Samsung bija pirmais, kas pusvadītāju ražošanā izmantoja EUV skenerus, kas notika 2018. gada rudenī. Taču patiesi plaši uz EUV projekciju balstītu tehnoloģisko procesu izmantošana notiek tikai tagad. Jo īpaši Samsung pasaulē pirmā iekārta ar sākotnēji plānotajām EUV līnijām.
Nesen Samsung Electronics sāka pusvadītāju masveida ražošanu V1 rūpnīcā Hwaseong, Korejas Republikā. Uzņēmums sāka celties un pirms vairākiem mēnešiem iegāja izmēģinājuma ražošanas posmā. Tagad V1 rūpnīcu līnijas ir sākušas masveidā ražot 7 nm un 6 nm produktus, izmantojot īpaši cieto ultravioleto (EUV) projekciju. Uzņēmuma klienti sāks saņemt pasūtījumus no šīs rūpnīcas dažu nedēļu laikā.
Tiek baumots, ka V1 rūpnīcā ir uzstādīti vismaz 10 EUV skeneri. Šīs rūpnieciskās iekārtas cena vien pārsniedz 1 miljardu dolāru, nemaz nerunājot par visu pārējo. Pirms tam Samsung S3 rūpnīcā strādāja dažas EUV diapazona skeneru vienības. Jaunā V1 ražošana kopā ar S3 rūpnīcu līdz gada beigām ļaus uzņēmumam trīskāršot to mikroshēmu ražošanas apjomu, kuru apstrādei nepieciešami EUV skeneri. Ņemiet vērā, ka tie būs produkti ar 7 nm standartiem un zemākiem tehnoloģiskajiem standartiem. Nākotnē V1 rūpnīca Hvasongā varēs ražot arī 3 nm produktus.
Kopā ar V1 līnijām Samsung tagad kopumā ir sešas pusvadītāju lietuves. Pieci no tiem atrodas Dienvidkorejā un viens ASV. Augšējā attēlā var redzēt, kādiem substrātiem un kādiem tehniskajiem procesiem ir konfigurētas šo uzņēmumu līnijas.
Avots: 3dnews.ru