рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╛рд╕рд╛рдареА EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рд╡рд╛рдкрд░рдгрд╛рд░реЗ рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ рдкрд╣рд┐рд▓реЗ рд╣реЛрддреЗ, рдЬреЗ 2018 рдЪреНрдпрд╛ рд╢рд░рдж рдЛрддреВрдд рдШрдбрд▓реЗ. рдкрд░рдВрддреБ EUV рдкреНрд░реЛрдЬреЗрдХреНрд╢рдирд╡рд░ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рддрд╛рдВрддреНрд░рд┐рдХ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдВрдЪрд╛ рдЦрд░реЛрдЦрд░ рд╡реНрдпрд╛рдкрдХ рд╡рд╛рдкрд░ рдЖрддрд╛рдЪ рд╣реЛрдд рдЖрд╣реЗ. рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрдГ рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ
рдЕрд▓реАрдХрдбреЗрдЪ, Samsung Electronics рдиреЗ рдХреЛрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рдЬрд╛рд╕рддреНрддрд╛рдХрдЪреНрдпрд╛ Hwaseong рдпреЗрдереАрд▓ V1 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯрдордзреНрдпреЗ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░рдЪреЗ рдореЛрдареНрдпрд╛ рдкреНрд░рдорд╛рдгрд╛рд╡рд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рд╕реБрд░реВ рдХреЗрд▓реЗ. рдордзреНрдпреЗ рдПрдВрдЯрд░рдкреНрд░рд╛рдЗрдЭ рддрдпрд╛рд░ рд╣реЛрдК рд▓рд╛рдЧрд▓реА
V1 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯрдордзреНрдпреЗ рдХрд┐рдорд╛рди 10 EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░ рдмрд╕рд╡рд▓реЗ рдЕрд╕рд▓реНрдпрд╛рдЪреА рдЕрдлрд╡рд╛ рдЖрд╣реЗ. рдлрдХреНрдд рдпрд╛ рдФрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгрд╛рдВрдЪреА рдХрд┐рдВрдордд $1 рдЕрдмреНрдЬ рдкреЗрдХреНрд╖рд╛ рдЬрд╛рд╕реНрдд рдЖрд╣реЗ, рдмрд╛рдХреА рд╕рд░реНрд╡ рдЧреЛрд╖реНрдЯреАрдВрдЪрд╛ рдЙрд▓реНрд▓реЗрдЦ рдирд╛рд╣реА. рдпрд╛рдЖрдзреА, EUV рд░реЗрдВрдЬ рд╕реНрдХреЕрдирд░рдЪреЗ рдХрд╛рд╣реА рдпреБрдирд┐рдЯ рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧ S3 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯрдордзреНрдпреЗ рдХрд╛рдо рдХрд░рдд рд╣реЛрддреЗ. рд╡рд░реНрд╖рд╛рдЪреНрдпрд╛ рдЕрдЦреЗрд░реАрд╕ S1 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯрд╕рд╣ рдирд╡реАрди V3 рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХрдВрдкрдиреАрд▓рд╛ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрд╕рд╛рдареА EUV рд╕реНрдХреЕрдирд░рдЪреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рдЕрд╕рд▓реЗрд▓реНрдпрд╛ рдЪрд┐рдкреНрд╕рдЪреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдкреНрд░рдорд╛рдг рддрд┐рдкреНрдкрдЯ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рдЕрдиреБрдорддреА рджреЗрдИрд▓. рд▓рдХреНрд╖рд╛рдд рдШреНрдпрд╛ рдХреА рд╣реА 7 рдПрдирдПрдо рдорд╛рдирдХреЗ рдЖрдгрд┐ рдХрдореА рддрд╛рдВрддреНрд░рд┐рдХ рдорд╛рдирдХреЗ рдЕрд╕рд▓реЗрд▓реА рдЙрддреНрдкрд╛рджрдиреЗ рдЕрд╕рддреАрд▓. рднрд╡рд┐рд╖реНрдпрд╛рдд, Hwaseong рдордзреАрд▓ V1 рдкреНрд▓рд╛рдВрдЯ рджреЗрдЦреАрд▓ 3nm рдЙрддреНрдкрд╛рджрдиреЗ рддрдпрд╛рд░ рдХрд░рдгреНрдпрд╛рд╕ рд╕рдХреНрд╖рдо рдЕрд╕реЗрд▓.
V1 рдУрд│реАрдВрд╕рд╣, рд╕реЕрдорд╕рдВрдЧрдХрдбреЗ рдЖрддрд╛ рдПрдХреВрдг рд╕рд╣рд╛ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдлрд╛рдЙрдВрдбреНрд░реА рдЖрд╣реЗрдд. рддреНрдпрд╛рдкреИрдХреА рдкрд╛рдЪ рджрдХреНрд╖рд┐рдг рдХреЛрд░рд┐рдпрд╛рдордзреНрдпреЗ рдЖрдгрд┐ рдПрдХ рдпреВрдПрд╕рдПрдордзреНрдпреЗ рдЖрд╣реЗ. рдпрд╛ рдЙрдкрдХреНрд░рдорд╛рдВрдЪреНрдпрд╛ рдУрд│реА рдХреЛрдгрддреНрдпрд╛ рд╕рдмрд╕реНрдЯреНрд░реЗрдЯреНрд╕ рдЖрдгрд┐ рдХреЛрдгрддреНрдпрд╛ рддрд╛рдВрддреНрд░рд┐рдХ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпреЗрд╕рд╛рдареА рдХреЙрдиреНрдлрд┐рдЧрд░ рдХреЗрд▓реНрдпрд╛ рдЖрд╣реЗрдд рд╣реЗ рддреБрдореНрд╣реА рд╡рд░реАрд▓ рдЪрд┐рддреНрд░рд╛рдд рдкрд╛рд╣реВ рд╢рдХрддрд╛.
рд╕реНрддреНрд░реЛрдд: 3dnews.ru