နာနိုမီတာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများ ထုတ်လုပ်မှုအတွက် နည်းပညာသစ်ကို USA တွင် တီထွင်ခဲ့သည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုနည်းပညာများ မတိုးတက်ဘဲ မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်များ၏ နောက်ထပ်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို စိတ်ကူးကြည့်ရန် မဖြစ်နိုင်ပေ။ နယ်နိမိတ်များကို ချဲ့ထွင်ပြီး သလင်းကျောက်များပေါ်တွင် အမြဲသေးငယ်သော ဒြပ်စင်များ ထုတ်လုပ်နည်းကို လေ့လာရန်၊ နည်းပညာအသစ်များနှင့် ကိရိယာအသစ်များ လိုအပ်ပါသည်။ ယင်းနည်းပညာများထဲမှ တစ်ခုသည် အမေရိကန်သိပ္ပံပညာရှင်များ၏ တိုးတက်မှုတစ်ခု ဖြစ်နိုင်သည်။

အမေရိကန်စွမ်းအင်ဌာန Argonne National Laboratory မှ သုတေသီအဖွဲ့တစ်ဖွဲ့ တီထွင်ခဲ့သည် crystals မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များကို ဖန်တီးခြင်းနှင့် ထွင်းထုခြင်းအတွက် နည်းပညာအသစ်။ ၎င်းသည် ယနေ့နှင့် မဝေးတော့သောအနာဂတ်တွင် ချစ်ပ်များထုတ်လုပ်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ ဒီလေ့လာမှုကို Chemistry of Materials ဂျာနယ်မှာ ထုတ်ဝေခဲ့ပါတယ်။

အဆိုပြုထားသောနည်းပညာသည် ရိုးရာဖြစ်စဉ်နှင့် ဆင်တူသည်။ အနုမြူအလွှာ အစစ်ခံခြင်း။ နည်းပညာသစ်သည် အော်ဂဲနစ်ရုပ်ရှင်များနှင့်အတူ ဖန်တီးပြီး အလုပ်လုပ်ပါသည်။ တစ်ကယ်တော့ ဥပမာအားဖြင့်၊ နည်းပညာသစ်ကို မော်လီကျူးအလွှာ အပ်နှံခြင်း (MLD၊ မော်လီကျူး အလွှာ အပ်နှံခြင်း) နှင့် မော်လီကျူး အလွှာ ဖောက်ထွင်းခြင်း (MLE, molecular layer etching) ဟုခေါ်သည်။

အက်တမ်အလွှာကို ထွင်းဖောက်ခြင်းကိစ္စတွင်ကဲ့သို့ပင်၊ MLE နည်းလမ်းသည် အော်ဂဲနစ်အခြေခံပစ္စည်း၏ ရုပ်ရှင်များဖြင့် ပုံဆောင်ခဲ၏မျက်နှာပြင်၏ အခန်းတစ်ခုတွင် ဓာတ်ငွေ့ကုသမှုကို အသုံးပြုသည်။ ဖလင်ကို ပေးထားသည့် အထူသို့ ပါးသွားသည်အထိ ပုံဆောင်ခဲအား မတူညီသော ဓာတ်ငွေ့နှစ်ခုဖြင့် အလှည့်ကျ ကုသသည်။

ဓာတုဗေဒ လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မိမိကိုယ်ကို ထိန်းညှိခြင်းဆိုင်ရာ ဥပဒေများအောက်တွင် ရှိသည်။ ဆိုလိုသည်မှာ အလွှာပြီးနောက် အလွှာကို အညီအမျှနှင့် ထိန်းချုပ်ထားသည့်ပုံစံဖြင့် ဖယ်ရှားလိုက်ခြင်း ဖြစ်သည်။ အကယ်၍ သင်သည် photomasks ကိုအသုံးပြုပါက၊ သင်သည် ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ အနာဂတ်ချစ်ပ်၏ topology ကို ပြန်လည်ထုတ်လုပ်နိုင်ပြီး ဒီဇိုင်းကို အမြင့်ဆုံးတိကျမှုဖြင့် ထွင်းထုနိုင်သည်။

စမ်းသပ်မှုတွင် သိပ္ပံပညာရှင်များသည် လီသီယမ်ဆားများနှင့် trimethylaluminum ကိုအခြေခံသည့် ဓာတ်ငွေ့များပါရှိသော ဓာတ်ငွေ့ကို မော်လီကျူး ထွင်းထုရန်အတွက် အသုံးပြုခဲ့သည်။ ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ လီသီယမ်ဒြပ်ပေါင်းသည် alucone ဖလင်၏မျက်နှာပြင်နှင့် ဓာတ်ပြုပြီး မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် လီသီယမ်ကို စွန့်ပစ်ကာ ရုပ်ရှင်အတွင်းရှိ ဓာတုနှောင်ကြိုးများကို ဖျက်ဆီးပစ်သည်။ ထို့နောက် trimethylaluminum ကို ဖြည့်သွင်းပြီး ဖလင်အလွှာကို လစ်သီယမ်ဖြင့် ဖယ်ရှားကာ ဖလင်ကို အလိုရှိသော အထူသို့ လျော့သွားသည်အထိ တစ်ခုပြီးတစ်ခု ဖယ်ရှားပေးသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်၏ ကောင်းမွန်သော ထိန်းချုပ်နိုင်စွမ်းသည် အဆိုပြုထားသော နည်းပညာသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေးကို တွန်းအားပေးနိုင်သည်ဟု သိပ္ပံပညာရှင်များက ယုံကြည်ကြသည်။

source: 3dnews.ru