He hangarau hou mo te hanga o nga semiconductors nanometer kua whakawhanakehia i roto i nga USA

Kaore e taea te whakaaro ki te whakawhanaketanga ano o te microelectronics me te kore e whakapai ake i nga hangarau whakaputa semiconductor. Hei whakawhānui ake i nga rohe me te ako me pehea te whakaputa i nga mea iti ake i runga i nga tioata, ka hiahiatia nga hangarau hou me nga taputapu hou. Ko tetahi o enei hangarau he whanaketanga pakaruhanga na nga kaiputaiao o Amerika.

He roopu kairangahau mai i te US Department of Energy's Argonne National Laboratory kua whanake he tikanga hou mo te hanga me te tarai i nga kiriata kikokore ki te mata o nga tioata. Ka taea pea e tenei te hanga maramara iti ake i tenei ra me te wa e heke mai nei. I whakaputaina te rangahau i roto i te hautaka Chemistry of Materials.

He rite te tikanga ki te tikanga tuku iho tukunga paparanga ngota me te tuhi, hei utu mo nga kiriata pararopi, ka hanga te hangarau hou me te mahi me nga kiriata pararopi. Inaa, ma te whakataurite, ka kiia te hangarau hou ko te waipara molecular layer (MLD, molecular layer deposition) me te molecular layer etching (MLE, molecular layer etching).

Pērā i te take o te tarai paparanga ngota, ka whakamahia e te tikanga MLE te maimoatanga hau i roto i te ruuma o te mata o te karaihe me nga kiriata o te papanga-a-raro. Ko te karaihe ka tukuna ki nga hau rereke e rua, kia angiangi te kiriata ki te matotoru.

Ko nga tukanga matū kei raro i nga ture o te whakahaere whaiaro. Ko te tikanga ka tangohia te paparanga i muri i te paparanga kia taurite me te whakahaere tikanga. Mena ka whakamahi koe i nga whakaahua, ka taea e koe te whakaputa i te topology o te maramara a meake nei i runga i te maramara me te tarai i te hoahoa me te tino tika.

I roto i te whakamatautau, i whakamahia e nga kaiputaiao he hau kei roto nga tai lithium me te hau i runga i te trimethylaluminum mo te hangai ngota. I te wa o te mahi tarai, ka tauhohe te pūhui lithium ki te mata o te kiriata alucone i roto i te ahua o te tuku lithium i runga i te mata me te whakangaro i te here matū i roto i te kiriata. Na ka tukuna te trimethylaluminum, i tangohia te paparanga o te kiriata me te lithium, me te pera i tetahi ki tetahi tae noa ki te whakaheke i te kiriata ki te matotoru e hiahiatia ana. Ko te pai o te whakahaere o te tukanga, e whakapono ana nga kaiputaiao, ka taea e te hangarau whakaaro te turaki i te whakawhanaketanga o te hanga semiconductor.

Source: 3dnews.ru