เบเบฑเปเบเบเบตเปเบเบงเบเปเบฎเบปเบฒเบฎเบนเป, เปเบเปเบเบทเบญเบเบกเบตเบเบฒเบเบญเบเบเบตเบเบตเป, TSMC เปเบเปเปเบฅเบตเปเบกเบเบปเปเบเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบปเบเบฅเบญเบเบเบญเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบฐเบเบฑเบ 5nm. เปเบซเบเบเบฒเบเบเบตเปเปเบเบตเบเบเบถเปเบเบขเบนเปเบเบตเปเปเบฎเบเบเบฒเบ Fab 18 เปเบซเปเบเปเปเปเปเบเปเบเปเบซเบงเบฑเบ, เบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบเปเบญเบเบเบญเบเบเบฒเบเปเบเปเปเบ 5nm. เบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบฐเบซเบเบฒเบเปเบซเบเปเปเบเบเปเบเปเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ 5nm N5 เบเบฒเบเบงเปเบฒเบเบฐเบขเบนเปเปเบเปเบเบกเบฒเบเบเบตเบชเบญเบเบเบญเบ 2020. เปเบเบเบญเบเบเปเบฒเบเบเบญเบเบเบตเบเบฝเบงเบเบฑเบ, เบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบดเบเปเบเบเบญเบตเบเปเบชเปเปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบขเบตเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบ 5-nm เบซเบผเบท N5P (เบเบฒเบเบเบฐเบเบดเบเบฑเบ) เบเบฐเบเบทเบเปเบเบตเบเบเบปเบง. เบเบงเบฒเบกเบเปเบญเบกเบเบญเบเบเบดเบเบเบปเปเบเปเบเบเบเปเบงเบเปเบซเป TSMC เบชเบฒเบกเบฒเบเบเบฐเปเบกเบตเบเบเบงเบฒเบกเบชเบฒเบกเบฒเบเบเบญเบ semiconductors เปเบเบญเบฐเบเบฒเบเบปเบเบเบตเปเบเบฐเบฅเบดเบเปเบเบเบญเบตเบเปเบชเปเปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบขเบตเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบเปเบซเบกเป, เปเบเบดเปเบเบเปเบฅเบดเบชเบฑเบเบเบฐเปเบงเบปเปเบฒเบเปเบฝเบงเบเบฑเบเบฅเบฒเบเบฅเบฐเบญเบฝเบเปเบเปเบเบทเบญเบเบเบฑเบเบงเบฒ. เปเบเปเปเบเบปเปเบฒเบชเบฒเบกเบฒเบเบเบญเบเบซเบฒเบเบฒเบเบชเบดเปเบเบเบฒเบเบขเปเบฒเบเปเบฅเปเบง เบเบฒเบเบเบปเบเบเบฑเบเบซเบเปเปเบเบตเปเบชเบปเปเบเปเบเบ TSMC เบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบเปเบฒเบชเบฐเปเบซเบเบตเบขเบนเป IEDM 2019.
เบเปเบญเบเบเบตเปเบเบฐเบเบตเปเปเบเบเบฅเบฒเบเบฅเบฐเบญเบฝเบ, เปเบซเปเบเบทเปเบเปเบฒเบชเบดเปเบเบเบตเปเบเบงเบเปเบฎเบปเบฒเบฎเบนเปเบเบฒเบเบเปเบฒเบเบฐเปเบซเบผเบเบเบตเปเบเปเบฒเบเบกเบฒเบเบฒเบ TSMC. เปเบกเบทเปเบญเบเบฝเบเบเบฝเบเบเบฑเบเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ 7nm, เบกเบฑเบเบเบทเบเบญเปเบฒเบเบงเปเบฒเบเบฐเบชเบดเบเบเบดเบเบฒเบเบชเบธเบเบเบดเบเบญเบเบเบดเบ 5nm เบเบฐเปเบเบตเปเบกเบเบถเปเบ 15% เบซเบผเบทเบเบฒเบเบเปเบฅเบดเปเบเบเบเบฐเบซเบผเบธเบเบฅเบปเบ 30% เบเปเบฒเบเบฒเบเบเบฐเบเบดเบเบฑเบเบเบฑเบเบเบปเบเบขเบนเปเบเบทเบเบฑเบ. เบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ N5P เบเบฐเปเบเบตเปเบกเบเบปเบเบเบฐเบฅเบดเบเบญเบตเบ 7% เบซเบผเบท 15% เบเบฐเบซเบเบฑเบเปเบเบเบฒเบเบเปเบฅเบดเปเบเบ. เบเบงเบฒเบกเบซเบเบฒเปเบซเบเปเบเบเบญเบเบญเบปเบเบเบฐเบเบญเบเบเบฒเบกเปเบซเบเบเบปเบเบเบฐเปเบเบตเปเบกเบเบถเปเบ 1,8 เปเบเบปเปเบฒ. เบเบฐเบซเบเบฒเบเปเบเบ SRAM เบเบฐเบเปเบฝเบเปเบเบเปเบเบเบเบฑเบเปเบเบเบญเบ 0,75.
เปเบเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบดเบ 5nm, เบเบฐเบซเบเบฒเบเบเบญเบเบเบฒเบเบเปเบฒเปเบเปเปเบเบทเปเบญเบเบชเบฐเปเบเบ EUV เบเบฐเบเบฑเบเบฅเบธเบฅเบฐเบเบฑเบเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบตเปเปเบเปเปเบฅเปเบง. เปเบเบเบชเปเบฒเบเบเปเบญเบ transistor เบเบฐเบเบทเบเบเปเบฝเบเปเบเบ, เบญเบฒเบเบเบฐเปเบเป germanium เบฎเปเบงเบกเบเบฑเบเบเบฑเบเบซเบผเบทเปเบเบเบเบดเบฅเบดเปเบเบ. เบเบตเปเบเบฐเบฎเบฑเบเบเบฐเบเบฑเบเบเบฒเบเปเบเบตเปเบกเบเบทเปเบเบเบญเบเบเบฒเบเปเบเบทเปเบญเบเปเบซเบงเบเบญเบเปเบญเปเบฅเบฑเบเปเบเบฃเบเบดเบเปเบเบเปเบญเบเบเบฒเบเปเบฅเบฐเบเบฒเบเปเบเบตเปเบกเบเบทเปเบเบเบญเบเบเบฐเปเบชเปเบเบเปเบฒ. เปเบเบเปเบเปเบฅเบเบตเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบเบชเบฐเบซเบเบญเบเบฅเบฐเบเบฑเบเปเบฎเบเบเบฑเบเบซเบผเบฒเบเบเบฒเบเบเบงเบเบเบธเบก, เบชเบนเบเบชเบธเบเบเบตเปเบเบฐเบชเบฐเบซเบเบญเบเบเบฒเบเปเบเบตเปเบกเบเบฐเบชเบดเบเบเบดเบเบฒเบ 25% เปเบกเบทเปเบญเบเบฝเบเบเบฑเบเบเบฝเบงเบเบฑเบเปเบเปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบขเบตเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ 7 nm. เบเบฒเบเบชเบฐเบซเบเบญเบเบเบฐเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบเบญเบ transistor เบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเปเบเปเบเบญเบ I/O เบเบฐเบกเบตเบเบฑเปเบเปเบเป 1,5 V เบซเบฒ 1,2 V.
เปเบเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบญเบเปเบเบเบเปเบฒเบเบฎเบนเบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบ metallization เปเบฅเบฐเบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบเบดเบเบเปเป, เบงเบฑเบเบชเบฐเบเบธเบเบตเปเบกเบตเบเบฒเบเบเปเปเบเปเบฒเบเบเปเปเบฒเปเบเบดเบเปเบกเปเบเบงเปเบฒเบเบฐเบเบทเบเบเปเบฒเปเบเป. เบเบปเบงเปเบเบฑเบเบเบฐเบเบธ ultra-high-density เบเบฐเบเบทเบเบเบฐเบฅเบดเบเปเบเบเปเบเปเบงเบปเบเบเบญเบเปเบฅเบซเบฐ dielectric-metal, เปเบเบดเปเบเบเบฐเปเบฎเบฑเบเปเบซเปเบเบปเบเบเบฐเบฅเบดเบเปเบเบตเปเบกเบเบถเปเบ 4%. เปเบเบเบเบปเปเบงเปเบ, TSMC เบเบฐเบเปเบฝเบเปเบเปเบเป insulators เบเปเปเบฒ K เปเบซเบกเป. เบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ "เปเบซเปเบ" เปเบซเบกเป, เปเบฅเบซเบฐ Reactive Ion Etching (RIE), เบเบฐเบเบฒเบเบปเบเบขเบนเปเปเบเบงเบปเบเบเบญเบเบเบฒเบเบเบฐเบกเบงเบเบเบปเบ silicon wafer, เปเบเบดเปเบเบเบฒเบเบชเปเบงเบเบเบฐเบเบปเบเปเบเบเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ Damascus เปเบเบเบเบฑเปเบเปเบเบตเบกเปเบเบเปเบเปเบเบญเบเปเบเบ (เบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบเบดเบเบเปเปเปเบฅเบซเบฐเบเบฐเบซเบเบฒเบเบเปเบญเบเบเบงเปเบฒ 30 nm). เบเบญเบเบเบฒเบเบเบฑเปเบ, เปเบเบฑเบเบเบฑเปเบเบเปเบฒเบญเบดเบ, เบเบฑเปเบเบเบญเบ graphene เบเบฐเบเบทเบเบเปเบฒเปเบเปเปเบเบทเปเบญเบชเปเบฒเบเบญเบธเบเบฐเบชเบฑเบเบฅเบฐเบซเบงเปเบฒเบ conductors เบเบญเบเปเบเบเปเบฅเบฐ semiconductor (เปเบเบทเปเบญเบเปเบญเบเบเบฑเบเบเปเปเปเบซเป electromigration).
เบเบฒเบเปเบญเบเบฐเบชเบฒเบเบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบปเบเบฅเบฒเบเบเบฒเบเปเบเบทเบญเบเบเบฑเบเบงเบฒเบเบตเป IEDM, เบเบงเบเปเบฎเบปเบฒเบชเบฒเบกเบฒเบเบฅเบงเบเบฅเบงเบกเบงเปเบฒเบเปเบฒเบเบงเบเบเบปเบงเบเปเบฒเบเบปเบเบเบฒเบเบเบญเบเบเบดเบ 5nm เบเบฐเบเบตเบเบงเปเบฒ. เบเบฑเปเบเบเบฑเปเบ, เบเบงเบฒเบกเบซเบเบฒเปเบซเบเปเบเบเบญเบเบญเบปเบเบเบฐเบเบญเบเบเบฒเบกเปเบซเบเบเบปเบเบเบฐเบชเบนเบเบเบถเปเบเปเบฅเบฐเบเบฑเบเบฅเบธ 1,84 เปเบเบปเปเบฒ. เปเบเบ SRAM เบเบฑเบเบเบฐเบเปเบญเบเบฅเบปเบ, เบกเบตเบเบทเปเบเบเบตเป 0,021 ยตm2. เบเบธเบเบชเบดเปเบเบเบธเบเบขเปเบฒเบเปเบกเปเบเบขเบนเปเปเบเบเปเบฒเบชเบฑเปเบเบเบฑเบเบเบฒเบเบเบฐเบเบดเบเบฑเบเบเบญเบเบเบดเบฅเบดเปเบเบเบเบปเบเบฅเบญเบ - เบเบฒเบเปเบเบตเปเบกเบเบถเปเบเบเบญเบ 15% เปเบเปเบฎเบฑเบ, เปเบเบฑเปเบเบเบฝเบงเบเบฑเบเบเบฑเบเบเบฒเบเบซเบผเบธเบเบเปเบญเบเบเบงเบฒเบกเปเบเบฑเบเปเบเปเบเป 30% เปเบเบเบฒเบเบเปเบฅเบดเปเบเบเปเบเบเปเบฅเบฐเบเบตเบเบญเบ freezing เบเบญเบเบเบงเบฒเบกเบเบตเปเบชเบนเบ.
เปเบเบเปเบเปเบฅเบเบตเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบเปเบซเบกเปเบเบฐเปเบฎเบฑเบเปเบซเปเบชเบฒเบกเบฒเบเปเบฅเบทเบญเบเบเบฒเบเปเบเบฑเบเบเปเบฒเปเบฎเบเบเบฑเบเบเบญเบเบเบฒเบเบเบงเบเบเบธเบก, เปเบเบดเปเบเบเบฐเปเบเบตเปเบกเบเบงเบฒเบกเบซเบฅเบฒเบเบซเบฅเบฒเบเปเบซเปเบเบฑเบเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบเบเบฑเบเบเบฐเบเบฒเปเบฅเบฐเบเบฐเบฅเบดเบเบเบฐเบเบฑเบ, เปเบฅเบฐเบเบฒเบเบเปเบฒเปเบเปเปเบเบทเปเบญเบเบชเบฐเปเบเบ EUV เปเบเปเบเบญเบเบเบฐเปเบฎเบฑเบเปเบซเปเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเปเบฒเบเปเบฅเบฐเบฅเบฒเบเบฒเบเบทเบเบเบงเปเบฒ. เบญเบตเบเบเบฒเบก TSMC, เบเบฒเบเบเปเบฝเบเปเบเบฑเบเปเบเบทเปเบญเบเบชเบฐเปเบเบ EUV เบชเบฐเบซเบเบญเบเบเบฒเบเบเบฑเบเบเบธเบ 0,73x เปเบเบเบงเบฒเบกเบฅเบฐเบญเบฝเบเปเบชเบฑเปเบเบเบฝเบเบเบฑเบเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ 7nm. เบเบปเบงเบขเปเบฒเบ, เปเบเบทเปเบญเบเบฐเบฅเบดเบเบเบฑเปเบเปเบฅเบซเบฐเบเบตเปเบกเบตเบเบงเบฒเบกเบชเปเบฒเบเบฑเบเบเบตเปเบชเบธเบเบเบญเบเบเบฑเปเบเบเปเบฒเบญเบดเบ, เปเบเบเบเบตเปเบเบฐเปเบเบฑเบเบซเบเปเบฒเบเบฒเบเปเบเบเบเปเบฒเบกเบฐเบเบฒเบซเปเบฒ, เบเบฝเบเปเบเปเบซเบเปเบฒเบเบฒเบ EUV เบซเบเบถเปเบเปเบกเปเบเบเปเบญเบเบเบฒเบเปเบฅเบฐ, เบเบฒเบกเบเบฑเปเบ, เบเบฝเบเปเบเปเบซเบเบถเปเบเบงเบปเบเบเบญเบเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเปเบเบเบเบตเปเบเบฐเบซเปเบฒ. เปเบเบเบงเบดเบเบตเบเบฒเบเบเบฒเบ, เปเบซเปเปเบญเบปเบฒเปเบเปเบชเปเบเบฑเบเบงเบดเบเบตเบเบฒเบเบเบตเปเบญเบปเบเบเบฐเบเบญเบเบเบตเปเบชเบฐเบญเบฒเบเบขเบนเปเปเบเบเบดเบเบญเบญเบเบกเบฒเปเบกเบทเปเบญเบเปเบฒเปเบเปเบเบฒเบเบเบฒเบเบเบฐเปเบ EUV. เบเบงเบฒเบกเบเบฒเบก, เปเบฅเบฐเบเบฑเปเบเปเบกเปเบเบเบฑเบเบซเบกเบปเบ.
เปเบซเบผเปเบเบเปเปเบกเบนเบ: 3dnews.ru