Neįmanoma įsivaizduoti tolesnės mikroelektronikos plėtros be puslaidininkių gamybos technologijų tobulinimo. Norint išplėsti ribas ir išmokti gaminti vis mažesnius elementus ant kristalų, reikia naujų technologijų ir naujų įrankių. Viena iš šių technologijų gali būti Amerikos mokslininkų proveržis.
JAV Energetikos departamento Argonne nacionalinės laboratorijos mokslininkų komanda nauja technika plonoms plėvelėms sukurti ir ėsdinti kristalų paviršiuje. Dėl to traškučiai gali būti gaminami mažesniu mastu nei šiandien ir artimiausioje ateityje. Tyrimas buvo paskelbtas žurnale Chemistry of Materials.
Siūloma technika primena tradicinį procesą ir ofortas, tik vietoj neorganinių plėvelių nauja technologija kuria ir dirba su organinėmis plėvelėmis. Tiesą sakant, pagal analogiją naujoji technologija vadinama molekulinio sluoksnio nusodinimu (MLD, molekulinio sluoksnio nusodinimas) ir molekulinio sluoksnio ėsdimu (MLE, molekulinio sluoksnio ėsdinimas).
Kaip ir atominio sluoksnio ėsdinimo atveju, taikant MLE metodą naudojamas dujinis apdorojimas kristalo paviršiaus kameroje su organinės medžiagos plėvelėmis. Kristalas cikliškai apdorojamas dviem skirtingomis dujomis pakaitomis, kol plėvelė suplonėja iki tam tikro storio.
Cheminiams procesams galioja savireguliacijos dėsniai. Tai reiškia, kad sluoksnis po sluoksnio pašalinamas tolygiai ir kontroliuojamai. Jei naudojate fotokaukes, galite atkurti būsimos lusto topologiją ant lusto ir išgraviruoti dizainą didžiausiu tikslumu.
Eksperimento metu mokslininkai molekuliniam ėsdinimui naudojo dujas, kuriose yra ličio druskų, ir dujas, kurių pagrindą sudaro trimetilaliuminis. Odinimo proceso metu ličio junginys sureagavo su alukoninės plėvelės paviršiumi taip, kad ant paviršiaus nusėdo ličio kiekis ir sunaikino plėvelėje esantį cheminį ryšį. Tada buvo tiekiamas trimetilaliuminis, kuris pašalino plėvelės sluoksnį su ličiu ir taip po vieną, kol plėvelė sumažėjo iki norimo storio. Geras proceso valdymas, mokslininkų nuomone, gali leisti pasiūlytai technologijai paskatinti puslaidininkių gamybos plėtrą.
Šaltinis: 3dnews.ru