рдореЗ рдордзреНрдпреЗ, ASML, рд▓рд┐рдереЛрдЧреНрд░рд╛рдлреА рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд┐рднрд╛рдЧрд╛рддреАрд▓ рдПрдХ рдиреЗрддрд╛, 0,75 (рд╣рд╛рдпрдкрд░-NA EUV) рдЪреНрдпрд╛ рдЕрддрд┐-рдЙрдЪреНрдЪ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛рддреНрдордХ рдЫрд┐рджреНрд░ рдореВрд▓реНрдпрд╛рд╕рд╣ рдХрд╛рд░реНрдп рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рдкрд░рд╡рд╛рдирдЧреА рджреЗрдгрд╛рд▒реНрдпрд╛ рдкреНрд░рдгрд╛рд▓реАрдВрдЪреНрдпрд╛ рдкреБрдвреАрд▓ рджрд╢рдХрд╛рдЪреНрдпрд╛ рд╕реБрд░реВрд╡рд╛рддреАрд╕ рдЙрджрдп рд╣реЛрдгреНрдпрд╛рдЪреНрдпрд╛ рд╕рдВрднрд╛рд╡реНрдпрддреЗрдмрджреНрджрд▓ рдмреЛрд▓рд▓реЗ. рдкреБрдвреАрд▓ рджрд╢рдХрд╛рдд рд▓рд┐рдереЛрдЧреНрд░рд╛рдлреА рд▓реЗрдЭрд░ рдЖрдгрд┐ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╡рд╛рдкрд░рдгреЗ рд╕реБрд░реВ рдареЗрд╡реЗрд▓ рдЕрд╕реЗ рдЖрдпрдПрдордИрд╕реАрдЪреЗ рдкреНрд░рддрд┐рдирд┐рдзреА рд╕рд╛рдВрдЧрддрд╛рдд. рдкреНрд░рддрд┐рдорд╛ рд╕реНрд░реЛрдд: ASML
рд╕реНрддреНрд░реЛрдд: 3dnews.ru