рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдиреЗ 5nm рдЪрд┐рдкреНрд╕рдЪреНрдпрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА рдСрд░реНрдбрд░ рд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рд╕реБрд░реБрд╡рд╛рдд рдХреЗрд▓реА

рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░реВрди рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рд▓рд┐рдереЛрдЧреНрд░рд╛рдлреАрдордзреНрдпреЗ рддреНрдпрд╛рдЪреНрдпрд╛ рдЕрдЧреНрд░рдЧрдгреНрдп рдлрд╛рдпрджреНрдпрд╛рдЪрд╛ рдкреВрд░реНрдг рдлрд╛рдпрджрд╛ рдШреЗрдд рдЖрд╣реЗ. TSMC рдЬреВрдирдордзреНрдпреЗ 13,5 nm рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░рдгреЗ рд╕реБрд░реВ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдЪреА рддрдпрд╛рд░реА рдХрд░рдд рдЕрд╕рддрд╛рдирд╛, 7 nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрдЪреНрдпрд╛ рджреБрд╕рд▒реНрдпрд╛ рдкрд┐рдвреАрдордзреНрдпреЗ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕рд╛рдареА рддреНрдпрд╛рдВрдирд╛ рдЕрдиреБрдХреВрд▓ рдХрд░реВрди, рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ рдЕрдзрд┐рдХ рдЦреЛрд▓рд╡рд░ рдЬрд╛рдд рдЖрд╣реЗ рдЖрдгрд┐ рдЬрд╛рд╣реАрд░ рдХрд░рддреЛ 5 рдПрдирдПрдо рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдорд╛рдирдХрд╛рдВрд╕рд╣ рддрд╛рдВрддреНрд░рд┐рдХ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрдЪреНрдпрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕рд╛рдЪреНрдпрд╛ рдкреВрд░реНрдгрддреЗрд╡рд░. рд╢рд┐рд╡рд╛рдп, рджрдХреНрд╖рд┐рдг рдХреЛрд░рд┐рдпрд╛рдЪреНрдпрд╛ рджрд┐рдЧреНрдЧрдЬ рдХрдВрдкрдиреАрдиреЗ рдорд▓реНрдЯреА-рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рд╡реЗрдлрд░реНрд╕рд╡рд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА 5-nm рд╕реЛрд▓реНрдпреВрд╢рдиреНрд╕рдЪреНрдпрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА рдСрд░реНрдбрд░ рд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рдкреНрд░рд╛рд░рдВрдн рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдЪреА рдШреЛрд╖рдгрд╛ рдХреЗрд▓реА. рдпрд╛рдЪрд╛ рдЕрд░реНрде рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ 5 рдПрдирдПрдо рдорд╛рдирдХрд╛рдВрд╕рд╣ рдбрд┐рдЬрд┐рдЯрд▓ рдЪрд┐рдк рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рдЖрдгрд┐ рдХрд╛рд░реНрдпрд░рдд 5 рдПрдирдПрдо рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрдирдЪреНрдпрд╛ рдкрд╛рдпрд▓рдЯ рдмреЕрдЪреЗрд╕ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рддрдпрд╛рд░ рдЖрд╣реЗ.

рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдиреЗ 5nm рдЪрд┐рдкреНрд╕рдЪреНрдпрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА рдСрд░реНрдбрд░ рд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рд╕реБрд░реБрд╡рд╛рдд рдХреЗрд▓реА

рдХрдВрдкрдиреАрд▓рд╛ EUV рд╕рд╣ 7nm рдСрдлрд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдкрд╛рд╕реВрди рддреЗ EUV рд╕реЛрдмрдд 5nm рд╕реЛрд▓реНрдпреВрд╢рдиреНрд╕ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдкрд░реНрдпрдВрдд рддреНрд╡рд░реАрдд рдорджрдд рдХрд░рдгреЗ рд╣реА рд╡рд╕реНрддреБрд╕реНрдерд┐рддреА рд╣реЛрддреА рдХреА рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдиреЗ рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдШрдЯрдХ (IP), рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдЖрдгрд┐ рддрдкрд╛рд╕рдгреА рд╕рд╛рдзрдиреЗ рдпрд╛рдВрдЪреНрдпрд╛рдд рдЗрдВрдЯрд░рдСрдкрд░реЗрдмрд┐рд▓рд┐рдЯреА рд░рд╛рдЦрд▓реА. рдЗрддрд░ рдЧреЛрд╖реНрдЯреАрдВрдмрд░реЛрдмрд░рдЪ, рдпрд╛рдЪрд╛ рдЕрд░реНрде рдЕрд╕рд╛ рдЖрд╣реЗ рдХреА рдХрдВрдкрдиреАрдЪреЗ рдХреНрд▓рд╛рдпрдВрдЯ рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдЯреВрд▓реНрд╕, рдЪрд╛рдЪрдгреА рдЖрдгрд┐ рд░реЗрдбреАрдореЗрдб рдЖрдпрдкреА рдмреНрд▓реЙрдХреНрд╕ рдЦрд░реЗрджреА рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╡рд░ рдкреИрд╕реЗ рд╡рд╛рдЪрд╡рддреАрд▓. рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди, рдкрджреНрдзрддреА (DM, рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдкрджреНрдзрддреА) рдЖрдгрд┐ EDA рд╕реНрд╡рдпрдВрдЪрд▓рд┐рдд рдбрд┐рдЭрд╛рдЗрди рдкреНрд▓реЕрдЯрдлреЙрд░реНрдорд╕рд╛рдареА PDKs рдорд╛рдЧреАрд▓ рд╡рд░реНрд╖рд╛рдЪреНрдпрд╛ рдЪреМрдереНрдпрд╛ рддрд┐рдорд╛рд╣реАрдд EUV рд╕рд╣ рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдЪреНрдпрд╛ 7-nm рдорд╛рдирдХрд╛рдВрд╕рд╛рдареА рдЪрд┐рдкреНрд╕рдЪреНрдпрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕рд╛рдЪрд╛ рднрд╛рдЧ рдореНрд╣рдгреВрди рдЙрдкрд▓рдмреНрдз рдЭрд╛рд▓реЗ. рд╣реА рд╕рд░реНрд╡ рд╕рд╛рдзрдиреЗ рдлрд┐рдирдлреЗрдЯ рдЯреНрд░рд╛рдиреНрдЭрд┐рд╕реНрдЯрд░рд╕рд╣ 5 рдПрдирдПрдо рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рддрдВрддреНрд░рдЬреНрдЮрд╛рдирд╛рд╕рд╛рдареА рдбрд┐рдЬрд┐рдЯрд▓ рдкреНрд░рдХрд▓реНрдкрд╛рдВрдЪрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдХрд░рддреАрд▓.

рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдиреЗ 5nm рдЪрд┐рдкреНрд╕рдЪреНрдпрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА рдСрд░реНрдбрд░ рд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рд╕реБрд░реБрд╡рд╛рдд рдХреЗрд▓реА

EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░реВрди 7nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрдЪреНрдпрд╛ рддреБрд▓рдиреЗрдд, рдЬреЗ рдХрдВрдкрдиреА рдСрдХреНрдЯреЛрдмрд░ рдордзреНрдпреЗ рд▓рд╛рдБрдЪ рдХреЗрд▓реЗ рдЧреЗрд▓реНрдпрд╛ рд╡рд░реНрд╖реА, 5 nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рддрдВрддреНрд░рдЬреНрдЮрд╛рди рдЪрд┐рдк рдХреНрд╖реЗрддреНрд░рд╛рдЪреНрдпрд╛ рд╡рд╛рдкрд░рд╛рдЪреНрдпрд╛ рдХрд╛рд░реНрдпрдХреНрд╖рдорддреЗрдд 25% рд╡рд╛рдв рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░реЗрд▓ (рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ рдЪрд┐рдк рдХреНрд╖реЗрддреНрд░рд╛рдЪрд╛ рдЖрдХрд╛рд░ 25% рдиреЗ рдХрдореА рдХрд░рдгреНрдпрд╛рдмрджреНрджрд▓ рдереЗрдЯ рд╡рд┐рдзрд╛рди рдЯрд╛рд│рддреЛ, рдЬреНрдпрд╛рдореБрд│реЗ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ рд╣рд╛рддрд╛рд│рдгреНрдпрд╛рд╕рд╛рдареА рдЬрд╛рдЧрд╛ рд╕реЛрдбрддреЗ). рддрд╕реЗрдЪ, 5-nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрдЪреЗ рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдПрдХрддрд░ рдЪрд┐рдкрдЪрд╛ рд╡рд╛рдкрд░ 20% рдХрдореА рдХрд░реЗрд▓ рдХрд┐рдВрд╡рд╛ рд╕реЛрд▓реНрдпреВрд╢рдиреНрд╕рдЪреА рдХрд╛рд░реНрдпрдХреНрд╖рдорддрд╛ 10% рд╡рд╛рдврд╡реЗрд▓. рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдЕрд╕рд▓реЗрд▓реНрдпрд╛ рдлреЛрдЯреЛрдорд╛рд╕реНрдХрдЪреА рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ рдХрдореА рдХрд░рдгреЗ рд╣рд╛ рдЖрдгрдЦреА рдПрдХ рдмреЛрдирд╕ рдЕрд╕реЗрд▓.

рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдиреЗ 5nm рдЪрд┐рдкреНрд╕рдЪреНрдпрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА рдСрд░реНрдбрд░ рд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рд╕реБрд░реБрд╡рд╛рдд рдХреЗрд▓реА

рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ Hwaseong рдпреЗрдереАрд▓ S3 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯрдордзреНрдпреЗ EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░реВрди рдЙрддреНрдкрд╛рджрдиреЗ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рддреЗ. рдпрд╛ рд╡рд░реНрд╖рд╛рдЪреНрдпрд╛ рдЙрддреНрддрд░рд╛рд░реНрдзрд╛рдд, рдХрдВрдкрдиреА Fab S3 рдЪреНрдпрд╛ рдкреБрдвреЗ рдирд╡реАрди рд╕реБрд╡рд┐рдзреЗрдЪреЗ рдмрд╛рдВрдзрдХрд╛рдо рдкреВрд░реНрдг рдХрд░реЗрд▓, рдЬреЗ рдкреБрдвреАрд▓ рд╡рд░реНрд╖реА EUV рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рд╡рд╛рдкрд░реВрди рдЪрд┐рдкреНрд╕ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕рд╛рдареА рддрдпрд╛рд░ рдЕрд╕реЗрд▓.



рд╕реНрддреНрд░реЛрдд: 3dnews.ru

рдПрдХ рдЯрд┐рдкреНрдкрдгреА рдЬреЛрдбрд╛