Ġiet żviluppata teknoloġija ġdida għall-produzzjoni ta 'semikondutturi nanometru fl-Istati Uniti

Huwa impossibbli li wieħed jimmaġina aktar żvilupp tal-mikroelettronika mingħajr ma jittejbu t-teknoloġiji tal-produzzjoni tas-semikondutturi. Biex tespandi l-konfini u titgħallem kif tipproduċi elementi dejjem iżgħar fuq il-kristalli, huma meħtieġa teknoloġiji ġodda u għodod ġodda. Waħda minn dawn it-teknoloġiji tista 'tkun żvilupp rivoluzzjonarju minn xjenzati Amerikani.

Ġiet żviluppata teknoloġija ġdida għall-produzzjoni ta 'semikondutturi nanometru fl-Istati Uniti

Tim ta 'riċerkaturi mill-Laboratorju Nazzjonali Argonne tad-Dipartiment tal-Enerġija tal-Istati Uniti żviluppat teknika ġdida għall-ħolqien u l-inċiżjoni ta 'films irqaq fuq il-wiċċ tal-kristalli. Dan jista 'potenzjalment iwassal għall-produzzjoni ta' ċipep fuq skala iżgħar mil-lum u fil-futur qarib. L-istudju ġie ppubblikat fil-ġurnal Chemistry of Materials.

It-teknika proposta tixbah il-proċess tradizzjonali depożizzjoni ta' saff atomiku u inċiżjoni, biss minflok films inorganiċi, it-teknoloġija l-ġdida toħloq u taħdem ma 'films organiċi. Attwalment, b'analoġija, it-teknoloġija l-ġdida tissejjaħ depożizzjoni ta 'saff molekulari (MLD, depożizzjoni ta' saff molekulari) u inċiżjoni ta 'saff molekulari (MLE, inċiżjoni ta' saff molekulari).

Bħal fil-każ ta 'inċiżjoni ta' saff atomiku, il-metodu MLE juża trattament tal-gass f'kamra tal-wiċċ ta 'kristall b'films ta' materjal ibbażat fuq organiku. Il-kristall jiġi ttrattat b'mod ċikliku b'żewġ gassijiet differenti b'mod alternat sakemm il-film jiġi mraqqaq għal ħxuna partikolari.

Il-proċessi kimiċi huma suġġetti għal-liġijiet ta' awtoregolamentazzjoni. Dan ifisser li saff wara saff jitneħħa b'mod uniformi u b'mod ikkontrollat. Jekk tuża fotomasks, tista' tirriproduċi t-topoloġija taċ-ċippa futura fuq iċ-ċippa u tqabbad id-disinn bl-ogħla preċiżjoni.

Ġiet żviluppata teknoloġija ġdida għall-produzzjoni ta 'semikondutturi nanometru fl-Istati Uniti

Fl-esperiment, ix-xjentisti użaw gass li fih melħ tal-litju u gass ibbażat fuq trimethylaluminium għall-inċiżjoni molekulari. Matul il-proċess ta 'inċiżjoni, il-kompost tal-litju irreaġixxa mal-wiċċ tal-film alucone b'tali mod li l-litju ġie depożitat fuq il-wiċċ u qered ir-rabta kimika fil-film. Imbagħad ġie fornut trimethylaluminum, li neħħa s-saff tal-film bil-litju, u hekk wieħed wieħed sakemm il-film tnaqqas għall-ħxuna mixtieqa. Kontrollabbiltà tajba tal-proċess, jemmnu xjentisti, tista 'tippermetti li t-teknoloġija proposta timbotta l-iżvilupp tal-produzzjoni tas-semikondutturi.



Sors: 3dnews.ru

Żid kumment