์ผ์ฑ์ EUV ์ค์บ๋๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ ๋ถ์ผ์ ์ ๊ตฌ์ ์ธ ์ด์ ์ ์ต๋ํ ํ์ฉํ๊ณ ์์ต๋๋ค. TSMC๊ฐ 13,5์๋ถํฐ 7nm ์ค์บ๋ ์ฌ์ฉ์ ์์ํ์ฌ XNUMXnm ๊ณต์ XNUMX์ธ๋ ์นฉ ์์ฐ์ ์ ์ฉํ ์ค๋น๋ฅผ ํ๋ฉด์ ์ผ์ฑ์ ๋ ๊น์ด ํ๊ตฌํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํ์ฌ๊ฐ EUV๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ 7nm ์ ๊ณต์์ EUV๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ 5nm ์๋ฃจ์ ์์ฐ์ผ๋ก ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ ํํ ์ ์์๋ ๊ฒ์ ์ผ์ฑ์ด ๋์์ธ ์์(IP), ์ค๊ณ ๋ฐ ๊ฒ์ฌ ๋๊ตฌ ๊ฐ์ ์ํธ ์ด์ฉ์ฑ์ ์ ์งํ๋ค๋ ์ฌ์ค์ด์์ต๋๋ค. ๋ฌด์๋ณด๋ค๋ ์ด๋ ํ์ฌ ๊ณ ๊ฐ์ด ์ค๊ณ ๋๊ตฌ, ํ ์คํธ ๋ฐ ๊ธฐ์ฑ IP ๋ธ๋ก ๊ตฌ๋งค์ ๋๋ ๋น์ฉ์ ์ ์ฝํ ์ ์์์ ์๋ฏธํฉ๋๋ค. ์ค๊ณ, ๋ฐฉ๋ฒ๋ก (DM, ์ค๊ณ ๋ฐฉ๋ฒ๋ก ) ๋ฐ EDA ์๋ํ ์ค๊ณ ํ๋ซํผ์ ์ํ PDK๋ ์๋ 7๋ถ๊ธฐ์ EUV๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ์ผ์ฑ์ 5nm ํ์ค์ฉ ์นฉ ๊ฐ๋ฐ์ ์ผ๋ถ๋ก ์ ๊ณต๋์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ชจ๋ ๋๊ตฌ๋ FinFET ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ XNUMXnm ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ์ํ ๋์งํธ ํ๋ก์ ํธ์ ๊ฐ๋ฐ์ ๋ณด์ฅํฉ๋๋ค.
ํ์ฌ๊ฐ EUV ์ค์บ๋๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ 7nm ๊ณต์ ๊ณผ ๋น๊ต
์ผ์ฑ์ ์๋ ํ์ฑ S3 ๊ณต์ฅ์์ EUV ์ค์บ๋๋ฅผ ํ์ฉํ ์ ํ์ ์์ฐํ๊ณ ์๋ค. ์ฌํด ํ๋ฐ๊ธฐ์๋ Fab S3 ์์ ์ ๊ท ์์ค์ ์๊ณตํด ๋ด๋ ๋ถํฐ EUV ๊ณต์ ์ ์ ์ฉํด ์นฉ์ ์์ฐํ ์ค๋น๋ฅผ ๊ฐ์ท๋ค.
์ถ์ฒ : 3dnews.ru