E ai ki te paetukutuku IEEE Spectrum, mai i te mutunga o Hui-tanguru ki te timatanga o Poutu-te-rangi, i hangaia he taiwhanga i runga i te turanga o te pokapū Belgian Imec me te kamupene Amerika KMLabs ki te ako i nga raruraru me te whakaahua whakaahua semiconductor i raro i te mana o te EUV radiation (i roto i te ultra-hard. awhe ultraviolet). Te ahua nei, he aha te mea hei ako? Kao, he kaupapa hei ako, engari he aha te take ka whakatuu taiwhanga hou mo tenei? I timata a Samsung ki te whakaputa maramara 7nm i te haurua tau ki muri me te whakamahi i tetahi waahanga o nga matawai awhe EUV. Ka uru mai a TSMC. Hei te mutunga o te tau, ka timata raua tokorua ki te whakangao morearea me nga paerewa 5 nm, me era atu. Heoi ano he raruraru, he tino nui ki te rapu whakautu ki nga paatai i roto i nga taiwhanga, kaua ki te mahi.
Ko te raruraru nui i roto i te EUV lithography i tenei ra ko te kounga o te photoresist. Ko te puna o te iraruke EUV he plasma, ehara i te laser, pera me nga matawai 193nm tawhito. Ko te taiaho ka whakangohu i te pata o te mata i roto i te reo hau, a ko te hua iraruke ka whakaputa i nga whakaahua, he 14 nga wa teitei ake i te kaha o nga whakaahua i roto i nga matawai me te hihi ultraviolet. Ko te hua o tenei, ka ngaro te photoresist i nga waahi ka pupuhihia e nga whakaahua, engari ka puta nga hapa ohorere, tae atu ki te mea e kiia ana ko te haruru hautanga. He tiketike rawa te kaha o nga whakaahua. Ko nga whakamatautau me nga matawai EUV e whakaatu ana ko nga photoresists, e kaha tonu ana ki te mahi me nga paerewa 7 nm, e whakaatu ana i te taumata tino nui o te whakakore i te wa e hangaia ana i roto i nga waahanga 5 nm. He tino nui te raruraru he maha nga tohunga e kore e whakapono ki te timatanga angitu o te hangarau tukanga 5nm, kaua e whakahua i te whakawhiti ki te 3nm me raro.
Ko te raruraru o te hanga whakaahua reanga hou ka whakatauhia i roto i te taiwhanga tahi o Imec me KMLabs. A ka whakatauhia e ratou i runga i te tirohanga o te huarahi putaiao, kaua ma te kowhiri i nga reagents, pera i mahia i nga tau e toru tekau ma tahi. Ki te mahi i tenei, ka hangaia e nga hoa putaiao he taputapu mo te rangahau taipitopito o nga tukanga tinana me te matū i roto i te photoresist. I te nuinga o te wa, ka whakamahia nga synchrotrons ki te ako i nga tukanga i te taumata ngota, engari ka hangaia e Imec me KMLabs nga taputapu EUV inenga me te ine i runga i nga laser infrared. He tohunga noa a KMLabs ki nga punaha laser.
I runga i te whare laser KMLabs, ka hangaia he papa mo te whakaputa i nga hauoro teitei. I te nuinga o te wa, mo tenei, ka tukuna he pupuhi laser kaha-nui ki roto i te reo hau, i reira ka puta mai nga orooro tino teitei o te pupuhi kua whakahaua. Na te hurihanga pera, he nui te mate o te hiko, kia kore ai e taea te whakamahi tika i tetahi kaupapa rite mo te whakaputa iraruke EUV mo te lithography semiconductor. Engari he nui tenei mo nga whakamatautau. Ko te mea nui, ka taea te whakahaere i te iraruke i puta mai ma te roanga o te patere mai i te picohekona (10-12) ki te attohakona (10-18), me te roangaru mai i te 6,5 nm ki te 47 nm. Mo te taputapu ine, he tino huanga enei. Ka awhina ratou ki te ako i nga tikanga o nga huringa ngota ngota ultrafast i roto i te photoresist, nga tukanga ionization me te rongo ki nga whakaahua hiko teitei. Ki te kore tenei, ko nga whakaahua whakaahua ahumahi me nga paerewa iti iho i te 3 tae noa ki te 5 nm kei te paatai.
Source: 3dnews.ru