เบเบฑเบเบเบทเบเปเบเปเบเปเบเบทเบญเบเบเบถเบเบชเบฐเบเบฒ, ASML, เบเบนเปเบเปเบฒเปเบเบเบฒเบเบชเปเบงเบเปเบเบทเปเบญเบเบชเบฐเปเบเบ lithography, เปเบเปเปเบงเบปเปเบฒเบเปเบฝเบงเบเบฑเบเบเบงเบฒเบกเบชเบปเบเปเบชเบเปเบฒเบเบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเปเบเบตเบเบเบทเปเบเปเบเบเบญเบเปเบฅเบตเปเบกเบเบปเปเบเบเบญเบเบเบปเบเบชเบฐเบงเบฑเบเบเปเปเปเบเบเบญเบเบฅเบฐเบเบปเบเบเบตเปเบญเบฐเบเบธเบเบฒเบเปเบซเปเปเบฎเบฑเบเบงเบฝเบเบเบฑเบเบเปเบฒเบฎเบนเบฎเบฑเบเปเบชเบเบเบตเปเบกเบตเบเบปเบงเปเบฅเบเบชเบนเบเบชเบธเบเบเบญเบ 0,75 (Hyper-NA EUV). เบเบนเปเบเบฒเบเบซเบเปเบฒ imec เบญเปเบฒเบเบงเปเบฒเปเบเบเบปเบเบชเบฐเบงเบฑเบเบเปเปเปเบ, lithography เบเบฐเบเปเปเบเปเบฒเบเบญเบญเบเปเบเบเบฒเบเบเบฒเบเบเปเบฒเปเบเป lasers เปเบฅเบฐ silicon. เปเบซเบผเปเบเบฎเบนเบเบเบฒเบ: ASML
เปเบซเบผเปเบเบเปเปเบกเบนเบ: 3dnews.ru