Tsy azo atao ny maka sary an-tsaina ny fivoaran'ny microelectronics raha tsy misy fanatsarana ny teknolojia famokarana semiconductor. Mba hanitarana ny fetra sy hianarana ny fomba famokarana singa kely kokoa amin'ny kristaly dia ilaina ny teknolojia vaovao sy fitaovana vaovao. Ny iray amin'ireo teknolojia ireo dia mety ho fivoaran'ny fandrosoana nataon'ny mpahay siansa amerikana.
Ekipa mpikaroka avy amin'ny Laboratoara Nasionaly Argonne an'ny Departemantan'ny Angovo amerikana teknika vaovao amin'ny famoronana sy fametahana sarimihetsika manify eo ambonin'ny kristaly. Izany dia mety hitarika amin'ny famokarana puce amin'ny ambaratonga kely kokoa noho ny ankehitriny sy ny ho avy tsy ho ela. Ny fianarana dia navoaka tao amin'ny diary Chemistry of Materials.
Ny teknika atolotra dia mitovy amin'ny fomba nentim-paharazana ary etching, fa tsy sarimihetsika tsy ara-organika ihany, ny teknolojia vaovao dia mamorona sy miasa miaraka amin'ny sarimihetsika organika. Raha ny marina, amin'ny analogy, ny teknolojia vaovao dia antsoina hoe molecular layer deposition (MLD, molecular layer deposition) ary molecular layer etching (MLE, molecular layer etching).
Toy ny amin'ny fanodikodinana sosona atomika, ny fomba MLE dia mampiasa fitsaboana entona ao amin'ny efitranon'ny kristaly misy sarimihetsika misy akora organika. Ny krystaly dia tsaboina amin'ny gazy roa samy hafa mifandimby mandra-pahalevon'ny sarimihetsika amin'ny hateviny iray.
Ny dingana simika dia iharan'ny lalΓ na mifehy ny tena. Midika izany fa esorina mitovy ny sosona manaraka ary amin'ny fomba voafehy. Raha mampiasa photomasks ianao, dia azonao atao ny mamerina ny topologie amin'ny chip ho avy amin'ny chip ary mametaka ny famolavolana amin'ny fahamendrehana avo indrindra.
Tamin'ny fanandramana, nampiasa entona misy sira lithium sy gazy mifototra amin'ny trimethylaluminum ny mpahay siansa ho an'ny etching molecular. Nandritra ny dingan'ny etching, ny lithium compound dia nihetsika tamin'ny endriky ny sarimihetsika alucone tamin'ny fomba izay nametrahana ny lithium teo ambonin'ny tany ary nanimba ny fifamatorana simika tao amin'ny sarimihetsika. Avy eo dia nomena trimethylaluminum, izay nanala ny soson'ny sarimihetsika miaraka amin'ny lithium, ary toy izany tsirairay mandra-pahatongan'ny sarimihetsika dia nihena ny hateviny. Ny fifehezana tsara ny dingana, mino ny mpahay siansa, dia afaka mamela ny teknolojia naroso hanosika ny fampandrosoana ny famokarana semiconductor.
Source: 3dnews.ru