áá±áááœááºá ASML ááẠá¡ááœááºááŒáá·áºáá¬ážáá±á¬ ááááºážááá¬ááºážáááºááá¯áž 0,75 (Hyper-NA EUV) ááŒáá·áº á¡áá¯ááºáá¯ááºááá¯ááºá
á±ááá·áº áá¬ááá·áºáááºá
á¯ááŸá
áºá¡á
ááœáẠáá±á«áºáá±á«ááºáá¬ááá·áº á¡áá¬ážá¡áá¬áá»á¬ážá¡ááŒá±á¬ááºáž ááŒá±á¬ááá¯áá²á·áááºá áá¬ááá·áºáááºá
á¯ááŸá
áºá¡ááœááºážááœááºá áá±áá¬ááŸáá·áº áá®áá®ááœááºá¡áá¯á¶ážááŒá¯ááŒááºážá០áá
áºáááá¯ááá¬ááᯠááœá±á·áá»á¬ážáááºááá¯ááºááŒá±á¬ááºáž Imec ááá¯ááºá
á¬ážááŸááºáá»á¬ážá ááá¯ááŒáááºá áá¯á¶á¡áááºážá¡ááŒá
áº- ASML
source: 3dnews.ru
