អឺរ៉ុប​ទទួលបាន​គន្លឹះ​នៃ​បច្ចេកវិទ្យា​អង់ស្ត្រូម​នាពេលអនាគត៖ Imec នឹង​ដំឡើង​ម៉ាស៊ីនស្កេន ASML EXE:5200 EUV ចុងក្រោយបំផុត។

មជ្ឈមណ្ឌលស្រាវជ្រាវបែលហ្ស៊ិក Imec អួត ការទិញយកម៉ាស៊ីនស្កេន EUV ចុងក្រោយបង្អស់របស់ ASML គឺ TWINSCAN EXE:5200 ដែលមានរន្ធលេខខ្ពស់ 0,55។ ម៉ាស៊ីនស្កេននេះនឹងផ្តល់នូវគុណភាពបង្ហាញដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមកសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ដែលធានានូវតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់បច្ចេកវិទ្យាទាំងនេះពីក្រុមហ៊ុនផលិតបន្ទះឈីប។ នេះនឹងអនុញ្ញាតឱ្យអឺរ៉ុបបន្តក្លាយជាអ្នកផ្តល់ជំនួយបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការ ដូចដែលវាធ្លាប់មាននៅក្នុងទសវត្សរ៍មុនៗ។

ម៉ាស៊ីនស្កេនថ្មីនេះនឹងមានគុណភាពបង្ហាញអុបទិកលើសពីប្រព័ន្ធ EUV ធម្មតាដែលមាន NA 0,33 ហើយក៏នឹងផ្តល់នូវអត្រាដំណើរការ wafer កើនឡើង ស្ថេរភាពប្រតិបត្តិការ និងល្បឿនដំណើរការកើនឡើងផងដែរ។ ប្រព័ន្ធនេះនឹងត្រូវបានដាក់ពង្រាយនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតសម្រាប់ដំណើរការ wafer ទំហំ 300 មីលីម៉ែត្ររបស់ Imec ហើយនឹងបម្រើជាចំណុចកណ្តាលនៃខ្សែសាកល្បង NanoIC ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីពន្លឿនការអភិវឌ្ឍ និងការផ្ទៀងផ្ទាត់បច្ចេកវិទ្យាផលិតបន្ទះឈីប sub-2 nm និងនាំមកនូវយុគសម័យ Ångström។

ការទិញយក​រោងចក្រ​មួយក្នុងចំណោម​រោងចក្រ​មួយចំនួន​តូច​បែបនេះ​របស់ Imec កាន់តែ​បញ្ជាក់​បន្ថែមទៀត​អំពី​ភាពជាអ្នកដឹកនាំ​របស់អ្នកអភិវឌ្ឍន៍​បច្ចេកវិទ្យា​ដំណើរការ​របស់​អឺរ៉ុប​ក្នុងការរៀបចំ​ប្រព័ន្ធអេកូឡូស៊ី​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ​សកល​សម្រាប់​ការផលិត​តក្កវិជ្ជា និង​អង្គចងចាំ​ជំនាន់ក្រោយ។

គុណសម្បត្តិបច្ចេកទេសនៃប្រព័ន្ធ EUV ដែលមានរន្ធលេខខ្ពស់ (High-NA) រួមមានសមត្ថភាពក្នុងការបោះពុម្ពរចនាសម្ព័ន្ធតូចៗក្នុងការឆ្លងកាត់តែមួយ ធ្វើឱ្យដំណើរការសាមញ្ញ កាត់បន្ថយថ្លៃដើម និងបង្កើនទិន្នផលបើប្រៀបធៀបទៅនឹងដំណើរការបិទបាំងច្រើនជំហាន (ការបញ្ចាំងច្រើនជំហាន) នៃម៉ាស៊ីនស្កេនជំនាន់មុន។ ប្រព័ន្ធ EXE:5200 ផ្តល់នូវអត្រាទិន្នផលកើនឡើង ភាពត្រឹមត្រូវនៃការតម្រឹមលក្ខណៈពិសេសប្រសើរឡើង និងភាពឆបគ្នាជាមួយសម្ភារៈ photoresist ថ្មី (រួមទាំង photoresist អុកស៊ីដលោហៈ) ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការបង្កើតអារេត្រង់ស៊ីស្ទ័រក្រាស់ខ្លាំង។

ក្នុងរយៈពេលពីរឆ្នាំកន្លងមកនេះ Imec និង ASML បានសហការយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ High-NA EUV រួមគ្នាមួយក្នុងទីក្រុង Veldhoven ប្រទេសហូឡង់ ជាកន្លែងដែលកំណត់ត្រាពិភពលោកសម្រាប់ការដោះស្រាយខ្សែត្រូវបានសម្រេចរួចហើយ - ឧទាហរណ៍ ខ្សែទទឹង 16 nm ត្រូវបានផលិតក្នុងការឆ្លងកាត់តែមួយ។ ឥឡូវនេះ ទាំងអស់នេះនឹងត្រូវបានចម្លងនៅ Imec លើខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មស្ទើរតែពាណិជ្ជកម្ម ដោយនាំយកការស្រាវជ្រាវទៅកាន់ទ្រង់ទ្រាយឧស្សាហកម្មជាមួយនឹងការធ្វើសមាហរណកម្មពេញលេញទៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់វត្ថុធាតុដើម ដំណើរការ និងរង្វាស់ម៉ែត្រ។

ប្រព័ន្ធ EXE:5200 ត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងដំណើរការពេញលេញនៅត្រីមាសទីបួននៃឆ្នាំ 2026។ រហូតមកដល់ពេលនោះ ការស្រាវជ្រាវ High-NA EUV នឹងបន្តនៅមន្ទីរពិសោធន៍ ASML-Imec រួមគ្នានៅ Veldhoven ដោយធានាបាននូវនិរន្តរភាពនៃការងារសម្រាប់ដៃគូទាំងពីរ។ កន្លែង Imec នឹងអនុញ្ញាតឱ្យប្រព័ន្ធអេកូឡូស៊ី (ក្រុមហ៊ុនផលិតបន្ទះឈីបឈានមុខគេ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ឧបករណ៍ និងអ្នកផ្គត់ផ្គង់សម្ភារៈ) ទទួលបានសិទ្ធិចូលប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាជំនាន់ក្រោយដំបូងបំផុត និងទូលំទូលាយបំផុត។ នេះមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍឧបករណ៍បង្កើនល្បឿន AI ដែលមានប្រសិទ្ធភាពថាមពល អង្គចងចាំដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងកម្មវិធីផ្សេងទៀតដែលត្រូវការការបង្រួមអប្បបរមា។

សារៈសំខាន់ជាយុទ្ធសាស្ត្រនៃព្រឹត្តិការណ៍នេះត្រូវបានគូសបញ្ជាក់ដោយភាពជាដៃគូជិតស្និទ្ធរបស់ Imec ជាមួយ ASML ការគាំទ្រពីសហភាពអឺរ៉ុប រដ្ឋាភិបាលបែលហ្ស៊ិក និងហូឡង់ និងការផ្តល់មូលនិធិតាមរយៈកម្មវិធី Digital Europe និង Horizon Europe។ ការទិញយកប្រព័ន្ធដ៏មានតម្លៃ និងប្លែកបែបនេះ (ប្រព័ន្ធនីមួយៗត្រូវបានប៉ាន់ប្រមាណថាមានតម្លៃរាប់រយលានដុល្លារ) បញ្ជាក់ពីតួនាទីរបស់ Imec ជាចំណុចចាប់ផ្តើមដ៏សំខាន់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មនៅក្នុង "យុគសម័យ angstrom"។ បច្ចេកវិទ្យា EUV កម្រិតខ្ពស់ NA កំពុងក្លាយជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការពង្រីកច្បាប់ Moore លើសពី 2 nm ដែលអាចឱ្យមានការធ្វើមាត្រដ្ឋានប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពចំណាយ និងបើកផ្លូវទៅកាន់បន្ទះឈីប A10/A7 និងលើសពីនេះ ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការប្រកួតប្រជែងរបស់អឺរ៉ុបក្នុងការប្រណាំងប្រជែងផ្នែក semiconductor សកល។

ប្រភព:

• techpowerup.com

ប្រភព: 3dnews.ru