆαž™αž•αŸ’αž›αžΌαžœαžŸαž˜αŸ’αžšαžΆαž”αŸ‹αž€αžΆαžšαž•αŸ’αž‚αžαŸ‹αž•αŸ’αž‚αž„αŸ‹αžαžΆαž˜αž–αž› "αž”αž“αŸ’αž‘αŸ‡αžˆαžΈαž”αžαŸ‚αž˜αž½αž™"

αž“αŸ…αž€αŸ’αž“αž»αž„αž‚αŸ†αžšαžΌαžŠαŸ‚αž›αž”αžΆαž“αž”αž„αŸ’αž αžΆαž‰αž“αŸ…αž€αŸ’αž“αž»αž„αžŸαž“αŸ’αž“αž·αžŸαž·αž‘ αž”αž“αŸ’αž‘αŸ‡αžˆαžΈαž” GaN-IC αžšαž½αž˜αž”αž‰αŸ’αž…αžΌαž›αž‚αŸ’αž“αžΆαž”αžΆαž“αž”αž˜αŸ’αž›αŸ‚αž„αžœαŸ‰αž»αž›αž”αž‰αŸ’αž…αžΌαž› 48 αžœαŸ‰αž»αž›αž‘αŸ…αž‡αžΆαžœαŸ‰αž»αž›αž›αž‘αŸ’αž’αž•αž› 1 αžœαŸ‰αž»αž›αž‡αžΆαž˜αž½αž™αž“αžΉαž„αž”αŸ’αžšαŸαž€αž„αŸ‹αž”αŸ’αžαžΌαžš 1 MHz αŸ” αžŠαŸ†αžŽαŸ„αŸ‡αžŸαŸ’αžšαžΆαž™αž’αžΆαž…αž αžΆαž€αŸ‹αžŠαžΌαž…αž‡αžΆαž˜αžΆαž“αžαž˜αŸ’αž›αŸƒαžαŸ’αž›αŸƒαžŽαžΆαžŸαŸ‹ αž‡αžΆαž–αž·αžŸαŸαžŸαž€αžΆαžšαž–αž·αž…αžΆαžšαžŽαžΆαž›αžΎαž€αžΆαžšαž”αŸ’αžšαžΎαž”αŸ’αžšαžΆαžŸαŸ‹ SOI wafers αž”αŸ‰αž»αž“αŸ’αžαŸ‚αž’αŸ’αž“αž€αžŸαŸ’αžšαžΆαžœαž‡αŸ’αžšαžΆαžœαžŸαž„αŸ’αž€αžαŸ‹αž’αŸ’αž„αž“αŸ‹αžαžΆαž€αž˜αŸ’αžšαž·αžαžαŸ’αž–αžŸαŸ‹αž“αŸƒαž€αžΆαžšαžšαž½αž˜αž”αž‰αŸ’αž…αžΌαž›αž…αŸ’αžšαžΎαž“αž‡αžΆαž„αž‘αžΌαž‘αžΆαžαŸ‹αž€αžΆαžšαž…αŸ†αžŽαžΆαž™αŸ” αž€αžΆαžšαž•αž›αž·αžαž’αžΆαŸ†αž„αžœαžΊαžαž‘αŸαžšαž–αžΈαžŸαž˜αžΆαžŸαž’αžΆαžαž»αžŠαžΆαž…αŸ‹αžŠαŸ„αž™αž‘αŸ‚αž€αž“αžΉαž„αž˜αžΆαž“αžαž˜αŸ’αž›αŸƒαžαŸ’αž›αŸƒαž‡αžΆαž„αžαžΆαž˜αž“αž·αž™αž˜αž“αŸαž™αŸ”



αž”αŸ’αžšαž—αž–: 3dnews.ru

αž”αž“αŸ’αžαŸ‚αž˜αž˜αžαž·αž™αŸ„αž”αž›αŸ‹