เบกเบฑเบเปเบเบฑเบเปเบเบเปเปเปเบเปเบเบตเปเบเบฐเบเบดเบเบเบฐเบเบฒเบเบฒเบเบเบฒเบเบเบฑเบเบเบฐเบเบฒเบเบญเบเบเบธเบเบฅเบฐเบเบฒเบเบญเบตเปเบฅเบฑเบเปเบเบฃเบเบดเบเบเปเปเปเบเปเบเบเบเปเปเบกเบตเบเบฒเบเบเบฑเบเบเบธเบเปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบขเบตเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบ semiconductor. เปเบเบทเปเบญเบเบฐเบซเบเบฒเบเปเบเบเปเบเบเปเบฅเบฐเบฎเบฝเบเบฎเบนเปเบงเบดเบเบตเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบญเบปเบเบเบฐเบเบญเบเบเบฐเบซเบเบฒเบเบเปเบญเบเบเบงเปเบฒเบขเบนเปเปเบเปเบเปเบเบเบเบฑเบ, เปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบขเบตเปเบซเบกเปเปเบฅเบฐเปเบเบทเปเบญเบเบกเบทเปเบซเบกเปเปเบกเปเบเบเปเบฒเปเบเบฑเบ. เบซเบเบถเปเบเปเบเปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบขเบตเปเบซเบผเบปเปเบฒเบเบตเปเบญเบฒเบเบเบฐเปเบเบฑเบเบเบฒเบเบเบฑเบเบเบฐเบเบฒเบเบตเปเบเปเบฒเบงเบซเบเปเบฒเปเบเบเบเบฑเบเบงเบดเบเบฐเบเบฒเบชเบฒเบเบญเบฒเปเบกเบฅเบดเบเบฒ.
เบเบตเบกเบเบฑเบเบงเบดเปเบเบเบฒเบเบซเปเบญเบเบเบปเบเบฅเบญเบเปเบซเปเบเบเบฒเบ Argonne เบเบญเบเบเบฐเบเบงเบเบเบฐเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบชเบฐเบซเบฐเบฅเบฑเบ เปเบเบฑเบเบเบดเบเปเบซเบกเปเบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบชเปเบฒเบเปเบฅเบฐ etching เบฎเบนเบเปเบเบปเบฒเบเบฒเบเปเบขเบนเปเบเปเบฒเบเบเบญเบเปเบเปเบเบเบเบฑเบ. เบเบตเปเบญเบฒเบเบเบฐเปเบฎเบฑเบเปเบซเปเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบเบเบดเบเปเบเบเบฐเบซเบเบฒเบเบเบฐเบซเบเบฒเบเบเปเบญเบเบเบงเปเบฒเปเบเบกเบทเปเบเบตเปเปเบฅเบฐเปเบเบญเบฐเบเบฒเบเบปเบเบญเบฑเบเปเบเปเบเบตเป. เบเบฒเบเบชเบถเบเบชเบฒเปเบเปเบเบทเบเบเบฑเบเบเบตเบกเบกเบฒเบขเบนเปเปเบเบงเบฒเบฅเบฐเบชเบฒเบเปเบเบกเบตเบเบญเบเบงเบฑเบเบชเบฐเบเบธ.
เปเบเบฑเบเบเบดเบเบเบตเปเบชเบฐเปเบซเบเบตเปเบกเปเบเบเปเบฒเบเบเบทเบเบฑเบเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบเบเบทเปเบเปเบกเบทเบญเบ เปเบฅเบฐ etching, เบเบฝเบเปเบเปเปเบเบเบเบตเปเบเบฐเปเบเบฑเบเบฎเบนเบเปเบเบปเบฒเบญเบฐเบเบปเบเบเบฐเบเบฒเบ, เปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบเบตเปเบซเบกเปเบชเปเบฒเบเปเบฅเบฐเปเบฎเบฑเบเบงเบฝเบเบเบฑเบเบฎเบนเบเปเบเบปเบฒเบญเบดเบเบเบต. เบเบปเบงเบเบดเบเปเบฅเปเบง, เบเปเบงเบเบเบฒเบเบเบฝเบเบเบฝเบ, เปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบเบตเปเบซเบกเปเปเบญเบตเปเบเบงเปเบฒเบเบฒเบเบเบฒเบเบเบฑเปเบเปเบกเปเบฅเบเบธเบ (MLD, เบเบฒเบเบเบฒเบเบเบฑเปเบเปเบกเปเบฅเบเบธเบ) เปเบฅเบฐ etching เบเบฑเปเบเปเบกเปเบฅเบเบธเบ (MLE, molecular layer etching).
เปเบเบฑเปเบเบเบฝเบงเบเบฑเบเปเบเบเปเบฅเบฐเบเบตเบเบญเบเบเบฒเบเปเบเบฐเบชเบฐเบซเบผเบฑเบเบเบฑเปเบเบเบฐเบฅเปเบฒเบกเบฐเบเบน, เบงเบดเบเบตเบเบฒเบ MLE เปเบเปเบเบฒเบเบเปเบฒเบเบฑเบเบญเบฒเบเปเบเบฑเบชเบขเบนเปเปเบเบซเปเบญเบเบเบญเบเบซเบเปเบฒเบเบดเบเบเบญเบเปเบเปเบเบเบเบฑเบเบเบตเปเบกเบตเบฎเบนเบเปเบเบปเบฒเบเบญเบเบงเบฑเบเบชเบฐเบเบธเบญเบดเบเบเบต. เปเบเปเบเบเบเบฑเบเปเบเปเบเบทเบเบเบฐเบเบดเบเบฑเบเบฎเบญเบเบงเบฝเบเบเปเบงเบเบชเบญเบเบเบฒเบเบญเบฒเบเบเบดเบเบเบตเปเปเบเบเบเปเบฒเบเบเบฑเบเบชเบฐเบฅเบฑเบเบเบฑเบเบเบปเบเบเปเบงเบฒเบฎเบนเบเปเบเบปเบฒเปเบเปเบเบทเบ thinned เบเบฑเบเบเบงเบฒเบกเบซเบเบฒเบเบตเปเบเปเบฒเบเบปเบเปเบงเป.
เบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบเบเบฒเบเปเบเบกเบตเปเบกเปเบเบเบถเปเบเบเบฑเบเบฅเบฐเบเบฝเบเบเบปเบเบซเบกเบฒเบเบเบญเบเบเบปเบเปเบญเบ. เบเบตเปเบซเบกเบฒเบเบเบงเบฒเบกเบงเปเบฒเบเบฑเปเบเบซเบผเบฑเบเบเบฒเบเบเบฑเปเบเปเบเปเบเบทเบเปเบเบเบเปเบฒเบเบญเบญเบเบขเปเบฒเบเปเบเบปเปเบฒเบเบฝเบกเบเบฑเบเปเบฅเบฐเปเบเบฅเบฑเบเบชเบฐเบเบฐเบเบตเปเบเบงเบเบเบธเบก. เบเปเบฒเบเปเบฒเบเปเบเป photomasks, เบเปเบฒเบเบชเบฒเบกเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบ topology เบเบญเบ chip เปเบเบญเบฐเบเบฒเบเบปเบเปเบ chip เปเบฅเบฐ etch เบเบฒเบเบญเบญเบเปเบเบเบเบตเปเบกเบตเบเบงเบฒเบกเบเบทเบเบเปเบญเบเบชเบนเบเบชเบธเบ.
เปเบเบเบฒเบเบเบปเบเบฅเบญเบ, เบเบฑเบเบงเบดเบเบฐเบเบฒเบชเบฒเบเปเบเปเปเบเปเบญเบฒเบเปเบเบฑเบชเบเบตเปเบกเบตเปเบเบทเบญ lithium เปเบฅเบฐเบญเบฒเบเปเบเบฑเบชเบเบตเปเบญเบตเบเปเบชเป trimethylaluminum เบชเปเบฒเบฅเบฑเบเบเบฒเบเบเบธเบเปเบกเปเบฅเบเบธเบ. เปเบโเบฅเบฐโเบซเบงเปเบฒเบโเบเบฒเบโเบเบฐโเบเบงเบโเบเบฒเบ etchingโ, เบชเบฒเบโเบเบฐโเบชเบปเบก lithium reacted เบเบฑเบโเบซเบเปเบฒโเบเบดเบโเบเบญเบโเบฎเบนเบโเปเบเบปเบฒ alucone เปเบโเบงเบดโเบเบตโเบเบฒเบโเบเบตเป lithium เบเบทเบโเบเบฒเบโเปเบงเปโเปเบเบดเบโเบซเบเปเบฒโเบเบดเบโเปเบฅเบฐโเบเปเบฒโเบฅเบฒเบโเบเบฑเบโเบเบฐโเบเบฑเบโเบเบฒเบโเปเบโเบกเบตโเปเบโเบฎเบนเบโเปเบเบปเบฒโเปเบเปโ. เบซเบผเบฑเบเบเบฒเบเบเบฑเปเบ, trimethylaluminum เปเบเปเบเบทเบเบชเบฐเบซเบเบญเบ, เปเบเบดเปเบเปเบญเบปเบฒเบเบฑเปเบเบเบญเบเบฎเบนเบเปเบเบปเบฒเบเบตเปเบกเบต lithium, เปเบฅเบฐเบญเบทเปเบเปเบเบปเบเบเปเบงเบฒเบฎเบนเบเปเบเบปเบฒเปเบเปเบเบทเบเบซเบผเบธเบเบฅเบปเบเปเบเบฑเบเบเบงเบฒเบกเบซเบเบฒเบเบตเปเบเปเบญเบเบเบฒเบ. เบเบฒเบเบเบงเบเบเบธเบกเบเบตเปเบเบตเบเบญเบเบเบฐเบเบงเบเบเบฒเบ, เบเบฑเบเบงเบดเบเบฐเบเบฒเบชเบฒเบเปเบเบทเปเบญเบงเปเบฒ, เบชเบฒเบกเบฒเบเบญเบฐเบเบธเบเบฒเบเปเบซเปเปเบเบฑเบเปเบเปเบฅเบขเบตเบเบตเปเบชเบฐเปเบซเบเบตเปเบเบทเปเบญเบเบธเบเบเบนเปเบเบฒเบเบเบฑเบเบเบฐเบเบฒเบเบฒเบเบเบฐเบฅเบดเบ semiconductor.
เปเบซเบผเปเบเบเปเปเบกเบนเบ: 3dnews.ru