เดกเดฟเดธเด‚เดฌเดฑเดฟเตฝ IEDM 2019 เด•เต‹เตบเดซเดฑเตปเดธเดฟเตฝ, TSMC 5nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดธเดพเด™เตเด•เต‡เดคเดฟเด•เดตเดฟเดฆเตเดฏเดฏเต†เด•เตเด•เตเดฑเดฟเดšเตเดšเต เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเด‚เดธเดพเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚.

เดจเดฎเตเด•เตเด•เดฑเดฟเดฏเดพเดตเตเดจเตเดจเดคเตเดชเต‹เดฒเต†, เดˆ เดตเตผเดทเด‚ เดฎเดพเตผเดšเตเดšเดฟเตฝ, TSMC 5nm เด‰เตฝเดชเตเดชเดจเตเดจเด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เดชเตˆเดฒเดฑเตเดฑเต เด‰เดคเตเดชเดพเดฆเดจเด‚ เด†เดฐเด‚เดญเดฟเดšเตเดšเต. เดคเดพเดฏเตโ€Œเดตเดพเดจเดฟเดฒเต† เดชเตเดคเดฟเดฏ เดซเดพเดฌเต 18 เดชเตเดฒเดพเดจเตเดฑเดฟเดฒเดพเดฃเต เด‡เดคเต เดธเด‚เดญเดตเดฟเดšเตเดšเดคเต. เดชเตเดฐเดคเตเดฏเต‡เด•เด‚ เดจเดฟเตผเดฎเตเดฎเดฟเดšเตเดšเดคเต 5nm เดชเดฐเดฟเดนเดพเดฐเด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เดชเตเดฐเด•เดพเดถเดจเดคเตเดคเดฟเดจเดพเดฏเดฟ. 5nm N5 เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเดšเตเดšเตเดณเตเดณ เดตเตปเดคเต‹เดคเดฟเดฒเตเดณเตเดณ เด‰เตฝเดชเตเดชเดพเดฆเดจเด‚ 2020 เดฐเดฃเตเดŸเดพเด‚ เดชเดพเดฆเดคเตเดคเดฟเตฝ เดชเตเดฐเดคเต€เด•เตเดทเดฟเด•เตเด•เตเดจเตเดจเต. เด…เดคเต‡ เดตเตผเดทเด‚ เด…เดตเดธเดพเดจเดคเตเดคเต‹เดŸเต†, เด‰เตฝเดชเตเดชเดพเดฆเดจเด•เตเดทเดฎเดฎเดพเดฏ 5nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดŸเต†เด•เตเดจเต‹เดณเดœเดฟ เด…เดฒเตเดฒเต†เด™เตเด•เดฟเตฝ N5P (เดชเตเดฐเด•เดŸเดจเด‚) เด…เดŸเดฟเดธเตเดฅเดพเดจเดฎเดพเด•เตเด•เดฟเดฏเตเดณเตเดณ เดšเดฟเดชเตเดชเตเด•เดณเตเดŸเต† เด‰เดคเตเดชเดพเดฆเดจเด‚ เด†เดฐเด‚เดญเดฟเด•เตเด•เตเด‚. เดชเตเดฐเต‹เดŸเตเดŸเต‹เดŸเตˆเดชเตเดชเต เดšเดฟเดชเตเดชเตเด•เดณเตเดŸเต† เดฒเดญเตเดฏเดค, เดชเตเดคเดฟเดฏ เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเต เดŸเต†เด•เตเดจเต‹เดณเดœเดฟเดฏเต† เด…เดŸเดฟเดธเตเดฅเดพเดจเดฎเดพเด•เตเด•เดฟ เดจเดฟเตผเดฎเตเดฎเดฟเด•เตเด•เตเดจเตเดจ เดญเดพเดตเดฟเดฏเดฟเดฒเต† เด…เตผเดฆเตเดงเดšเดพเดฒเด•เด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เด•เดดเดฟเดตเตเด•เตพ เดตเดฟเดฒเดฏเดฟเดฐเตเดคเตเดคเดพเตป เดŸเดฟเดŽเดธเตเดŽเด‚เดธเดฟเดฏเต† เด…เดจเตเดตเดฆเดฟเด•เตเด•เตเดจเตเดจเต, เด…เดคเต เด•เดฎเตเดชเดจเดฟ เดกเดฟเดธเด‚เดฌเดฑเดฟเตฝ เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเด‚เดธเดพเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚. เดŽเดจเตเดจเดพเตฝ เดจเดฟเด™เตเด™เตพเด•เตเด•เต เด‡เดคเดฟเดจเด•เด‚ เดŽเดจเตเดคเต†เด™เตเด•เดฟเดฒเตเด‚ เด•เดฃเตเดŸเต†เดคเตเดคเดพเตป เด•เดดเดฟเดฏเตเด‚ เด‡เดจเตเดจเต IEDM 2019-เตฝ เด…เดตเดคเดฐเดฃเดคเตเดคเดฟเดจเดพเดฏเดฟ TSMC เดธเดฎเตผเดชเตเดชเดฟเดšเตเดš เดธเด‚เด—เตเดฐเดนเด™เตเด™เดณเดฟเตฝ เดจเดฟเดจเตเดจเต.

เดกเดฟเดธเด‚เดฌเดฑเดฟเตฝ IEDM 2019 เด•เต‹เตบเดซเดฑเตปเดธเดฟเตฝ, TSMC 5nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดธเดพเด™เตเด•เต‡เดคเดฟเด•เดตเดฟเดฆเตเดฏเดฏเต†เด•เตเด•เตเดฑเดฟเดšเตเดšเต เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเด‚เดธเดพเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚.

เดตเดฟเดถเดฆเดพเด‚เดถเด™เตเด™เตพ เดตเตเดฏเด•เตเดคเดฎเดพเด•เตเด•เตเดจเตเดจเดคเดฟเดจเต เดฎเตเดฎเตเดชเต, เดŸเดฟโ€ŒเดŽเดธเตโ€ŒเดŽเด‚โ€Œเดธเดฟเดฏเดฟเตฝ เดจเดฟเดจเตเดจเตเดณเตเดณ เดฎเตเตป เดชเตเดฐเดธเตเดคเดพเดตเดจเด•เดณเดฟเตฝ เดจเดฟเดจเตเดจเต เดจเดฎเตเด•เตเด•เต เด…เดฑเดฟเดฏเดพเดตเตเดจเตเดจ เด•เดพเดฐเตเดฏเด™เตเด™เตพ เด“เตผเด•เตเด•เตเด•. 7nm เดชเตเดฐเด•เตเดฐเดฟเดฏเดฏเตเดฎเดพเดฏเดฟ เดคเดพเดฐเดคเดฎเตเดฏเดชเตเดชเต†เดŸเตเดคเตเดคเตเดฎเตเดชเต‹เตพ, 5nm เดšเดฟเดชเตเดชเตเด•เดณเตเดŸเต† เดจเต†เดฑเตเดฑเต เดชเตเดฐเด•เดŸเดจเด‚ 15% เดตเตผเดฆเตเดงเดฟเด•เตเด•เตเด‚ เด…เดฒเตเดฒเต†เด™เตเด•เดฟเตฝ เดชเตเดฐเด•เดŸเดจเด‚ เด…เดคเต‡เดชเดŸเดฟ เดคเตเดŸเดฐเตเด•เดฏเดพเดฃเต†เด™เตเด•เดฟเตฝ เด‰เดชเดญเต‹เด—เด‚ 30% เด•เตเดฑเดฏเตเด‚. N5P เดชเตเดฐเด•เตเดฐเดฟเดฏ เดฎเดฑเตเดฑเตŠเดฐเต 7% เด‰เตฝเดชเตเดชเดพเดฆเดจเด•เตเดทเดฎเดค เด…เดฒเตเดฒเต†เด™เตเด•เดฟเตฝ เด‰เดชเดญเต‹เด—เดคเตเดคเดฟเตฝ 15% เดฒเดพเดญเด‚ เด•เต‚เดŸเตเดŸเตเด‚. เดฒเต‹เดœเดฟเด•เต เดฎเต‚เดฒเด•เด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เดธเดพเดจเตเดฆเตเดฐเดค 1,8 เดฎเดŸเด™เตเด™เต เดตเตผเดฆเตเดงเดฟเด•เตเด•เตเด‚. SRAM เดธเต†เตฝ เดธเตเด•เต†เดฏเดฟเตฝ 0,75 เด˜เดŸเด•เด‚ เด•เตŠเดฃเตเดŸเต เดฎเดพเดฑเตเด‚.

เดกเดฟเดธเด‚เดฌเดฑเดฟเตฝ IEDM 2019 เด•เต‹เตบเดซเดฑเตปเดธเดฟเตฝ, TSMC 5nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดธเดพเด™เตเด•เต‡เดคเดฟเด•เดตเดฟเดฆเตเดฏเดฏเต†เด•เตเด•เตเดฑเดฟเดšเตเดšเต เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเด‚เดธเดพเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚.

5nm เดšเดฟเดชเตเดชเตเด•เดณเตเดŸเต† เดจเดฟเตผเดฎเตเดฎเดพเดฃเดคเตเดคเดฟเตฝ, EUV เดธเตเด•เดพเดจเดฑเตเด•เดณเตเดŸเต† เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดคเตเดคเดฟเดจเตเดฑเต† เดคเต‹เดคเต เดชเตเดฐเดพเดฏเดชเต‚เตผเดคเตเดคเดฟเดฏเดพเดฏ เด‰เตฝเดชเตเดชเดพเดฆเดจเดคเตเดคเดฟเดจเตเดฑเต† เดคเดฒเดคเตเดคเดฟเดฒเต†เดคเตเดคเตเด‚. เดŸเตเดฐเดพเตปเดธเดฟเดธเตเดฑเตเดฑเตผ เดšเดพเดจเตฝ เด˜เดŸเดจ เดฎเดพเดฑเตเดฑเดชเตเดชเต†เดŸเตเด‚, เด’เดฐเตเดชเด•เตเดทเต‡ เดธเดฟเดฒเดฟเด•เตเด•เดฃเดฟเดจเตŠเดชเตเดชเด‚ เด…เดฒเตเดฒเต†เด™เตเด•เดฟเตฝ เดชเด•เดฐเด‚ เดœเต†เตผเดฎเต‡เดจเดฟเดฏเด‚ เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเดšเตเดšเต. เด‡เดคเต เดšเดพเดจเดฒเดฟเดฒเต† เด‡เดฒเด•เตเดŸเตเดฐเต‹เดฃเตเด•เดณเตเดŸเต† เดตเตผเดฆเตเดงเดฟเดšเตเดš เดšเดฒเดจเดพเดคเตเดฎเด•เดคเดฏเตเด‚ เดตเตˆเดฆเตเดฏเตเดคเดงเดพเดฐเด•เดณเตเดŸเต† เดตเตผเดฆเตเดงเดจเดตเตเด‚ เด‰เดฑเดชเตเดชเดพเด•เตเด•เตเด‚. เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเต เดŸเต†เด•เตเดจเต‹เดณเดœเดฟ เดจเดฟเดฐเดตเดงเดฟ เดจเดฟเดฏเดจเตเดคเตเดฐเดฃ เดตเต‹เตพเดŸเตเดŸเต‡เดœเต เดฒเต†เดตเดฒเตเด•เตพ เดจเตฝเด•เตเดจเตเดจเต, เด…เดคเดฟเตฝ เดเดฑเตเดฑเดตเตเด‚ เด‰เดฏเตผเดจเตเดจเดคเต 25 nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดŸเต†เด•เตเดจเต‹เดณเดœเดฟเดฏเดฟเดฒเต† เด…เดคเต‡ เด…เดชเต‡เด•เตเดทเดฟเดšเตเดšเต 7% เดชเตเดฐเด•เดŸเดจ เดตเตผเดฆเตเดงเดจเดตเต เดจเตฝเด•เตเด‚. I/O เด‡เดจเตเดฑเตผเดซเต‡เดธเตเด•เตพเด•เตเด•เตเดณเตเดณ เดŸเตเดฐเดพเตปเดธเดฟเดธเตเดฑเตเดฑเตผ เดชเดตเตผ เดธเดชเตเดฒเตˆ 1,5 V เดฎเตเดคเตฝ 1,2 V เดตเดฐเต†เดฏเดพเดฃเต.

เดกเดฟเดธเด‚เดฌเดฑเดฟเตฝ IEDM 2019 เด•เต‹เตบเดซเดฑเตปเดธเดฟเตฝ, TSMC 5nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดธเดพเด™เตเด•เต‡เดคเดฟเด•เดตเดฟเดฆเตเดฏเดฏเต†เด•เตเด•เตเดฑเดฟเดšเตเดšเต เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเด‚เดธเดพเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚.

เดฎเต†เดฑเตเดฑเดฒเตˆเดธเต‡เดทเดจเตเด‚ เด•เต‹เตบเดŸเดพเด•เตเดฑเตเดฑเตเด•เตพเด•เตเด•เตเดฎเดพเดฏเดฟ เดฆเตเดตเดพเดฐเด™เตเด™เดณเดฟเดฒเต‚เดŸเต† เด‰เตฝเดชเตเดชเดพเดฆเดฟเดชเตเดชเดฟเด•เตเด•เตเดฎเตเดชเต‹เตพ, เด‡เดคเดฟเดฒเตเด‚ เด•เตเดฑเดžเตเดž เดชเตเดฐเดคเดฟเดฐเต‹เดงเดฎเตเดณเตเดณ เดตเดธเตเดคเตเด•เตเด•เตพ เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเด•เตเด•เตเด‚. เด…เตพเดŸเตเดฐเดพ-เดนเตˆ-เดกเต†เตปเดธเดฟเดฑเตเดฑเดฟ เด•เดชเตเดชเดพเดธเดฟเดฑเตเดฑเดฑเตเด•เตพ เด’เดฐเต เดฎเต†เดฑเตเดฑเตฝ-เดกเตˆเดฒเต†เด•เตเดŸเตเดฐเดฟเด•เต-เดฎเต†เดฑเตเดฑเตฝ เดธเตผเด•เตเดฏเต‚เดŸเตเดŸเต เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเดšเตเดšเต เดจเดฟเตผเดฎเตเดฎเดฟเด•เตเด•เตเด‚, เด‡เดคเต เด‰เตฝเดชเตเดชเดพเดฆเดจเด•เตเดทเดฎเดค 4% เดตเตผเดฆเตเดงเดฟเดชเตเดชเดฟเด•เตเด•เตเด‚. เดชเตŠเดคเตเดตเต‡, TSMC เดชเตเดคเดฟเดฏ เดฒเต‹-เด•เต† เด‡เตปเดธเตเดฒเต‡เดฑเตเดฑเดฑเตเด•เตพ เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเด•เตเด•เตเดจเตเดจเดคเดฟเดฒเต‡เด•เตเด•เต เดฎเดพเดฑเตเด‚. เด’เดฐเต เดชเตเดคเดฟเดฏ "เดกเตเดฐเตˆ" เดชเตเดฐเด•เตเดฐเดฟเดฏ, เดฎเต†เดฑเตเดฑเตฝ เดฑเดฟเดฏเดพเด•เตเดŸเต€เดตเต เด…เดฏเต‹เตบ เดŽเดšเตเดšเดฟเด‚เด—เต (RIE), เดธเดฟเดฒเดฟเด•เตเด•เตบ เดตเต‡เดซเตผ เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเดฟเด‚เด—เต เดธเตผเด•เตเดฏเต‚เดŸเตเดŸเดฟเตฝ เดฆเตƒเดถเตเดฏเดฎเดพเด•เตเด‚, เด‡เดคเต เดชเดฐเดฎเตเดชเดฐเดพเด—เดค เดกเดฎเดพเดธเตเด•เดธเต เดชเตเดฐเด•เตเดฐเดฟเดฏเดฏเต† เดšเต†เดฎเตเดชเต เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเดšเตเดšเต เดญเดพเด—เดฟเด•เดฎเดพเดฏเดฟ เดฎเดพเดฑเตเดฑเดฟเดธเตเดฅเดพเดชเดฟเด•เตเด•เตเด‚ (30 nm-เตฝ เดคเดพเดดเต†เดฏเตเดณเตเดณ เดฒเต‹เดน เด•เต‹เตบเดŸเดพเด•เตเดฑเตเดฑเตเด•เตพเด•เตเด•เต). เด•เต‚เดŸเดพเดคเต†, เดšเต†เดฎเตเดชเต เด•เดฃเตเดŸเด•เตเดŸเดฑเตเด•เตพเด•เตเด•เตเด‚ เด…เตผเดฆเตเดงเดšเดพเดฒเด•เดคเตเดคเดฟเดจเตเด‚ เด‡เดŸเดฏเดฟเตฝ (เด‡เดฒเด•เตเดŸเตเดฐเต‹เดฎเดฟเด—เตเดฐเต‡เดทเตป เดคเดŸเดฏเตเดจเตเดจเดคเดฟเดจเต) เด’เดฐเต เดคเดŸเดธเตเดธเด‚ เดธเตƒเดทเตเดŸเดฟเด•เตเด•เดพเตป เด†เดฆเตเดฏเดฎเดพเดฏเดฟ เด—เตเดฐเดพเดซเต€เดจเตเดฑเต† เด’เดฐเต เดชเดพเดณเดฟ เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเด•เตเด•เตเด‚.

เดกเดฟเดธเด‚เดฌเดฑเดฟเตฝ IEDM 2019 เด•เต‹เตบเดซเดฑเตปเดธเดฟเตฝ, TSMC 5nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดธเดพเด™เตเด•เต‡เดคเดฟเด•เดตเดฟเดฆเตเดฏเดฏเต†เด•เตเด•เตเดฑเดฟเดšเตเดšเต เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเด‚เดธเดพเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚.

IEDM-เดฒเต† เดกเดฟเดธเด‚เดฌเตผ เดฑเดฟเดชเตเดชเต‹เตผเดŸเตเดŸเดฟเดจเตเดฑเต† เดฐเต‡เด–เด•เดณเดฟเตฝ เดจเดฟเดจเตเดจเต, 5nm เดšเดฟเดชเตเดชเตเด•เดณเตเดŸเต† เดจเดฟเดฐเดตเดงเดฟ เดชเดพเดฐเดพเดฎเต€เดฑเตเดฑเดฑเตเด•เตพ เด‡เดคเดฟเดฒเตเด‚ เดฎเดฟเด•เดšเตเดšเดคเดพเดฏเดฟเดฐเดฟเด•เตเด•เตเดฎเต†เดจเตเดจเต เดจเดฎเตเด•เตเด•เต เดฎเดจเดธเตเดธเดฟเดฒเดพเด•เตเด•เดพเด‚. เด…เด™เตเด™เดจเต†, เดฒเต‹เดœเดฟเด•เต เดฎเต‚เดฒเด•เด™เตเด™เดณเตเดŸเต† เดธเดพเดจเตเดฆเตเดฐเดค เด•เต‚เดŸเตเดคเดฒเดพเดฏเดฟเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚, 1,84 เดฎเดŸเด™เตเด™เต เดŽเดคเตเดคเตเด‚. SRAM เดธเต†เดฒเตเดฒเตเด‚ เดšเต†เดฑเตเดคเดพเดฏเดฟเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚, เดตเดฟเดธเตเดคเต€เตผเดฃเตเดฃเด‚ 0,021 ยตm2 เด†เดฏเดฟเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚. เดชเดฐเต€เด•เตเดทเดฃเดพเดคเตเดฎเด• เดธเดฟเดฒเดฟเด•เตเด•เดฃเดฟเดจเตเดฑเต† เดชเตเดฐเด•เดŸเดจเดคเตเดคเดฟเดจเดจเตเดธเดฐเดฟเดšเตเดšเต เดŽเดฒเตเดฒเดพเด‚ เด•เตเดฐเดฎเดคเตเดคเดฟเดฒเดพเดฃเต - 15% เดตเตผเดฆเตเดงเดจเดตเต เดฒเดญเดฟเดšเตเดšเต, เด‰เดฏเตผเดจเตเดจ เด†เดตเตƒเดคเตเดคเดฟเด•เตพ เดฎเดฐเดตเดฟเดชเตเดชเดฟเด•เตเด•เตเดจเตเดจ เดธเดพเดนเดšเดฐเตเดฏเดคเตเดคเดฟเตฝ เด‰เดชเดญเต‹เด—เดคเตเดคเดฟเตฝ 30% เด•เตเดฑเดตเต เดธเดพเดงเตเดฏเดฎเดพเดฃเต.

เดกเดฟเดธเด‚เดฌเดฑเดฟเตฝ IEDM 2019 เด•เต‹เตบเดซเดฑเตปเดธเดฟเตฝ, TSMC 5nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดธเดพเด™เตเด•เต‡เดคเดฟเด•เดตเดฟเดฆเตเดฏเดฏเต†เด•เตเด•เตเดฑเดฟเดšเตเดšเต เดตเดฟเดถเดฆเดฎเดพเดฏเดฟ เดธเด‚เดธเดพเดฐเดฟเด•เตเด•เตเด‚.

เดชเตเดคเดฟเดฏ เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเต เดธเดพเด™เตเด•เต‡เดคเดฟเด•เดตเดฟเดฆเตเดฏ เดเดดเต เดจเดฟเดฏเดจเตเดคเตเดฐเดฃ เดตเต‹เตพเดŸเตเดŸเต‡เดœเต เดฎเต‚เดฒเตเดฏเด™เตเด™เดณเดฟเตฝ เดจเดฟเดจเตเดจเต เดคเดฟเดฐเดžเตเดžเต†เดŸเตเด•เตเด•เตเดจเตเดจเดคเต เดธเดพเดงเตเดฏเดฎเดพเด•เตเด•เตเด‚, เด‡เดคเต เดตเดฟเด•เดธเดจ เดชเตเดฐเด•เตเดฐเดฟเดฏเดฏเตเด•เตเด•เตเด‚ เด‰เตฝเดชเตเดชเดจเตเดจเด™เตเด™เตพเด•เตเด•เตเด‚ เดตเตˆเดตเดฟเดงเตเดฏเด‚ เดจเตฝเด•เตเด‚, เด•เต‚เดŸเดพเดคเต† EUV เดธเตเด•เดพเดจเดฑเตเด•เดณเตเดŸเต† เด‰เดชเดฏเต‹เด—เด‚ เดคเต€เตผเดšเตเดšเดฏเดพเดฏเตเด‚ เด‰เตฝเดชเตเดชเดพเดฆเดจเด‚ เดฒเดณเดฟเดคเดฎเดพเด•เตเด•เตเด•เดฏเตเด‚ เดตเดฟเดฒเด•เตเดฑเดžเตเดžเดคเดพเด•เตเด•เตเด•เดฏเตเด‚ เดšเต†เดฏเตเดฏเตเด‚. TSMC เด…เดจเตเดธเดฐเดฟเดšเตเดšเต, EUV เดธเตเด•เดพเดจเดฑเตเด•เดณเดฟเดฒเต‡เด•เตเด•เต เดฎเดพเดฑเตเดจเตเดจเดคเต 0,73nm เดชเตเดฐเต‹เดธเดธเตเดธเดฟเดจเต† เด…เดชเต‡เด•เตเดทเดฟเดšเตเดšเต เดฒเต€เดจเดฟเดฏเตผ เดฑเต†เดธเดฒเตเดฏเต‚เดทเดจเดฟเตฝ 7x เดฎเต†เดšเตเดšเดชเตเดชเต†เดŸเตเดคเตเดคเตฝ เดจเตฝเด•เตเดจเตเดจเต. เด‰เดฆเดพเดนเดฐเดฃเดคเตเดคเดฟเดจเต, เด†เดฆเตเดฏเดคเตเดคเต† เดฒเต†เดฏเดฑเตเด•เดณเตเดŸเต† เดเดฑเตเดฑเดตเตเด‚ เดจเดฟเตผเดฃเดพเดฏเด•เดฎเดพเดฏ เดฎเต†เดฑเตเดฑเดฒเตˆเดธเต‡เดทเตป เดชเดพเดณเดฟเด•เตพ เดจเดฟเตผเดฎเตเดฎเดฟเด•เตเด•เตเดจเตเดจเดคเดฟเดจเต, เด…เดžเตเดšเต เดชเดฐเดฎเตเดชเดฐเดพเด—เดค เดฎเดพเดธเตเด•เตเด•เตพเด•เตเด•เต เดชเด•เดฐเด‚, เด’เดฐเต EUV เดฎเดพเดธเตโ€Œเด•เต เดฎเดพเดคเตเดฐเดฎเต‡ เด†เดตเดถเตเดฏเดฎเตเดณเตเดณเต‚, เด…เดคเดจเตเดธเดฐเดฟเดšเตเดšเต, เด…เดžเตเดšเดฟเดจเต เดชเด•เดฐเด‚ เด’เดฐเต เดชเตเดฐเตŠเดกเด•เตเดทเตป เดธเตˆเด•เตเด•เดฟเตพ เดฎเดพเดคเตเดฐเด‚. เดตเดดเดฟเดฏเดฟเตฝ, EUV เดชเตเดฐเตŠเดœเด•เตเดทเตป เด‰เดชเดฏเต‹เด—เดฟเด•เตเด•เตเดฎเตเดชเต‹เตพ เดšเดฟเดชเตเดชเดฟเดฒเต† เด˜เดŸเด•เด™เตเด™เตพ เดŽเดคเตเดฐ เดตเตƒเดคเตเดคเดฟเดฏเดพเดฏเดฟ เดฎเดพเดฑเตเดจเตเดจเต เดŽเดจเตเดจเดคเต เดถเตเดฐเดฆเตเดงเดฟเด•เตเด•เตเด•. เดธเต—เดจเตเดฆเดฐเตเดฏเด‚, เด…เดคเตเดฐเดฎเดพเดคเตเดฐเด‚.



เด…เดตเดฒเด‚เดฌเด‚: 3dnews.ru

เด’เดฐเต เด…เดญเดฟเดชเตเดฐเดพเดฏเด‚ เดšเต‡เตผเด•เตเด•เตเด•