เบเบดเบฅเบดเปเบเบเปเบกเปเบเบกเบตเบเบงเบฒเบกเบซเบผเบฒเบเบซเบผเบฒเบเบเบตเปเบชเบธเบเปเบเบฑเบเบเบทเปเบเบเบฒเบเบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบธเบเบฅเบฐเบเบฒเบ semiconductor, เบเปเบญเบเบงเปเบฒเบเบฑเบเบเบปเปเบเบเบงเปเบฒเบเบญเบเบซเบฒเบเบฒเบเบเบปเบเปเบเบเบเบตเปเบกเบฑเบเปเบเปเปเบซเบฑเบเบญเบตเบเปเบเบทเปเบญเบซเบเบถเปเบเปเบฅเบฐเบญเบตเบเบเบฑเปเบเบเปเบญเบเบเปเบฒเปเบเปเบเปเบฒเบเบเบตเปเปเบเบตเปเบกเบเบถเปเบเบขเปเบฒเบเบเปเปเปเบเบทเปเบญเบเบเบญเบเบเบฒเบเบเบฑเบเบเบธเบเบเบฒเบเบเปเบฒเบเบฎเบนเบ Si-centric photolithography. เบกเบตเบเบงเบฒเบกเบซเบงเบฑเบเบเบตเปเบเบฐเบเบฑเบเบฅเบธเปเบเบปเปเบฒเบซเบกเบฒเบเบเบตเป - เบขเปเบฒเบเปเบเบเปเบเบฒเบก, เบกเบฑเบเปเบเบดเปเบเบเบทเบงเปเบฒเบกเบฑเบเบเบฐเปเบเปเปเบงเบฅเบฒเบซเบผเบฒเบเบเบงเปเบฒเบซเบผเบฒเบเบชเบดเบเบเบตเปเบเบทเปเบญเบเปเบฒเบงเปเบเบชเบนเปเบกเบฑเบ.
เปเบซเบผเปเบเบเปเปเบกเบนเบ: 3dnews.ru