Laser-silicon lithography เบˆเบฐเบชเบทเบšเบ•เปเปˆเป€เบ›เบฑเบ™เบงเบดเบ—เบตเบเบฒเบ™เบ—เบตเปˆเป€เบ”เบฑเปˆเบ™เบŠเบฑเบ”เปƒเบ™เบเบฒเบ™เบœเบฐเบฅเบดเบ”เบŠเบดเบšเบ—เบตเปˆเบ”เบตเปƒเบ™เบ—เบปเบ”เบชเบฐเบงเบฑเบ”เบ•เปเปˆเป„เบ›.

เบเบฑเบšเบ„เบทเบ™เป„เบ›เปƒเบ™เป€เบ”เบทเบญเบ™เบžเบถเบ”เบชเบฐเบžเบฒ, ASML, เบœเบนเป‰เบ™เปเบฒเปƒเบ™เบžเบฒเบเบชเปˆเบงเบ™เป€เบ„เบทเปˆเบญเบ‡เบชเบฐเปเบเบ™ lithography, เป„เบ”เป‰เป€เบงเบปเป‰เบฒเบเปˆเบฝเบงเบเบฑเบšเบ„เบงเบฒเบกเบชเบปเบ”เปƒเบชเบ”เป‰เบฒเบ™เบชเปเบฒเบฅเบฑเบšเบเบฒเบ™เป€เบเบตเบ”เบ‚เบทเป‰เบ™เปƒเบ™เบ•เบญเบ™เป€เบฅเบตเปˆเบกเบ•เบปเป‰เบ™เบ‚เบญเบ‡เบ—เบปเบ”เบชเบฐเบงเบฑเบ”เบ•เปเปˆเป„เบ›เบ‚เบญเบ‡เบฅเบฐเบšเบปเบšเบ—เบตเปˆเบญเบฐเบ™เบธเบเบฒเบ”เปƒเบซเป‰เป€เบฎเบฑเบ”เบงเบฝเบเบเบฑเบšเบ„เปˆเบฒเบฎเบนเบฎเบฑเบšเปเบชเบ‡เบ—เบตเปˆเบกเบตเบ•เบปเบงเป€เบฅเบเบชเบนเบ‡เบชเบธเบ”เบ‚เบญเบ‡ 0,75 (Hyper-NA EUV). เบœเบนเป‰เบ•เบฒเบ‡เบซเบ™เป‰เบฒ imec เบญเป‰เบฒเบ‡เบงเปˆเบฒเปƒเบ™เบ—เบปเบ”เบชเบฐเบงเบฑเบ”เบ•เปเปˆเป„เบ›, lithography เบˆเบฐเบšเปเปˆเบเป‰เบฒเบเบญเบญเบเป„เบ›เบˆเบฒเบเบเบฒเบ™เบ™เปเบฒเปƒเบŠเป‰ lasers เปเบฅเบฐ silicon. เปเบซเบผเปˆเบ‡เบฎเบนเบšเบžเบฒเบš: ASML
เปเบซเบผเปˆเบ‡เบ‚เปเป‰เบกเบนเบ™: 3dnews.ru