Jau maijÄ ASML, litogrÄfijas skeneru segmenta lÄ«deris, runÄja par izredzÄm nÄkamÄs desmitgades sÄkumÄ parÄdÄ«ties sistÄmÄm, kas ļauj strÄdÄt ar Ä«paÅ”i augstu skaitlisko apertÅ«ras vÄrtÄ«bu 0,75 (Hyper-NA EUV). Imec pÄrstÄvji stÄsta, ka nÄkamajÄ desmitgadÄ litogrÄfijÄ turpinÄs izmantot lÄzerus un silÄ«ciju. AttÄla avots: ASML
Avots: 3dnews.ru