рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░реВрди рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рд▓рд┐рдереЛрдЧреНрд░рд╛рдлреАрдордзреНрдпреЗ рддреНрдпрд╛рдЪреНрдпрд╛ рдЕрдЧреНрд░рдЧрдгреНрдп рдлрд╛рдпрджреНрдпрд╛рдЪрд╛ рдкреВрд░реНрдг рдлрд╛рдпрджрд╛ рдШреЗрдд рдЖрд╣реЗ. TSMC рдЬреВрдирдордзреНрдпреЗ 13,5 nm рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░рдгреЗ рд╕реБрд░реВ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдЪреА рддрдпрд╛рд░реА рдХрд░рдд рдЕрд╕рддрд╛рдирд╛, 7 nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрдЪреНрдпрд╛ рджреБрд╕рд▒реНрдпрд╛ рдкрд┐рдвреАрдордзреНрдпреЗ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕рд╛рдареА рддреНрдпрд╛рдВрдирд╛ рдЕрдиреБрдХреВрд▓ рдХрд░реВрди, рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ рдЕрдзрд┐рдХ рдЦреЛрд▓рд╡рд░ рдЬрд╛рдд рдЖрд╣реЗ рдЖрдгрд┐
рдХрдВрдкрдиреАрд▓рд╛ EUV рд╕рд╣ 7nm рдСрдлрд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдкрд╛рд╕реВрди рддреЗ EUV рд╕реЛрдмрдд 5nm рд╕реЛрд▓реНрдпреВрд╢рдиреНрд╕ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдкрд░реНрдпрдВрдд рддреНрд╡рд░реАрдд рдорджрдд рдХрд░рдгреЗ рд╣реА рд╡рд╕реНрддреБрд╕реНрдерд┐рддреА рд╣реЛрддреА рдХреА рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдиреЗ рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдШрдЯрдХ (IP), рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдЖрдгрд┐ рддрдкрд╛рд╕рдгреА рд╕рд╛рдзрдиреЗ рдпрд╛рдВрдЪреНрдпрд╛рдд рдЗрдВрдЯрд░рдСрдкрд░реЗрдмрд┐рд▓рд┐рдЯреА рд░рд╛рдЦрд▓реА. рдЗрддрд░ рдЧреЛрд╖реНрдЯреАрдВрдмрд░реЛрдмрд░рдЪ, рдпрд╛рдЪрд╛ рдЕрд░реНрде рдЕрд╕рд╛ рдЖрд╣реЗ рдХреА рдХрдВрдкрдиреАрдЪреЗ рдХреНрд▓рд╛рдпрдВрдЯ рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдЯреВрд▓реНрд╕, рдЪрд╛рдЪрдгреА рдЖрдгрд┐ рд░реЗрдбреАрдореЗрдб рдЖрдпрдкреА рдмреНрд▓реЙрдХреНрд╕ рдЦрд░реЗрджреА рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╡рд░ рдкреИрд╕реЗ рд╡рд╛рдЪрд╡рддреАрд▓. рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди, рдкрджреНрдзрддреА (DM, рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдкрджреНрдзрддреА) рдЖрдгрд┐ EDA рд╕реНрд╡рдпрдВрдЪрд▓рд┐рдд рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдкреНрд▓реЕрдЯрдлреЙрд░реНрдорд╕рд╛рдареА PDKs рдорд╛рдЧреАрд▓ рд╡рд░реНрд╖рд╛рдЪреНрдпрд╛ рдЪреМрдереНрдпрд╛ рддрд┐рдорд╛рд╣реАрдд EUV рд╕рд╣ рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдЪреНрдпрд╛ 7-nm рдорд╛рдирдХрд╛рдВрд╕рд╛рдареА рдЪрд┐рдкреНрд╕рдЪреНрдпрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕рд╛рдЪрд╛ рднрд╛рдЧ рдореНрд╣рдгреВрди рдЙрдкрд▓рдмреНрдз рдЭрд╛рд▓реЗ. рд╣реА рд╕рд░реНрд╡ рд╕рд╛рдзрдиреЗ рдлрд┐рдирдлреЗрдЯ рдЯреНрд░рд╛рдиреНрдЭрд┐рд╕реНрдЯрд░рд╕рд╣ 5 рдПрдирдПрдо рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рддрдВрддреНрд░рдЬреНрдЮрд╛рдирд╛рд╕рд╛рдареА рдбрд┐рдЬрд┐рдЯрд▓ рдкреНрд░рдХрд▓реНрдкрд╛рдВрдЪрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдХрд░рддреАрд▓.
EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░реВрди 7nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрдЪреНрдпрд╛ рддреБрд▓рдиреЗрдд, рдЬреЗ рдХрдВрдкрдиреА
рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ Hwaseong рдпреЗрдереАрд▓ S3 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯрдордзреНрдпреЗ EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░реВрди рдЙрддреНрдкрд╛рджрдиреЗ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рддреЗ. рдпрд╛ рд╡рд░реНрд╖рд╛рдЪреНрдпрд╛ рдЙрддреНрддрд░рд╛рд░реНрдзрд╛рдд, рдХрдВрдкрдиреА Fab S3 рдЪреНрдпрд╛ рдкреБрдвреЗ рдирд╡реАрди рд╕реБрд╡рд┐рдзреЗрдЪреЗ рдмрд╛рдВрдзрдХрд╛рдо рдкреВрд░реНрдг рдХрд░реЗрд▓, рдЬреЗ рдкреБрдвреАрд▓ рд╡рд░реНрд╖реА EUV рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рд╡рд╛рдкрд░реВрди рдЪрд┐рдкреНрд╕ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕рд╛рдареА рддрдпрд╛рд░ рдЕрд╕реЗрд▓.
рд╕реНрддреНрд░реЛрдд: 3dnews.ru