삼성전자, EUV 스캐너 활용해 칩 생산 확대

삼성은 2018년 가을에 최초로 반도체 생산에 EUV 스캐너를 사용했습니다. 그러나 EUV 프로젝션을 기반으로 한 기술 프로세스의 광범위한 사용은 이제 막 일어나고 있습니다. 특히 삼성은 가동시키다 원래 계획된 EUV 라인을 갖춘 세계 최초의 시설입니다.

최근 삼성전자는 대한민국 화성 V1 공장에서 반도체 양산을 시작했다. 기업이 설립되기 시작했습니다. 올해의 2 월 2018 몇 달 전에 파일럿 생산 단계에 들어갔습니다. 이제 V1 공장 라인은 초경질자외선(EUV) 투영을 이용한 7nm, 6nm 제품 양산에 돌입했습니다. 회사의 고객은 몇 주 안에 이 공장으로부터 주문을 받기 시작할 것입니다.

V1 공장에는 최소 10개의 EUV 스캐너가 설치되어 있다는 소문이 있습니다. 다른 모든 것은 말할 것도 없고 이 산업용 장비의 가격표만 해도 1억 달러가 넘습니다. 그 전에는 EUV 범위 스캐너의 일부 장치가 Samsung S3 공장에서 작동하고 있었습니다. 연말까지 S1 공장과 함께 새로운 V3 생산을 통해 회사는 처리를 위해 EUV 스캐너가 필요한 칩 생산량을 7배로 늘릴 수 있습니다. 참고로 이들은 1nm 표준과 더 낮은 기술 표준을 갖춘 제품입니다. 앞으로 화성 V3 공장에서도 XNUMX나노 제품 생산이 가능할 것으로 보인다.

V1 라인을 포함해 삼성은 현재 총 XNUMX개의 반도체 파운드리를 보유하고 있습니다. 그 중 XNUMX개는 한국에 있고 XNUMX개는 미국에 있습니다. 위 그림에서 이러한 기업의 라인이 어떤 기판과 어떤 기술 프로세스로 구성되어 있는지 확인할 수 있습니다.

출처 : 3dnews.ru