I te marama o Haratua, i korero a ASML, he kaihautu i te wahanga matawai lithography, mo nga tumanako mo te putanga mai i te timatanga o nga tau tekau e whai ake nei o nga punaha e taea ai te mahi me te uara aperture tau ultra-tiketike o 0,75 (Hyper-NA EUV). E kii ana nga mema o te Imec i roto i nga tekau tau e whai ake nei, karekau te lithography e neke atu i te whakamahinga o te laser me te silicon. Puna whakaahua: ASML
Source: 3dnews.ru
