បច្ចេកវិជ្ជាថ្មីសម្រាប់ផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក nanometer ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅសហរដ្ឋអាមេរិក

វាមិនអាចទៅរួចទេក្នុងការស្រមៃមើលការអភិវឌ្ឍបន្ថែមទៀតនៃមីក្រូអេឡិចត្រូនិចដោយមិនធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវបច្ចេកវិទ្យាផលិតកម្ម semiconductor ។ ដើម្បីពង្រីកព្រំដែន និងរៀនពីរបៀបផលិតធាតុតូចៗដែលមិនធ្លាប់មាននៅលើគ្រីស្តាល់ បច្ចេកវិទ្យាថ្មី និងឧបករណ៍ថ្មីៗគឺចាំបាច់។ បច្ចេកវិទ្យាមួយក្នុងចំណោមបច្ចេកវិទ្យាទាំងនេះអាចជាការវិវឌ្ឍឈានទៅមុខដោយអ្នកវិទ្យាសាស្ត្រអាមេរិក។

ក្រុមអ្នកស្រាវជ្រាវមកពីមន្ទីរពិសោធន៍ជាតិ Argonne នៃក្រសួងថាមពលសហរដ្ឋអាមេរិក បានអភិវឌ្ឍ បច្ចេកទេសថ្មីសម្រាប់បង្កើត និងឆ្លាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗលើផ្ទៃគ្រីស្តាល់។ នេះអាចនាំទៅដល់ការផលិតបន្ទះសៀគ្វីក្នុងកម្រិតតូចជាងថ្ងៃនេះ និងក្នុងពេលអនាគតដ៏ខ្លីខាងមុខ។ ការ​សិក្សា​នេះ​ត្រូវ​បាន​ចុះ​ផ្សាយ​ក្នុង​ទស្សនាវដ្ដី Chemistry of Materials ។

បច្ចេកទេសដែលបានស្នើឡើងប្រហាក់ប្រហែលនឹងដំណើរការប្រពៃណី ការទម្លាក់ស្រទាប់អាតូមិច និង etching តែជំនួសឱ្យខ្សែភាពយន្តអសរីរាង្គ បច្ចេកវិទ្យាថ្មីបង្កើត និងធ្វើការជាមួយខ្សែភាពយន្តសរីរាង្គ។ តាមពិតទៅ តាមភាពស្រដៀងគ្នា បច្ចេកវិទ្យាថ្មីនេះត្រូវបានគេហៅថា ការដាក់ស្រទាប់ម៉ូលេគុល (MLD, molecular layer deposition) និងការ etching layer molecular (MLE, molecular layer etching)។

ដូចនៅក្នុងករណីនៃការឆ្លាក់ស្រទាប់អាតូម វិធីសាស្ត្រ MLE ប្រើការកែច្នៃឧស្ម័ននៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះនៃផ្ទៃគ្រីស្តាល់ជាមួយនឹងខ្សែភាពយន្តនៃសារធាតុសរីរាង្គ។ គ្រីស្តាល់​ត្រូវ​បាន​ព្យាបាល​ដោយ​ឧស្ម័ន​ពីរ​ផ្សេង​គ្នា​ឆ្លាស់​គ្នា​រហូត​ទាល់​តែ​ខ្សែភាពយន្ត​ស្តើង​ទៅ​កម្រាស់​ដែល​បាន​ផ្តល់​ឱ្យ។

ដំណើរការគីមីគឺស្ថិតនៅក្រោមច្បាប់នៃការគ្រប់គ្រងខ្លួនឯង។ នេះមានន័យថាស្រទាប់បន្ទាប់ពីស្រទាប់ត្រូវបានយកចេញស្មើៗគ្នានិងក្នុងលក្ខណៈគ្រប់គ្រង។ ប្រសិនបើអ្នកប្រើ photomasks អ្នកអាចផលិតឡើងវិញនូវ topology នៃបន្ទះឈីបនាពេលអនាគតនៅលើបន្ទះឈីប និងគូសការរចនាជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់បំផុត។

នៅក្នុងការពិសោធន៍ អ្នកវិទ្យាសាស្ត្របានប្រើឧស្ម័នដែលមានអំបិលលីចូម និងឧស្ម័នដែលមានមូលដ្ឋានលើ trimethylaluminum សម្រាប់ការឆ្លាក់ម៉ូលេគុល។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ etching សមាសធាតុលីចូមមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងផ្ទៃនៃខ្សែភាពយន្ត alucone តាមរបៀបដែលលីចូមត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃ និងបំផ្លាញចំណងគីមីនៅក្នុងខ្សែភាពយន្ត។ បន្ទាប់មក trimethylaluminum ត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ដែលយកស្រទាប់នៃខ្សែភាពយន្តជាមួយលីចូមហើយបន្តបន្ទាប់គ្នារហូតដល់ខ្សែភាពយន្តត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាកម្រាស់ដែលចង់បាន។ ការគ្រប់គ្រងល្អនៃដំណើរការនេះ អ្នកវិទ្យាសាស្ត្រជឿថាអាចអនុញ្ញាតឱ្យបច្ចេកវិទ្យាដែលបានស្នើឡើងដើម្បីជំរុញការអភិវឌ្ឍនៃផលិតកម្ម semiconductor ។

ប្រភព: 3dnews.ru